真空计算经常使用公式

真空计算常用公式1、玻义尔定律

体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2＝V2/V1）2、盖·吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P(cm)5、抽速：

S＝dv/dt(升/秒)或S＝Q/P

Q＝流量(托·升/秒)P＝压强(托)V＝体积(升)t＝时间(秒)6、通导：C＝Q/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式：t＝8V/S(经验公式)杂

内

妹障（休V棵为体积购，巧S可为抽气粱速率，著通锐常康t访在专5~1远0贡分钟内琴选择。鲜）焰8澡、维持培泵选择句：灾

扒

旱春S剂维纷＝乖S垮前久/10咐9某、扩散治泵抽速论估算：荣

劳

收S号＝泪3D2利(粥D木＝直馆径志c错m墨）脏1弓0豪、罗茨至泵的前阔级抽速阶：湾

挥

使S构＝键(0.浮1~0堤.2)纪S敲罗增(l怕/s)枝1醉1盟、漏率董：邪

时

魄承Q彩漏割＝可V(P挎2-P等1)/神(t2撞-t1景)式

冻

抵

阿

捏Q锈漏－系哑统漏探率登(mm捞Hg·辽l/s窑)

姑

俘

魔

给

况V页－系统饥容钱积防(摊l)五

将

类

冻

P盆1护－真空都泵停止绒时系统哲中压刑强顾(锡mmH育g)遭

图

乳

破P园2经－真空寻室经过季时渴间瞒t驴后达到俘的压盛强顷(堪mmH轨g)禽

勾

格

胃

愿t况－压强弦从工P匙1己升逃到彩P跑2望经过的禁时酸间徐(摸s)久1赌2鉴、粗抽树泵的抽跃速选择诵：阻

进

争懒S盟＝伐Q1/探P友预判(l拆/s)喇

教

窝S=2仁.3V或·lg沃(Pa海/钳P涉预浮)/t腔

彻

醒

贡

蛮S售－机械此泵有效妻抽毛速博

故

恨

缠

循Q糕1查－真空涌系统漏渡气提率农(缎托敏·荐升贺/烂秒纵)曾

陶

疏

昼

或P址预－需捷要达到纵的预真慰空恭度脱(辉托袭)

口

江V倘－真空谁系统容戒积济(盲升膨)暑

愉

赢

拿t村－达掌到龄P解预时所米需要的桂时玩间咳

卡

客

P科a亏－大气赶压渣值皮(票托）字1领3深、前级远泵抽速筛选择：耀

赶

兄

查

膏径排气口让压力低制于一个缸大气压也的传输蜂泵如扩山散泵、绘油增压铲泵、罗澡茨泵、傻涡轮分项子泵等占，它们享工作时吐需要前蚁级泵来贡维持其鲜前级压竞力低于扫临界值被，选用疾的前级堂泵必须灶能将主应泵的最镰大气体原量排走芒，根据袜管路中钞，各截剑面流量柿恒等的水原则有去：矮

P则nS犁g拆≥繁PgS炮脉或夏S滤g原≥枯Pgs烘/Pn呼

柔S袍g廊－前级估泵的有毙效抽歌速暂(l/赠s)

银P刑n汉－主泵握临界前养级压捎强柴(鞭最大排量气压晋强妥)(l镰/s)护

P今g急－真空蒸室最高察工作压桃强叛(处托便)

存脖S灾－主泵还工作时鸽在茶P征g登时的有庄效抽速喉。基(尊l/s抛)础1蜓4赚、扩散嗓泵抽速板计算公窃式：碍

勿

左S讽＝渗Q/筛P镰＝触(K·型n)/搂(P·阁t)殊(公升哥/猎秒瘦)迹式中逼：仓S帐－被试蝇泵的抽虎气速沃率躁(l/环s)

介

链赏n陶－滴管本内油柱奥上升格证数窗(霜格馋)榆t援－油柱逃上号升解n狮格所需绢要的时旬间餐(拐秒加)

芒破P皱－在泵家口附近衔测得的牺压百强围(浙托蹲)腔K卧－滴管盒系菊数袍(电托玻·伏升捎/杠秒摸)

荷

抄K斗＝姥V0·法(L/袭n)·绘(古Υ举0回/联Υ远m)+垦P呈a晴△户Vt端

瑞

仁

膀

砖

幼诞其慕中怖V班0施－滴管斥和真空勉胶管的趣原始容郑积桥(寸升塘)

漫

浴L尸－滴管宫刻度部伞分的长车度窝(氧mm)毯

疗

饥

绒

奔n烦－滴管舱刻度部粪分的格妥数恐(昂格台)

源

兔

伍

兔升Υ爽0宣－油的飘比雷重鲁(既克芝/蹄厘降米秧3)煮

肾

头

亏疫Υ差m我－汞的争比咬重变(潮克攀/浊厘颈米荣3)

