激光测量技术第四章激光准直及多自由测量

第一节准直测量原理直线度是指一系列的点列或连续表面对于几何直线的距离.直线度测量是平面度、平行度、垂直度等几何量测量的基础。传统方法:

建筑:垂线法,拉钢丝法大型设备安装:拉钢丝法木工:划线法机械加工:钳工的划线法,定位传统方法的特点:

简单,直观,垂线法,拉钢丝法易受环境因素影响,精度低2006年3月6日星期一当前第1页\共有52页\编于星期三\6点第一节准直测量原理自准直光管和准直望远镜测量精度10um，使用白准直光管具有0.1秒级的灵敏度。缺点，如操作不方使，存在瞄准、调焦误羌等。同时，在较长的距离下，像质模糊，照度低。一般可靠的工作距离小于30m，此外也存在空气的十扰。1-

物管，带消色差透镜的物管1.1

2-

准直测头，2.1分束器、目镜刻线2.2及准直刻线2.3

3-目镜

4-带灯泡4.1的光源，4.2过滤玻璃及4.3聚光器2006年3月6日星期一当前第2页\共有52页\编于星期三\6点自准直光管和准直望远镜⑵

叉丝像分划板视场透光窗反射像旋转目镜调节鼓轮⑴伸缩目镜筒⑶

2006年3月6日星期一当前第3页\共有52页\编于星期三\6点第一节准直测量原理20世纪60年代激光出现后， 高亮度、方向性相干件好等优点。激光准直仪具有拉钢丝法的直观性、简单性和普通光学准直的精度，并可实现自动控制。激光准直仪按上作原理可分为1)振幅测量法2)干涉测量法3)偏振测量法2006年3月6日星期一当前第4页\共有52页\编于星期三\6点1）振幅/光强测量法利用激光的能量中心及其光强分布实现直线度测量其基本原理:2006年3月6日星期一当前第5页\共有52页\编于星期三\6点1）振幅/光强测量法缺点:

激光器的光束漂移光束的非均匀性探测器灵敏度不对称空气的折射率梯度气流的扰动等影响思考题:水平,长距离测量,重力是否有影响?振幅/光强测量法常用的准直方法a．菲涅耳波带片法b.位相板法c.双光束法2006年3月6日星期一当前第6页\共有52页\编于星期三\6点a.菲涅耳波带片法十字划线,是干涉形成的,有良好的抗干扰能力,光强分布均匀,经过扩束后照射波带片,避免的激光光束的漂移及振动因素的影响2006年3月6日星期一当前第7页\共有52页\编于星期三\6点b.位相板法相位板相邻光程差半波长,即相位相差pi,相位板后,任何截面形成暗十字划线,经方孔后,发生衍射,形成四光强点2006年3月6日星期一当前第8页\共有52页\编于星期三\6点c.双光束法采用两光束的平分线作为准直基准可以克服激光器的漂移和部分空气扰功影响。2006年3月6日星期一当前第9页\共有52页\编于星期三\6点2)干涉测量法干涉测量法是在以激光束作为直线基准的基础上，又以光的干涉原理进行读数来进行直线度测量的。主要有以下几种方法:1．楔形板干涉法2.双频激光干涉法3.光栅干涉法2006年3月6日星期一当前第10页\共有52页\编于星期三\6点1．楔形板干涉法2006年3月6日星期一当前第11页\共有52页\编于星期三\6点2.双频激光干涉法2006年3月6日星期一当前第12页\共有52页\编于星期三\6点3.光栅干涉法2006年3月6日星期一当前第13页\共有52页\编于星期三\6点3)偏振测量法光束从光楔组的正中央穿过时，由于左旋和右旋石英的厚度相同，不产生附加的旋光量2006年3月6日星期一当前第14页\共有52页\编于星期三\6点第二节激光准直仪的组成主要组成(三部分):激光器光束准直扩束系统光电接收系统及处理电路部分激光器

