等离子体及辉光放电现象_第1页
等离子体及辉光放电现象_第2页
等离子体及辉光放电现象_第3页
等离子体及辉光放电现象_第4页
等离子体及辉光放电现象_第5页
已阅读5页，还剩2页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

关于等离子体及辉光放电现象第1页，讲稿共7页，2023年5月2日，星期三等离子体可分为两种：高温和低温等离子体。高温等离子体只有在温度足够高时发生的。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体可以被用于氧化等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。广泛运用于多种生产领域。例如：等离子电视，电脑芯片中的蚀刻运用等。第2页，讲稿共7页，2023年5月2日，星期三等离子体的驱动——射频放电微电子加工领域，等离子体可以用交流信号驱动，电源在射频的范围内，公认的频率为13.56MHz。电容性放电等离子体是主要的等离子源。第3页，讲稿共7页，2023年5月2日，星期三低气压下的气体放电。放电管中的残余正离子在极间电场的作用下被加速，于是得到足够的动能撞击阴极而产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使得气体导电。因此放电管两极间所需电压较高，一般都在10千伏以上，但辉光放电的电流很小，温度不高，属于低温等离子体现象。辉光放电第4页，讲稿共7页，2023年5月2日，星期三种类：电感耦合等离子体磁控等离子体电子回旋共振等离子体高密度等离子体——highdensityPlasmas（HDP)第5页，讲稿共7页，2023年5月2日，星期三产生过程：在反应器中引入磁场和/或电场，增加电子在等离子体中的行程，使电子和原子之间的碰撞频率增加，从而增加等离子体中基和离子的密度，实现高密度等离子体。HDP源包括：螺旋等离子源电感耦合等离子源平面盘绕源第6页，讲稿共7页，2023年5月2

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论