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文档简介

浙江金贝能源科技有限公司ZHEJIANGJINBEIENERGYTECHNOLOGYCO.,LTD文件编号Q-OP-DC-TD-019版本状态第1/0版文件名称洁净度管控规范页码第2页/共42页编制/日期:审核/日期:批准/日期:总则制定目的为加强车间环境质量管控,使制造过程中甩干间、扩散间操作区达万级,其他区域(制绒、刻蚀、去PSG、PECVD、印刷、烧结和测试)达十万级的洁净度,特拟定本规范适用范围本公司电池制造车间,除另有特殊规定外,依本规定执行。权责单位品质部负责本规范的制定和依本规范的各项条款监督和管控。品质部、技术部负责本规范的修正、废止之核准。 2.洁净度管控规范2.1.测量规范:测量洁净度时应严格按照如下操作规范执行2.1.1.测量仪器采用CLJ-BⅡ型尘埃粒子计数器,现场区域温湿度计(或表)2.1.2.测量规则2.1.2.1.测量条件洁净室(区)制绒、甩干、扩散、刻蚀、去PSG、PECVD、印刷烧结和测试的温度和湿度应与生产及工艺要求相适应(具体见下一页)2)测量仪器的工作位置和采样口应处于同一区域,以免影响仪器正常测试。2.1.2.2.测量状态测量过程工况一律采用动态测试,(即正常的人员走动状态)2.1.2.3.测量时间测量应在空气调节净化系统正常运行时间不少于30min后进行。2.1.2.4.悬浮粒子计数采样数目及其布置粒径分挡0.3;0.5;1;3;5;10(μm)六档采样时间1~10分钟采样点数2~7点设定每点采样次数2~9次设定六档粒径尘埃浓度同时检测,依次数字显示或自选粒径显示。显示或打印可将2.83升/分内所含颗粒转换成1m3所含颗粒数。2)

开机及自检

把仪器水平放置在桌面或固定物上,按下电源开关键,键内指示灯亮,本机已开机仪器已处于等待状态,并预热15分钟。3)

实时时钟校正按下“确认”,出来界面可以设置测量工作的年、月、日、时,以及需要打印的粒子数的类型。操作如下:a、开机后按“确认”仪器即可进行实时时钟校正。b、按“增”键或“减”

键,将相应的菜单指示灯亮移动到要修改的时间点,如“年,月,日,时,分”按下“确定”键后,可按“增”或“减”键,调节数字,用“确定”键选择调整的位置。c、在打印测量数据的同时打印实时时钟数、采样单位、采样周期。d、一般情况实时时钟无须经常校正,但在长期不用后再次测量时须进行校正。4)测量周期设定a、按一下“增”键或“减”键,将相应的菜单指示灯亮移动到“周期设置”,按下“确定”键后,如果测量周期定为1分钟一次,本仪器出厂时设定为1分钟。如果测量周期不为1分钟,则必须进行设定用“增”或“减”键调整数字为所需的周期后按“确定”予以确认。一般选用的周期为1分钟。5)设定打印模式a、按一下“增”键或“减”键,将相应的菜单指示灯亮移动到“打印模式”,按下“确定”键后,可通过“增”或“减”键变换要打印的模式,按“确定”键来确认打印模式。在打印模式下方的数字即为将要打印的尘埃粒径的种类。可以通过按“增”键或者“减”键,将相应的光标移动到要更改的粒径种类上,按“设置”键进入设定,“增”“减”键进行修改,“确定”键进行确认。6)测量尘埃通过上述设定后,就可用来进行下述步骤的测量:a、把采样塑料管从后面板的接嘴上拔下,接上采样头。b、按下“测量”键,仪器过3秒之后即进入测量状态,c、调节后面板流量调节旋钮,使流量浮子的上端面与流量计表面的刻线相齐,即为每分钟2.83升。d、再按两次“测量”键,把采样头放在采样点位置上测量,每次测试完就按“打印”键打印测试结果。7)测量结束工作a、测量结束不要立即关机,把采样头拔出并把塑料管插入后面板的接嘴上,使管路密封,同时让仪器继续工作3-5分钟以清除管路系统中的尘埃。b、当0.5μm显示数接近0时关掉电源,仪器用清洁塑料袋包装好。8)温、湿度测量使用现场各工段的温湿计(或表)测量。2.2.管控标准2.2.1.我司各站点洁净度要求如下:站点洁净度级别0.5μm颗粒数/立方米停产警界点外检区100,000级3,520,0005,000,000制绒区100,000级3,520,0005,000,000甩干区100,000级3,520,0005,000,000扩散区10,000级352,000500,000刻蚀区100,000级3,520,0005,000,000去PSG区100,000级3,520,0005,000,000PECVD区100,000级3,520,0005,000,000金属化区(丝印、烧结、测试)10,000级352,000500,000包装区无要求测试频率为3h/次2.2.2.我司各站点温湿度要求如下:站点温度湿度管控标准停产警界点管控标准停产警界点外检区人体舒适温度(18-28℃)人体舒适即可制绒区(25±2)℃>28℃或<18℃(50±20)%>80%或<20%甩干区(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%扩散区(24±3)℃>30℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%刻蚀区(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%去PSG区(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%PECVD区(25±2)℃>30℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%金属化区(丝印烧结、测试)(25±2)℃>28℃或<18℃测试另外规定:>27℃或<22℃(50±10)%>70%或<30%包装区人体舒适温度(18-28℃)测试频率为2h/次2.2.3.异常处理流程巡检检测时若发现异常(洁净度/温湿度超出管控标准)于1min内将数据反馈给厂务负责空调系统的徐湘平(电话,并且徐工要在10min内通知巡检是否已调整好(请厂务一定配合通知)若调整好,巡检再次测量洁净度及温湿度以确认达到管控

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