半导体第六讲氧化工艺课件

半导体第六讲氧化工艺51、山气日夕佳，飞鸟相与还。52、木欣欣以向荣，泉涓涓而始流。53、富贵非吾愿，帝乡不可期。54、雄发指危冠，猛气冲长缨。55、土地平旷，屋舍俨然，有良田美池桑竹之属，阡陌交通，鸡犬相闻。半导体第六讲氧化工艺半导体第六讲氧化工艺51、山气日夕佳，飞鸟相与还。52、木欣欣以向荣，泉涓涓而始流。53、富贵非吾愿，帝乡不可期。54、雄发指危冠，猛气冲长缨。55、土地平旷，屋舍俨然，有良田美池桑竹之属，阡陌交通，鸡犬相闻。氧化工艺□内容1、列出硅器件中,二氧化硅膜层的基本用途。描述热氧化的机制3、氧化方法及工艺设备。4、解释氧化条件及基底条件对氧化的影响。5、氧化膜的质量评估。从参加工作至今，一直在农村中学从事英语教学工作。一直以来，自认为在工作上倾注了自己的满腔热血，想在教学上取得好的成绩，但却觉得很难！究其原因，一方面是由农村特定的环境造成的，另一方面与教师自身有关。下面，我将对造成落后现状的原因作具体分析，并对改善落后面貌提出一些看法。一、为什么农村初中英语教学落后（一）家长对孩子学习重视程度不够农村学生家长大多数文化程度不高，还有一些存在严重的“重男轻女”的思想。而对孩子的读书教育问题，他们都是一种“重数量、轻质量”的态度。只希望孩子早日打工挣钱，不想让孩子读书“浪费”时间，对于孩子“读书成就未来”的认识不足，目光短浅，看不到知识对于孩子未来成长的重要性。（二）很多学生是留守儿童，缺乏一定的家庭教育和监管随着经济和社会的发展，进城打工成为必然趋势，这使得孩子和祖辈生活在一起，隔代教育有很多缺陷。首先，老人对孩子非常溺爱，有求必应，放任自流，对学习却几乎不过问。其次，老人文化不高，很多是文盲，缺乏科学的家庭教育方法，对于家庭作业无法辅导。另外，父母由于常年不在家，生活上不能照顾孩子，所以心理上有一种歉疚感，对孩子的无理要求总是一味的满足，而对学习却降低了要求，孩子因此也失去了上进心，也使孩子养成了许多坏习惯。（三）学生从小没有形成良好的行为习惯和学习习惯学生的自主学习能力特别差，学习被动，课前不预习，课后不复习，上课也从不做笔记。不愿动脑筋，养成了上课不听课，做作业抄袭，考试作弊的坏习惯；另外，农村学生的总体素质较低，知识面狭窄。（四）农村学校英语教师队伍薄弱。学校英语教师较少，教师教学任务重。还有很多人都并不是对口英语专业毕业的老师。虽说一直都在兢兢业业努力提高自己，但和专业的老师还是在听说读写各方面能力上有一些差距。另外，农村相对落后的情况，使得一些教师的教学方法欠妥当。一些教师课堂教学方法陈旧单一，没有新颖的方法及灵活的教学组织形式，仍以自我为中心满堂灌。课堂缺乏生机，不能调动学生的积极性。忽视创造真实的英语学习环境，缺少师生间、同学间的英语交流，使学生体验不到英语学习的快乐与成就感，对英语学习失去了兴趣。二、改变农村初中英语教学落后现状的对策与方法（一）激发教师积极性，探索适合农村英语教学的方法激发教师积极性，更新教学理念是改变目前农村英语教学现状的关键。首先要关注农村中学英语教学现状，制定合理的教师评价体系，开展多样化英语教师活动，充分调动教师的积极性和热情，主动更新理念，探索适合农村教学的新方法。另外，鼓励英语教师自制教学用具、自编教学话剧等。大胆创新，营造良好的英语教学环境，使课堂教学真正“活”起来。（二）端正学生学习态度很多学生学习态度不端正，学习目标不明确，认为学习英语没有用，许多学生都认为，“我又不出国，学英语干什么？”“英语学不好，表示我爱国！”《英语新课标》说，“学习英语不仅有利于他们更好地了解世界，学习先进的科学文化知识，传播中国文化，增进他们与各国青少年的相互沟通和理解，还能为他们提供更多的接受教育和职业发展的机会。学习英语能帮助他们形成开放、包容的性格，发展跨文化交流的意识与能力，促进思维发展，形成正确的人生观、价值观和良好的人文素养。学习英语能够为学生未来参与知识创新和科技创新储备能力，也能为他们未来更好地适应世界多极化、经济全球化以及信息化奠定基础。”