透射电镜的日常维护

透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT一、电镜室的环境要求(包括水箱室）温度——20±5摄氏度（变动小于1摄氏度）湿度——小于60%保持室内清洁透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT二、换样品须知

样品杆的插拔.mpg每天注意样品杆两个O形圈的清洁度，以及样品杆头部的清洁度。拧固定螺丝时，请选择合适大小螺丝刀且不要拧的太紧，以免损坏螺丝。双倾杆正确使用：1).把换样台放在如下图所示的位置上：

此换样台起到保护双顷样品头的作用2).把样品杆小心地放在换样台上。由于小螺丝只能支撑一定的力，故如果用力压，此螺丝肯定会断且样品头脱落。3).更换样品拧螺丝时,用螺丝杆的自重压住螺丝，请不要用力往下压，然后小心拧螺丝。拧螺丝的姿势可参见下图。4).拧螺丝时请不要拧的过紧，以免因为拧过紧而不由自主地用力以致使支撑Y轴的螺丝断。5).样品杆进入测角台后，在菜单中选择样品杆的正确类型。6).从测角台中拔出样品杆时，一定要把所有轴归零后再拔样品杆。注意：若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工程师联系！透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT三、每日工作前与工作后的注意事项（一）、每日工作前的注意事项首先检查真空系统是否正确，电镜在TEM1-3放大模式，放大倍数不大于X40K。加高压前确认起始电压是否正确。加压过程中注意暗电流变化。放入样品前要确认样品装牢，检查橡皮圈，正确涂抹真空脂（应为白色的FOMBLIN）。样品杆放入镜筒后最好再等5分钟，确认真空后再加灯丝。（二）、每日工作后的注意事项关灯丝前先将OLAP、ILAP撤出光路。将放大倍数调到小于X40K。电镜模式为TEM1-3，MAG1模式。将光斑调到中心，并散开到与荧光屏同样大小。关灯丝。将高压降到第二天的起始值后关掉高压。样品回零后撤出。如果ACD里面有液氮，必须烘干！（详见前面ACD功能应用）关闭显示器，但不要关闭计算机。透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT四、循环水的定期维护每月检查一次水位，半年到一年彻底更换一次水CWC除尘.AVI每三个月清洗一次散热片，环境特别脏的以及分体式的每月清洗一次。透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT五、空压机的维护空压机放水——将灯丝与高压关掉后进行。空压机的吸气过滤网除尘（一）、空压机放水有水的危害放水周期的确定需要放水的位置——两处。1、有水的危害2、放水周期的确定根据不同地域以及季节调整放水周期，最好每月检查一次。空压机放水——两处放水

放水.AVI过滤网除尘透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT六、机械泵(RP)维护注意观察机械泵油量，及油的颜色。－－－油量应在油量检查口玻璃窗中间有个白点的附近，油的颜色应为透明或黄色观察机械泵是否漏油，通过观察如下的漏油观察口。如果漏油，需要更换油封。观察机械泵噪音（主要是皮带运行的时间长，表面污损产生摩擦声音），可将皮带吸尘清洁，或者更换皮带。（在后面常见问题的处理中有更换皮带的说明）拆下左图所示的六个螺丝就可看到皮带透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT七、高压绝缘气体的补充对于使用SF6作为200KV电镜绝缘气体的充气步骤（决不允许在加高压状态下充气）：

（一）、高压箱充气JEM-2100没有高压箱绝缘气体压力的检测回路，所以要每月检查一次压力值，以便及时补充。高压箱中的绝缘气体压力下限为0.005Mpa，一般充气到0.01Mpa,但不要超过0.015Mpa.

充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中的不纯气体放出，并清洁充气口

将气管插入充气口

适当调节输出压力，使充气速度不要太快待压力充到后，按下压片将气管拔出，等半小时以后再加高压

（二）、电子枪充气当电子枪中的绝缘气体压力低于2.8kg/cm2后，由于高压保护，HTREADY灯将不亮，高压无法加，同时报警。此时要将绝缘气的压力加到3kg/cm2以上直到HTREADY灯亮为止（但当压力达到3.5kg/cm2时还不亮，请与工程师联系），准备工作同加高压箱方法。SF6气体的补充

1）调整气瓶处的减压阀出口压力，使出口压力与下图中压力表的气体压力值相同。

2）清洁充气口。3）把充气嘴斜顶着充气口（见下图），这样充气嘴出气把充气口的管道里空气冲走以保证气体纯度。然后把充气嘴插入。4）慢慢加大减压阀出口压力，使压力表的压力值升到指定的值（0.32MPa）透射电镜的日常维护电镜室的环境要求换样品须知每日工作前与工作后的注意事项循环水的定期维护空压机的定期维护机械泵的定期维护高压绝缘气体压力的检查与补充BAKEOUT八、BAKEOUT建议1~3个月烘烤一次HTOFFLENSON不插样品撤出光路中的所有光阑开始烘烤后不要再动面板上的任何旋钮1、将Column和Stage都打勾2、将CoolingTime设为4:00Hours3、设定BAKE结束时间（finishtime）,蓝色为开始日期，红圈为结束日期。4、要保证TotalTime大于52小时例如：周五5:00PM开始Bake，下周一4:00AM结束，加上4小时冷却时间，TotalTime=63Hours。即周一8:00AM可以开始工作。按下Start后马上将LENS进水阀关死烘烤后要等完全结束后才能将LENS红色水阀打开。关注离子泵是否可以正常自动启动日常维护总结1).每天检查事项离子泵真空度空压机的启动频率以及运行噪音主机机械泵的运行噪音底片干燥器运行噪音循环水环境的温度样品杆两个O