标准解读

《GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法》是一项国家标准，旨在规定了使用X射线双晶衍射技术对蓝宝石单晶材料进行质量评估的具体操作流程与要求。该标准适用于通过X射线双晶衍射摇摆曲线来测定蓝宝石晶体的完整性、缺陷密度以及晶体取向等关键参数。

根据此标准，首先需要准备适当的样品，确保其表面平整且无污染。对于实验设备而言，应选择具有足够分辨率和稳定性的X射线衍射仪，并配备适合于蓝宝石检测的特定几何配置。此外，还需要确定正确的入射角、扫描速度以及其他相关参数以获得最佳测试效果。

在实际测量过程中，按照设定好的条件进行数据采集，获取到的摇摆曲线反映了样品内部结构信息。通过对这些曲线特征点（如半高宽）的分析，可以定量地评价蓝宝石晶体的质量特性。例如，较小的半高宽值通常意味着更高的晶体完整性和更低的位错密度。

最后，基于上述步骤得到的结果，可进一步应用于蓝宝石材料的选择、加工及应用领域中，为提高产品质量提供科学依据。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-10-14 颁布
  • 2018-05-01 实施
©正版授权
GB/T 34612-2017蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法_第1页
GB/T 34612-2017蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法_第2页
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文档简介

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T34612—2017

蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线

测量方法

MeasurementmethodforX-raydoublecrystaldiffractionrockingcurve

ofsapphirecrystals

2017-10-14发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34612—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位中国科学院上海光学精密机械研究所上海大恒光学精密机械有限公司中国科

:、、

学院新疆理化技术研究所新疆紫晶光电技术有限公司江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司丹东新东方晶

、、、

体仪器有限公司

。

本标准主要起草人杭寅徐民潘世烈张方方赵兴俭郭宏鹤赵松彬

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34612—2017

蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线

测量方法

1范围

本标准规定了蓝宝石晶体射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法

X。

本标准适用于蓝宝石晶体射线双晶衍射摇摆曲线的测量

X。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

χ轴χaxis

倾斜样品的轴由入射射线衍射射线束构成的衍射平面与样品表面相交而成

,X、X。

32

.

χ角χangle

样品某晶面与样品表面的夹角

。

33

.

φ角φangle

样品台绕样品表面法线旋转的角度

。

34

.

φ扫描φscan

连续改变角并记录衍射强度的测量模式

φ。

35

.

ω角ωangle

入射射线与样品表面夹角

X。

36

.

ω扫描ωscan

连续改变ω角并记录衍射强度的测量模式

。

4方法提要

41晶体是由空间间距为d的一系列平行的离子原子或分子平面构成当一束平行的单色射线

.、。X

射入该平面且射线在相邻平面间的光程差为其波长的整数n倍时就会产生衍射反射当入

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