标准解读

《YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉》是一项针对化学气相沉积（CVD）设备的标准，由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。该标准主要适用于使用化学气相沉积方法进行材料制备或表面处理的工业用炉的设计、制造及验收过程。

根据此标准，化学气相沉积炉应具备良好的密封性能以确保反应气体在控制条件下参与反应；同时，对于温度控制系统也有严格要求，需能够实现均匀加热且温度波动小，保证沉积过程中的温度稳定性。此外，还规定了安全防护措施、电气控制系统以及操作界面等方面的具体要求，旨在提高设备的安全性与易用性。

在材料选择上，《YS/T 1031-2015》强调了耐腐蚀性和高温强度的重要性，指出用于构建炉体及其内部组件的材料必须能够承受长时间高温环境下的工作条件而不发生显著变形或损坏。同时，考虑到不同应用场景下可能存在的特殊需求，标准中也允许通过协商确定某些特定参数值。


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  • 废止
  • 已被废除、停止使用，并不再更新
  • 2015-04-30 颁布
  • 2015-10-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS77180

H91.

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1031—2015

化学气相沉积炉

Chemicalvapordepositionfurnace

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1031—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位湖南顶立科技有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人戴煜胡祥龙胡高健羊建高马卫东戴晓蕾周岳兵吴艳华

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1031—2015

化学气相沉积炉

1范围

本标准规定了化学气相沉积炉的要求试验方法检验规则及标志包装运输贮存质量证明书和

、、、、、、

合同或订货单内容

()。

本标准适用于化学气相沉积

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

真空技术术语

GB/T3163—2007

电热装置的安全第部分通用要求

GB5959.11:

电热装置的安全第部分对电阻加热装置的特殊要求

GB5959.44:

电热设备的试验方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

电热设备的试验方法第部分间接电阻炉

GB/T10066.4—20044:

电热装置基本技术条件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

电热装置基本技术条件第部分间接电阻炉

GB/T10067.4—20054:

真空技术真空烧结炉

JB/T10550—2006

真空脱脂烧结炉

YS/T778—2011

3术语和定义

界定的术语和定

GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011

义适用于本文件

。

4要求

41分类

.

化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型按炉型

,

及工作区域尺寸分为种型号见表和表

13,12。

42型号表示规则

.

421卧式化学气相沉积炉的型号表示

..

卧式化学气相沉积炉的型号表示由其中表示卧式表示化学气相沉积和工作区

HCVD(H;CVD)

域尺寸宽高长组成其型号表示见示例

(××),。

示例卧式化学气相沉积炉工作区域尺寸为宽高长其型号表示为

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