够

僻

苍

券P钱a押－当地燥大气压嘉强吊(野托弊)网

展

赢

陡术△氏V厦t饲－滴管呀的刻度播上的一尸格的对肝应的容不积学(号升德/驳格丰)卡1蔬5捧、旋片胶真空泵词的几何胜抽速计圾算公式胸：虚

垦

曲S玻＝诉π灵ZnL抢Kv(垒D2-仅d2)睁/(2郑4×1弟04)扎(l舞/s)搬

险

惕拍式中循：站Z厕为旋片汉数锯，铲n绵为转慢速僚(啊转叛/除分告)援，粪L严为泵腔叔长度宫，神D猪为泵腔旷直径立，枕d压为转子灶直球径盘(cm身)严，映K缎v嫂为容积洽利用系匙数头(经一般贼取逝9梁5桃％混)并。己1漫6晓、违O义型橡胶肉槽倚深换B瞒＝其0.7捞D信

沉

误

园

拥D激为橡胶甚直径，英槽啊宽迫C把＝巡1.6气B翻1磨7赚、方形这橡胶槽救深厦B衣＝喷0.8勺A什

井

牺

克A超为方形睡橡胶边卸长，槽牛宽颜C罪＝预1.6陷7B

婆

士

披

京

狡

闸

座

异

跳

源

植

培

狠选用真芽空泵时薪，需要舒注意下班列事项荡：办1贤、真空纲泵的工缸作压强毒应该满传足真空脆设备的崖极限真穗空及工千作压强锤要求。灿如：真姓空镀膜筋要脏求居1×1墓0绪-5轧mmH绸g抚的真空勾度，选辈用的真害空泵的御真空度尾至少刑要柜5×1窑0泛-6抛mmH缘g程。通常真选择泵税的真空夺度要高脱于真空界设备真赵空度半疤个到一父个数量见级义。押滴

益

府2辞、正确穴地选择框真空泵狱的工作假点。每机种泵都熔有一定喝的工作潮压强范代围，如侵：扩散平泵锐为粘10闻-3烫~10荡-7辱mmH辈g触，在这切样宽压玉强范围隙内，泵丈的抽速鉴随压强逮而变化圈，其稳轰定的工愁作压强支范围蚂为友5×1置0弹-4奴~5×闸10衔-6讨mmH墨g责。因而奇，泵的扎工作点蹦应该选挂在这个非范围之苹内，而槐不能让箭它啄在仍10层-8技mmH潜g类下长期朱工作。躁又如钛叙升华泵妙可以倾在域10挑-2弃mmH然g稼下工作总，但其摄工作压法强应小展于雀1×1劳0袭-5寄mmH喂g颈为好视。污打

浩

刮3养、真空荒泵在其覆工作压膊强下，唇应能排奋走真空栏设备工让艺过程吩中产生呼的全部休气体量删。凑炊

宇

祥4饺、正确群地组合俘真空泵域。由于膨真空泵锻有选择岛性抽气女，因而遥，有时和选用一安种泵不男能满足键抽气要移求，需蚕要几种哄泵组合狡起来，剧互相补弄充才能昆满足抽惧气要求登。如钛蜡升华泵饥对氢有右很高的祥抽速，蔬但不能龙抽氦，贡而三极雨型溅射泼离子泵遍，（或按二极型狡非对称芬阴极溅哀射离子蓝泵）对肾氩有一罢定的抽峡速，两智者组合长起来，侮便会使乒真空装秘置得到辅较好的拜真空度仰。另外侮，有的次真空泵勤不能在摄大气压旷下工作席，需要齐预真空兽；有的录真空泵忠出口压少强低于桂大气压泻，需要史前级泵心，故都周需要把前泵组合铸起来使聪用使。跟倡

办

侵5贞、真空胖设备对爆油污染杠的要求赌。若设全备严格由要求无茅油时，女应该选晓各种无狗油泵，著如：水艺环泵、蛙分子筛阴吸附泵荒、溅射仇离子泵酒、低温如泵等。脆如果要怨求不严蔬格，可肺以选择窝有油泵膏，加上亩一些防荡油污染沉措施，涛如加冷李阱、障蚀板、挡颂油阱等释，也能扰达到清承洁真空僻要求弯。挎峡

孩

旅6欣、了解雕被抽气竖体成分找，气体殿中含不默含可凝莫蒸气，捕有无颗久粒灰尘短，有无跪腐蚀性强等。选辅择真空冒泵时，沙需要知巡道气体规成分，攻针对被蔽抽气体两选择相百应的泵池。如果舱气体中款含有蒸玉气、颗净粒、及惨腐蚀性辫气体，毛应该考亏虑在泵暴的进气发口管路割上安装父辅助设益备，如循冷凝器象、除尘歼器等夺。能团

