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文档简介

现有陶瓷基板制造技术1、氧化铝基板(1)Al2O3陶瓷的基本性质●优良的机械强度良好导热特性,适用于高温环境;●具有耐抗侵蚀和磨耗性●高电气绝缘特性良好表面特性,提供优异平面度与平坦度;抗震效果佳●低曲翘度;高温环境下稳定性佳●可加工成各种复杂形状(2)Al2O3晶体结构具有多种同质异晶体α(三方)、β(六方)、y(四方)、η(等轴)、p(晶系未定)、X(六方)、K(六方)、δ(四方)、θ(单斜)Al2O3等10多种变体;主要有以(三方)、β(六方)、Y(四方)相α-AL2O3为高温稳定相,工业上使用最多。a-Al2O3Al3+与O2之间为强固的离子键;O2阴离子近似于密排六方排列;A3阳离子占据了2/3的八面体空隙位置,即每个AF位于6个O2构成的八面体的中心;α-Al2O3结构的填充极为密实,其物理性能,化学性能稳定,具有密度高、机械强度大等特性。(3)A2O3陶瓷的分类及性能99瓷:~99%095瓷:~95%90瓷:~90%按含量来分高铝瓷:>859刚玉瓷:>990白色按颜色来分紫色黑色Tablel-lPropertiesofAl2O3substrateAl2O3含量〔w%)93~9697~995体积密度(g/cm3.6~3.703.65-3.75380~3.95抗弯强度MPa250~320330~395线膨胀系数(25-800℃)103673~7577~788.0~8.1热导率(w(m◆k))13~2418~2629~32绝缘强度(KVm体积电阻率(25℃)/2cm)介电常数E(IMHz)9.098介电损耗(MHz)/104用途厚膜用基板厚膜用基板薄膜用基板(4)Al2O3陶瓷原料生产Buyer法Naohaq铝酸苏成核剂铝矾土打溶液→水铝矿AL2O3.3H,O过滤、煅烧、脱水a-Al2O31100-1200%C(5)Al2O3陶瓷基板制作方法(a)Al2O3陶瓷成型助烧剂厚膜用:Al2O3SO2MgO、CaO,提高金属化层的浸润性;薄膜用:0.2w%MgO,得到密度高、表面平滑基板,MgO抑制烧成时A2O颗粒长大(Cr2O3抑制MgO表面蒸发)●粘结剂PVB(聚乙烯醇聚丁醛树脂)分散剂DBP(邻苯二甲

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