• 现行
  • 正在执行有效
  • 2012-11-07 颁布
  • 2013-03-01 实施
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文档简介

ICS7712099

H68..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T837—2012

溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

Standardpracticeforultrasonic

C-scanbondevaluationofsputteringtarget-backingplateassemblies

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T837—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料股份有限公司中国计量科学研究院航天所

:、、703。

本标准主要起草人刘红宾尚再艳何金江王欣平熊晓东吕保国江轩朱晓光王永辉

:、、、、、、、、、

何双起杨平

、。

Ⅰ

YS/T837—2012

溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

1范围

本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求检验设备对比试块检验过程缺

-、、、、

陷评定及检验报告等该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法扫描检验技术

,C。

本标准适用于用中间层材料结合方式如软钎焊硬钎焊和环氧树脂粘接等的溅射靶材背板结合

(、)-

面的孔洞未结合氧化物夹杂等缺陷的检验其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用

、、。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件

GB5226.11:

无损检测人员资格鉴定与认证

GB/T9445

无损检测超声检测用钢参考试块的制作与检验方法

GB/T11259

无损检测术语超声检测

GB/T12604.1

机床检验通则第部分在无负荷或精加工条件下机床的几何精度

GB/T17421.11:

机床检验通则第部分数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

GB/T17421.22:

加工中心检验条件第部分进给率速度和插补精度检验

GB/T18400.66:、

无损检测超声检验探头及其声场的表征

GB/T18694

无损检测超声检验测量接触探头声束特性的参考试块和方法

GB/T18852

变形金属超声检验方法

GJB1580A

无损检测人员资格鉴定与认证

GJB9712A

加工中心检验条件第部分线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验

JB/T8771.44:

工业控制计算机系统安装环境条件

JB/T9269

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T12604.1。

31

.

超声波ultrasonicwave

频率超过人耳可听范围的声波此频率的下限一般取为

,20kHz。

32

.

纵波longitudinalwave

压缩波compressionalwave

在介质中传播时介质质点的振动方向与波传播方向平行的声波波型

,。

33

.

探头probesearchunit

()

电声转换器件通

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