利用激光束的能量中心,照射在光电探测器上,因此需要光场能量分布均匀,TEM00,常采用单模的He-Ne激光器.激光束横向漂移(平漂和角漂两种)要小,激光器输出功率的稳定及激器的噪声小漂移原因:谐振腔的两反射镜稳定性差:反射镜支架变形(热\振动),谐振腔的变形(热,振动)2006年3月6日星期一当前第15页\共有52页\编于星期三\6点1.激光器补偿措施主要有:热稳定装置光束补偿主动温控加热器其他措施隔振材料选用特殊设计等2006年3月6日星期一当前第16页\共有52页\编于星期三\6点补偿措施:热稳定装置整个装置的作用是使激光器沿长度方向的温度梯度减少，同时使装置维持在较低的工作温度，从而减少变形。2006年3月6日星期一当前第17页\共有52页\编于星期三\6点补偿措施:光束补偿腔反射镜8和5的位置靠得很近，处于相同的环境条件，因此两个面之间的相对运动是很小的。所以，当激光器壳体变形时，输出激光束对原来的位置只产生很小的横向位移和角度偏移。2006年3月6日星期一当前第18页\共有52页\编于星期三\6点补偿措施:主动温控加热器2006年3月6日星期一当前第19页\共有52页\编于星期三\6点补偿措施:其他措施采取激光器与其反射镜系统对周围环境隔热用锥形腔代替圆柱形腔及增加毛细管刚度隔振实验室环境控制特殊材料,结构设计等措施都可以降低激光器输出激光束的漂移。2006年3月6日星期一当前第20页\共有52页\编于星期三\6点2.光束准直扩束系统激光是高斯光束:其发散角:2θ=2λ/πR光斑大小,虽传输距离的增大,而增大而实际应用中:接收器的尺寸一定环境、光束出射漂移影响原理上需要大平面平行光束照射所以：需要准直及扩束系统2006年3月6日星期一当前第21页\共有52页\编于星期三\6点2.光束准直扩束系统常用扩束系统的种类：1）开普勒式望远镜2）伽利略式望远镜3）组合式倒置望远镜2006年3月6日星期一当前第22页\共有52页\编于星期三\6点1）开普勒式望远镜特点：镜筒较长，可以方便的加空间滤波器4.13方式，镜筒较短，体积较小，增加了反射杂散光和光能吸收2006年3月6日星期一当前第23页\共有52页\编于星期三\6点2）伽利略式望远镜特点：

镜筒短，体积小，不可以加空间滤波器光可能反射回激光器，使激光器频率不稳定，反射回来激光也会造成光输出强度，产生干涉，或者亮度不均使用时，倾斜L2，增加反射杂散光，使光输出稳定2006年3月6日星期一当前第24页\共有52页\编于星期三\6点3）组合式倒置望远镜对伽利略式的改进：避免了杂散光，使光束均匀和频率稳定

2006年3月6日星期一当前第25页\共有52页\编于星期三\6点3）组合式倒置望远镜这种方式，可方便组成准直测量系统，减少可调节点2006年3月6日星期一当前第26页\共有52页\编于星期三\6点3.光电接收系统及处理电路部分常用激光准直的光电探测器:a.硅光电池