励

警7厕、真空旬泵排出洽来的油帝蒸气对蜻环境的磁影响如骑何。如乳果环境箩不允许青有污染奖，可以淹选无油豪真空泵渣，或者勾把油蒸亦气排到反室外范。幻梅

究

有8摔、真空碌泵工作录时产生训的振动份对工艺戴过程及朱环境有驾无影响掀。若工缸艺过程智不允许料，应选评择无振骗动的泵适或者采期取防振泡动措施临。臂柔

尿

约9括、真空增泵的价快格、运霞转及维址修费用异。剖刺水环式模真空泵邮的选择漫一、泵搭类型的范确定泵袭的类型玻主要由叙工作所雹需的气某量、真号空度或卧排气压冻力而定堤。哲初泵塌工作时宁，需要叶注意以昨下两个惕方面妹：咐森尽可能罗要求在抛高效区仍内，也智就是在紫临界真食空度或京临界排草气压力抖的区域券内运行伙。瞎禽应避免校在最大卧真空度秆或最大袭排气压绳力附近男运行。龄在此区窜域内运姻行，不辛仅效率枣极低，勉而且工遥作很不何稳定，窄易产生武振动和炸噪音。阔对于真拜空度较堵高的真叼空泵而六言，在滋此区域粪之内运兴行，往陈往还会慈发生汽帐蚀现象洗，产生栗这种现春象的明协显标志碰是泵内颂有噪音席和振动允。汽蚀晴会导致乱泵体、幸叶轮等景零件的辱损坏，弃以致泵育无法工晌作趟。出它根组据以上详原则，员当泵所撤需的真圆空度或禾气体压搁力不高初时，可炼优先在回单级泵损中选取男。如果滚真空度被或排气闪压力较施高，单滑级泵往笼往不能架满足，婆或者，今要求泵书在较高尘真空度界情况下腔仍有较胡大气量子，即要逗求性能虎曲线在坟较高真锤空度时便较平坦纪，可选宅用两级居泵。如掀果真空道度要求首在吓－述710根mmH竞g辰以上，妄可选用场水环－守大气泵啊或水环欢－罗茨垄真空机结组作为剑抽真空绘装置找。蛮爽如贤果只作尼真空泵稳用，则键选用单惯作用泵品比较好厕。因为武单作用退泵的构水造简单割，容易场制造和慢维护，胶且在高偏真空情芳况下抗跳汽蚀性登好。如鼻果仅作筋较大气户量的压菜缩机使馆用，则蜻选用双踪作用的沟泵比较逮合适。恶因为双纯作用泵萍的气量参大，体植积小，慨重量轻柴，径向争力能得长到自动烤平衡，贩轴不容帆易产生污疲劳断蛋裂，泵麦的使用弟寿命较球长符。健通二、根愉据系统寨所需的我气量选色择真空妨泵腐丘初父步选定咸了泵的老类型之暴后，对锦于真空没泵，还倍要根据陵系统所健需的气锤量来选明用泵的杰型号。倍关于真耀空泵的平抽速选洋择及抽饭气时间励计算可攀参照我光公司网饱页翠.甜面对各浸种型式冠的水环拣式真空话泵及压钩缩机，迟我们特估将其各嫩自特点刚收集如殊下，以撞利于用晴户选诸型集迷代号昌主要特佩点蚁极限真牵空颜度胖mmH投g孙工作真轰空替度对mmH蜡g净抽速范思围领m修3驱/mi璃n旋密封形迫式明sk朱国内设低计单级轻水环真竿空泵，要结构简钥单、维宫修方便烟。目前命国内主萍流的低少真空水舌环式真雁空泵。是-70皮0梅-30链0~-纱650根0.1波5~1敞20形盘根、奖机械密却封畜2sk房国内设支计双级那水环真屠空泵，辣相当于罪两邻台润S贯K熄水环泵筝串联使桃用，比筝较单级汗水环泵戏具有真样空度高众及高真叼空下抽戒速较大谱的特点遥。目前餐国内主皂流水环漏式真空稿泵。常-73陷5插-30幸0~-株700病1.5统~30详盘根、月机械密馋封唯2BV元采用西盲门子先隆进技术徐，机泵歼同轴，攻结构紧贺凑，效励率高，混真空度级高，性唱能稳定拨，将逐足渐替赶代则S冒K篮、司2S糠K巩系肝列前0.4避~6m冰3体/mi院n起抽速的蚀水环真亩空泵。咐-73耕5穴-30自0~-越700叼0.4需5~8悦.33倍机械密笛封搁2BE随1撒采用西壳门子先绿进技术啦，效率待高，真桃空度高视，性能桨稳定，环将逐渐旺替蝶代长S膝K攻、枕2S修K狐系翻列倒6~1摄20m钳3逐/mi推n证抽速的逮水环真被空泵。杠-73筋5-6睛40帅-30细0~-飘700啄-30洁0~-罚600住5~4咱00也盘根、拳机械密浊封辟SZ勿5仿0忙年代苏枕联技术瞧，效率券低，能猛耗大篇，俱8毕0撤年代初姐已被淘献汰，主危要应用车于老用落户。益-64要0~-剃700朋-30见0~-庸650蓄1.5胜~27暂盘根肿SZB慕5县0积年代苏售联技术机，效