滑片式真空泵

滑片式真空泵第一页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空知识真空表，U形真空计，测得是相对压力，麦氏真空计，电子真空测出的是绝对压力？

第二页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空泵定义2、真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释：•真空泵的工作原理：机械、物理、化学。•真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。•真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。•真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。解释：•真空泵的工作原理：机械、物理、化学。•真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。•真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。•真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。第三页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空泵应用方面粗低真空•食品行业•化工行业•冷冻干燥•轻工行业•制药行业•导电(真空放电灯具)超高真空•空间模拟•材料科学分析•物理现象研究•表面分析•高纯材料制备(如MBE)高真空•冶炼•真空热处理、真空焊接•集成电路、半导体制造•各种镀膜工艺•各种表面加工工艺•化学研究•离子注入•隔离作用（绝热）第四页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空系统的组成1真空室2高真空泵（主泵）3预抽泵3a前级泵4高真空阀门5低真空阀门6前级管道7放气阀8低真空计9高真空计第五页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空泵的类型（按真空获得方式）第六页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空泵的分类（按真空泵用途）主泵(Mainpump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵；„粗抽泵(Roughingvacuumpump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；„前级泵(Backingvacuumpump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；„维持泵(Holdingvacuumpump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；„粗/低真空泵(Rough/Lowvacuumpump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；„高真空泵(Highvacuumpump):在高真空范围工作的真空泵；„超高真空泵(Ultrahighvacuumpump):在超高真空范围工作的真空泵；„增压真空泵(Boostervacuumpump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。参见国标：GB/T3163-2007《真空技术术语》第七页，共三十二页，编辑于2023年，星期一机械真空泵凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空泵。变容真空泵（Positivedisplacementpump）：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。动量传输泵（Kineticvacuumpump）：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。第八页，共三十二页，编辑于2023年，星期一常见机械真空泵图形符号参见国标：GB/T3164-2007《真空技术图形符号》第九页，共三十二页，编辑于2023年，星期一机械真空泵性能参量抽气速率（Flowrate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。极限压力（Ultimatepressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。启动压力（Statingpressure）:泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。前级压力（Backingpressure）:排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。最大前级压力（Maximumbackingpressure）:能使泵损坏的前级压力。最大工作压力（Maximumworkingpressure）:对应最大抽气量的入口压力。抽气量（Throughoutofvacuumpump）:流经泵入口的气体流量。压缩比（Compressionratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。第十页，共三十二页，编辑于2023年，星期一机械真空泵性能参量几点说明：实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参量；真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条件来执行；性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级；真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的；对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别很大；真空泵性能和真空系统性能是两个概念。第十一页，共三十二页，编辑于2023年，星期一机械真空泵规格及型号参见标准：JB/T7673-2011《真空技术真空设备型号编制方法》第十二页，共三十二页，编辑于2023年，星期一机械真空泵型号示例变容式机械泵的抽速分档：0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。第十三页，共三十二页，编辑于2023年，星期一真空泵的使用范围第十四页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。第十五页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵工作原理旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。第十六页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵工作原理两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。第十七页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵工作原理第十八页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的构成第十九页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的构成第二十页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的构成第二十一页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的构成第二十二页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的工作第二十三页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的工作第二十四页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的工作第二十五页，共三十二页，编辑于2023年，星期一旋片式真空泵的使用使用前，应首先仔细阅读产品说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气口防护件。按要求安装，接线，试转向。水冷泵接水。

为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常响是反向。

相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。

按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。第二十六页，共三十二页，编辑于2023年，星期一故障判断与诊断例举1泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。

1.1泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。

1.2不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。

2泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。

第二十七页，共三十二页，编辑于2023年，星期一故障判断与诊断例举3漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。

4漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。

5大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。

第二十八页，共三十二页，编辑于2023年，星期一故障判断与诊断例举6极限压力不达标。

6.1可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。6.2由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。

第二十九页，共三十二页，编辑于2023年，星期一故障判断与诊断例举6.3如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检杏仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。

6.4极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。用经校准的热偶真空计等全压力计测量时，测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管，以备怀疑规管污染失真时进行对