标准解读

《GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷》是中国国家标准之一，该标准规定了用于半导体制造等高技术领域的氟甲烷气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。适用于纯度不低于99.995%（体积分数）的氟甲烷。

根据该标准，对氟甲烷产品的质量控制包括但不限于以下几个方面：

  • 技术要求：明确了氟甲烷产品的纯度指标及杂质含量限制，比如水分、氧气、氮气以及其他可能存在的特定杂质的最大允许浓度。
  • 试验方法：提供了测定氟甲基纯度及其所含杂质的具体测试手段与步骤，确保能够准确评估产品质量是否符合规定。
  • 检验规则：指出了产品出厂前必须经过的检验项目、抽样方法及合格判定准则，保证每批次产品均达到既定标准。
  • 包装、标志、运输和贮存：详细说明了如何正确处理这类特殊化学品以避免泄漏或污染，并且强调了在标签上应包含的信息如制造商名称、地址、生产日期、有效期等关键数据，同时给出了安全搬运指南和储存条件建议。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2021-08-20 颁布
  • 2022-03-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T40418—2021

电子特气氟甲烷

Electronicspecialtygas—Fluoromethane

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T40418—2021

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位浙江省化工研究院有限公司昊华气体有限公司中船重工邯郸派瑞特种气体

:、、()

有限公司衢州氟硅技术研究院中化蓝天氟材料有限公司福建久策气体股份有限公司广东华特气体

、、、、

股份有限公司天津绿菱气体有限公司江西华特电子化学品有限公司苏州金宏气体股份有限公司

、、、、

上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海凡伟仪器

、、、

设备有限公司联雄投资上海有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司浙江东开半导体科技有限

、()、、

公司和立气体上海有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司西

、()、、、

南化工研究设计院有限公司武汉分公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

、。

本文件主要起草人史婉君张建君方小青孙福楠付梦月侯玲玲郑秋艳董云海谭慧

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褚人财颜光清何经余曹素英傅铸红陈艳珊马建修程紧叶相平王新喜孙猛陈洁吴靓方华

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孙赟珑何波黄小强黄辉宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静吴克安白占旗徐娇

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叶树全赖晓峰方艾黎周鹏云张亮

、、、、。

Ⅰ

GB/T40418—2021

电子特气氟甲烷

1范围

本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求检验规则试验方法标志包装运输及贮存的要求

、、、、、。

本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体分析微量水分的测定第部分电解法

GB/T5832.11:

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682

气瓶颜色标志

GB/T7144

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

移动式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005

气瓶安全技术规程

TSG23

3术语和定义

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