标准解读

《GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法》是一项国家标准，旨在规范蓝宝石晶锭内部应力的测量过程。该标准详细描述了采用X射线衍射法测定蓝宝石单晶中残余应力的方法，适用于评估通过不同工艺生长或加工后的蓝宝石晶体内部是否存在及存在多少应力状态。

标准首先界定了适用范围，并对相关术语进行了定义，比如“残余应力”指的是材料在没有外加载荷的情况下内部存在的应力；而“X射线衍射法”则是指利用X射线与物质相互作用时发生的散射现象来分析样品结构的技术。接着，文件列举了执行本测试所需的各种设备及其技术要求，包括X射线衍射仪、样品架等，并强调了实验环境条件的重要性。

对于样品准备部分，《GB/T 31093-2014》给出了具体的指导原则，如选择合适尺寸和形状的样品以确保能够准确反映整个蓝宝石晶锭的应力分布情况。此外，还规定了如何正确地固定样品以及设置适当的测量参数，例如扫描角度范围、步长大小等，这些都是为了保证数据采集的有效性和可靠性。

在数据处理方面，该标准提供了一套完整的计算流程，从原始XRD谱图获取到最终应力值的确定都做了明确指示。其中包括使用特定软件进行峰位识别、拟合曲线绘制等步骤，并给出了基于弹性理论计算应力的具体公式。同时，《GB/T 31093-2014》也提醒使用者注意误差来源，建议通过多次重复实验来提高结果准确性。

最后，标准还包含了报告编写指南，指出了一份完整测试报告应该包含哪些内容，比如实验日期、仪器型号、样品信息、测试条件、原始数据记录、处理过程说明以及最终得出的结论等。这有助于确保每次测试结果都能被清晰记录并便于后续查阅或比较。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-12-22 颁布
  • 2015-09-01 实施
©正版授权
GB/T 31093-2014蓝宝石晶锭应力测试方法_第1页
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文档简介

ICS7704010

H22..

中华人民共和国国家标准

GB/T31093—2014

蓝宝石晶锭应力测试方法

Testmethodforstressofmonocrystallinesapphireingot

2014-12-22发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

蓝宝石晶锭应力测试方法

GB/T31093—2014

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

书号

:155066·1-50902

版权专有侵权必究

GB/T31093—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会和全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位协鑫光电科技江苏有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所北京合能

:()、、

阳光新能源技术有限公司

。

本标准主要起草人刘逸枫魏明德徐养毅杭寅肖宗杰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31093—2014

蓝宝石晶锭应力测试方法

1范围

本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法

。

本标准适用于经过加工后直径为的向蓝宝石晶锭的应力测试其他尺寸蓝

50.8mm~200mmc,

宝石晶锭以下简称晶锭的应力测试可参照使用

()。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

蓝宝石为单轴晶体轴为光轴使用典型的会聚平面偏振光干涉试验装置晶体的光轴与切面垂

,c。,

直并且和仪器的光轴平行在会聚光的情况下会产生干涉形成锥光图锥光图由黑十字和同心圆状

,,,,。

的干涉色圈组成干涉色圈以黑十字交点为中心光轴出露点成同心环状干涉色圈的多少取决于晶

,(),,,

体的双折射率的大小及厚度

。

当晶体局部规则的结构被破坏产生的应力使得该位置上的光轴方向发生改变光束通过此位置

,,

时所得到的锥光图中的黑十字变形因此可以通过观察晶体各个位置的锥光图来检测晶体的应力

,,。

5干扰因素

51晶锭内部有气泡包裹物等会影响应力的判断

.、。

52晶锭加工过程中引起的内部裂纹会影响应力的判断

.。

6试验设备

应力仪其典型光路如图所示仪器的光学系统由光源发出的光速通过隔热片聚光

,1。(1)(2)、

镜反射镜和起偏镜变为平面振镜在通过发散镜台面玻璃后投射到被测试样上最

(3)、(4)(5),

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