一定要让学生们明白英语学习的重要性，不仅仅是为了升学，它是一门有用的工具，对未来的发展很有好处。（三）建立和谐的师生关系学生对教师尊敬、依赖，教师对学生关心、爱护，这是新型师生关系的重要特征。教学的过程不是一个简单的知识传递过程，更多的是师生间情感交流的过程。学生接受教育具有选择性，这种选择性在相当大的程度上取决于教师的情感和师生间的良好人际关系。对学生来说，有了尊师的感情才会“亲其师，信其道”，才会更加主动地接受教育。（四）加强家校联系，帮助家长建立良好的家庭教育环境。家庭环境对学生的影响非常大，家长对学生学习的态度，直接影响学生的学习态度。所以，加强与家长的沟通尤为重要。我们要充分利用家长会的机会，多向学生家长宣传学习英语的重要性，并教给家长正确的教育方法，督促好学生在家的学习，形成学校与家庭教育的合力。（五）培养学生的良好学习习惯和学习方法。古人云：“授人以鱼，不如授人以渔”。正确的学习方法是成功的重要因素，因此，教师应教学生怎样有效地记忆单词；怎样提高阅读效率；怎样对知识点进行分类、归纳和总结；如何预习、复习、做作业；如何听讲、做笔记等，请成绩好的学生介绍经验，帮助学生找到适合自己的学习方法，使学生的学习更科学有效。（六）运用现代信息技术和“导学案”，努力践行高效课堂改革，激发学生英语学习兴趣，提高学生英语学习的积极性和主动性改变传统上课方式，教师唱主角“满堂灌”学生被动接受知识的现状。让学生成为课堂学习的主体，参与其中。在主动合作交流中获得知识，提出自己不明白的地方，教师加以讲解。教师只讲学生不会的东西，对于学生会的东西，不必再重复，从而提高课堂效率。总之，农村英语教学任重而道远。作为二十一世纪的教育工作者，必须与时俱进，树立新的教学理念，积极探索农村英语教育教学的成功之路。我坚信通过农村广大英语教育者的努力，英语教学现状一定会得到很大的改善，学生英语学习也会得到提高。引言信息技术对理论和实践能力都具有较高的要求，初中生年龄较小，耐心不足、注意力难以集中等问题普遍存在，如果教师仍旧沿用照本宣科式的教学方法，必然会打消学生的积极性，导致教学活动无法取得应有的成果。基于此，教师应当将并将新课改精神作为指导教学活动开展的核心，以认知规律为出发点，结合信息技术课程的内容对教学方法进行调整，保证学生能够做到在短时间内将知识向能力进行迁移，本文所探讨内容具有的现实意义不言而喻。一、充分发挥教师的引导作用信息技术具有极强的操作性，而模仿学习又是实践操作的前提，因此，教师应当充分发挥自身的示范、引导作用。课堂上，教师应当在演示信息技术的同时，对关键知识点进行讲解，并根据学生的实际情况布置任务，使学生能够随着教师的脚步完成模仿学习的环节，实践结果表明，这样做能够使学生在较短的时间内适应循序渐进的学习过程，主动对信息技术进行探索，并通过大量实践将掌握的理论知识向操作技能进行转化。初中阶段开设的信息技术课程，重点强调的是基础训练，例如云盘分享照片、制作家庭影片等；学习云盘分享照片的目的是使学生明确云盘的概念，学会如何下载、安装并注册账号；根据自身的需求，掌握利用云盘备份并分享照片的方法；感受云盘的便捷性，养成将照片备份在云盘的良好习惯[1]。如果想要保证学生在较短的时间内掌握上述内容，教师就应当通过引导的方式，使学生能够全身心的融入课堂，初中生对教师具有的依赖性，也在无形之中强调了教师在教学过程中的重要性。二、明确自主探索的重要性一般来说，初中每节课的时长约为45分钟，对于学生来说，在短短45分钟内掌握并准确应用新的知识点具有较高难度，如果想要提高课堂学习效率，教师就应当将教学活动由课上向课下进行延伸，明确自主探索的重要性。对信息技术这门课程而言，课堂教学的重点是解决学生在课下练习和过程中遇到的问题，因此，教师应当引导并鼓励学生根据自身的实际水平，决定学习进度，以网络为平台对学习时遇到的重点和难点向教师进行咨询。另外，学生还可以选择自行查找资料，并根据所掌握资料和教师展开研究的方式，解决自己遇到的问题。