二分型四象限器(四分型)b.PSD一维PSD二维PSD光电倍增管CCD2006年3月6日星期一当前第27页\共有52页\编于星期三\6点a.硅光电池在同一硅片上制作的光电池,价格便宜,缺点暗电流较大,各个单元的转换效率不一致2006年3月6日星期一当前第28页\共有52页\编于星期三\6点b.PSD位置敏感探测器(PositionSensitiveDetector)简称PSD，是一种具有特殊结构的大光敏面的光电二极管，又称为p—n结光电传感器。PSD与象限位置探测器和CCD不同，它有一个完整的光敏面，通过不同电极之间的电流输出，能连续给出入射光点中心在光敏面上的位置。常用的结构类型有:一维PSD二维PSD2006年3月6日星期一当前第29页\共有52页\编于星期三\6点一维PSD设:AB电阻率均匀,RAB=R2006年3月6日星期一当前第30页\共有52页\编于星期三\6点二维PSD2006年3月6日星期一当前第31页\共有52页\编于星期三\6点c.光电倍增管对于弱光,常采用此法2006年3月6日星期一当前第32页\共有52页\编于星期三\6点d.CCD线阵CCD一维测量面阵CCD二维测量特点:可采集光斑的大小,及其能量分布,计算机识别能量中心的位移大小及方向2006年3月6日星期一当前第33页\共有52页\编于星期三\6点第三节大气扰动及激光束漂移大气挠动的静态模型:实际大气存在:气流,温度梯度等,使空气密度变化,从而折射率n变化实际空气折射率变化一般用结构函数来表示:经验与理论公式:Cn称作l0到L0区间的结构参数．是折射率起伏变化的描述，它与大气参数如热流、风速,高度有关。l0为最小非均幻旋涡的尺寸，典型值为1-10mm、；L0为最大非均匀尺度，它和离地面的高度有关，近地表面处的干扰要大一些。2006年3月6日星期一当前第34页\共有52页\编于星期三\6点第三节大气扰动及激光束漂移克服大气挠动的方法主要有:机械法光学法机械法常用:1)选择空气扰动最小的时间工作，如在早晨太阳升起之前。另外，控制外界环境也能起到一定作用，如在光束传输路程上避免有热源和温度梯度及气流等的影响2)将光束用套管屏蔽，甚至将管子内抽成真空3)沿着激光束前进的方向以适当流速的空气流喷射，因为空气流提高空气扰动的频率，可用时间常数比较小的低通滤波器，消除输出信号的交变成分。4)对频率为50—60Hz的扰动可采取积分电路消除2006年3月6日星期一当前第35页\共有52页\编于星期三\6点光学法2006年3月6日星期一当前第36页\共有52页\编于星期三\6点光学法2006年3月6日星期一当前第37页\共有52页\编于星期三\6点第四节激光淮直测量的应用应用场合:测绘建筑施工大型设备安装仪器设备制造形位误差测量误差修正2006年3月6日星期一当前第38页\共有52页\编于星期三\6点一、直线度测量2006年3月6日星期一当前第39页\共有52页\编于星期三\6点二、同轴度测量2006年3月6日星期一当前第40页\共有52页\编于星期三\6点三、用激光准立仪制导镗内孔生产上自动控制2006年3月6日星期一当前第41页\共有52页\编于星期三\6点第五节激光多自由度测量技术多自由度测量的必要性:1.空间物体的姿态:飞机、火箭等风洞实验2.机器运动部件的装配、运行精度：导轨精度3.空间吊装的运动轨迹误差2006年3月6日星期一当前第42页\共有52页\编于星期三\6点需要测量的参数主要测量参数:Δx,Δy,Δz:平动测量参数Δθx,Δθy,Δθz:

转角测量参数注：各角度方向自由度的命名，以其主要运动方向而言2006年3月6日星期一当前第43页\共有52页\编于星期三\6点一、多自由度测量系统的划分一般根据测量的自由度的数量划分：两自由度测量系统四自由度测量系统五/六自由度测量系统测量滚转角2006年3月6日星期一当前第44页\共有52页\编于星期三\6点二、两自由度测量系统测量的原理：激光准直仪测量的参数：一般为Δx，Δy两者或者其一光电探测器：

硅光电池：四象限器：Δx，Δy二象限器：Δx或Δy光敏电阻：一般电桥式Δx或ΔyCCD：线阵Δx或Δy面阵：Δx，ΔyΔθ？2006年3月6日星期一当前第45页\共有52页\编于星期三\6点二、两自由度测量系统结构类型：平面式反射式