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文档简介

Y1601样机产能测试1、Y1601样机产能测试目 2 3、数据记 4、数据分 5、结 11、模拟高产能机台机器人调3、测量Y1601样机实际产能是否与理论计算值（按我方、4、不同计算方法下，机器人速度和实际产能的关系2我方机器人速度计算单次伸臂并收回时间为根据右图机器人完成整个动作所用时间为T1=2TX+2TR

3Sankyo方给出的机器人速度计算T2=2TX+3TR

4原始计算 的4；T3为两个工艺模块之间的晶圆传递时 ROBOT对准A点取WAFER，然后移动到B点放下根据右图机器人完成整个动作所用时间为T3=TX+5测试设备：Y1601样6测试工具：秒表 机 代替 7Y1601样机实测产能记注：1、表中机器人速度值为百分比，例如：70代表最大速度的70%8转速转速转速转速转速转速转速转速UP/DN1实测产能 92TX+2TR关系（我方计算方法TX+2TR间关系（原始计算方法TX+2TR间关系（原始计算方法 1、通过机台机器人测试，Sankyo机器人承诺的速度满足现构架240WPH的产能要求2、按照Sankyo承诺速度，实际产能与2TX+3TR关系如图一折线所示，当2TX+3TR=7s时，产247wph，比预期目标240wph留有3%的余量。当产能为240wph时，2TX+3TR=7.44s，时间上6.29%的余5、比较我方计算

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