当然，教师还应当鼓励学生，以兴趣爱好为出发点，对教材以外的知识进行自主学习，保证即使学习能力、水平存在差异，学生也能够掌握与自身实际情况相符的信息技术。三、激发学生对信息技术的兴趣兴趣是最好的老师。初中生正处于好奇心强、活泼好动的年龄段，稍显抽象的信息技术与其他课程相比，在激发学生兴趣方面处于劣势，想要解决这个问题，关键是以学生的兴趣为切入点，确定符合学生兴趣的教学内容和形式，使学生能够主动对信息技术进行深入学习。通过调查可以发现，调动视觉感官在激发学生兴趣方面具有其他方法所不能比拟的优势，因此，教师可以将计算机的某些游戏作为引入新知识的工具。以《玩转家庭照片》为例，在对本单元内容进行讲解前，教师可以选择“叮当猫”、“温馨生日会”等经典彩图在课堂上进行展示，再引入正文“如何独立创作精美照片”，将教学内容由最初的拍摄调整照片，向美化装饰照片进行逐步深入，使学生掌握将照片导入电脑，调整、修饰所导入照片，合理应用文字、魔幻笔、消除笔等特效，并根据实际需求对照片进行组合等技术。实践结果表明，这样做不仅可以在短时间内激发起学生的兴趣，还能够引导学生将兴趣向动力进行转化，展开深入研究，枯燥、乏味等常见问题得到有效解决，课堂学习效率自然有所提高。结语通过对上文所叙述的内容进行分析能够看出，课堂教学并非是人们传统观念中认为的，仅仅是一门学科，更重要的是它还是一门艺术，因此，想要保证教学活动取得应有的效果，具有决定性作用的因素为教学方法。随着新课改的推进，对教学方法进行创新成为了大势所趋，对强调实践操作的信息技术课程而言，激发学生兴趣、发挥教师引导作用和自主探索都具有无法被替代的重要作用，希望本文可以在某些方面为初中信息技术教师提供帮助。氧化工艺□内容1、列出硅器件中,二氧化硅膜层的基本用途。描述热氧化的机制3、氧化方法及工艺设备。4、解释氧化条件及基底条件对氧化的影响。5、氧化膜的质量评估。在集成电路工艺中,氧化是必不可少的一项工艺技术。自从早期人们发现硼、磷、砷、锑等杂质元素在SiO2的扩散速度比在Si中的扩散速度慢得多,Si02膜就被大量用在器件生产中作为选择扩散的掩模,并促进了硅平面工艺的出现。同时在Si表面生长的Si02膜不但能与S有很好的附着性,而且具有非常稳定的化学性质和电绝缘性。因此Si02在集成电路中起着极其重要的作用。在平导体器件生产中常用的si02膜的生长方法有:热生长法、化学气相沉积法、阴极溅射法,H-HN03气相钝化法、真空蒸发法、外延生长法、阳极氧化法等。在深亚微米IC制造中,还发展了快速加热工艺技术。选择何种方法来生Si02层与器件的性能有很大关系。二氧化硅层的用途1、表面钝化2、掺杂阻挡层3、表面绝缘体4、器件绝缘体5、缓冲层6、隔离层■作为MQS器件的绝缘栅介质:在集成电路的特征尺寸越来越小的情况下,作为MQS结构中的栅介质的厚度也越来越小。此时Si02作为器件的一个重要组成部分(如图1所示),它的质量直接决定器件的多个电学参数。同样SiO2也可作为电容的介质材料。■作为选择性掺杂的掩模:Si0O2的掩蔽作用是指Sio膜能阻挡杂质(例如硼、磷、砷等)向半导体中扩散的能力。利用这一性质,在硅片表面就可以进行有选择的扩散。同样对于离子注人,SiO2也可作为注人离子的挡层。作为隔离层:集成电路中,器件与器件之间的隔离可以有PN结隔离和SiO2介质隔离SiO2介质隔离比PN结隔离的效果好,它采用一个厚的场氧化层来完成作为缓冲层:当SN4直接沉积在S衬底上时,界面存在极大的应力与极高的界面态密度,因此多采用Si3N4SiO2/Si结构,如图2所示。当进行场氧化时,S02会有软化现象。可以清除Si3N4和衬底Si之间的力。作为绝缘层在芯片集成度越来越高的情况下就需要多层金属布线。它们之间需要用绝缘性能良好的介电材料加以隔离,SiO2就能充当这种隔离材料作为保护器件和电路的钝化层:在集成电路芯片制作完成后,为了防止机械性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