半导体中的材料硅片制作流程概述

第二章

半导体材料特性1提纲22.1原子结构2.2化学键2.3材料分类2.4硅2.5可选择的半导体材料2.6新型半导体电子与光电材料2.1原子结构

原子由三种不同的粒子构成：中性中子和带正电的质子组成原子核，以及围绕原子核旋转的带负电核的电子，质子数与电子数相等呈现中性。图2.1碳原子的基本模型3电油子己能饰级比：原秘子级币的咸能熔量东单志位鱼是遣电事子裳伏另特满，移它违代杨表匠一棍个栗电港子解从挪低芹电附势揉处翅移租动船到爽高正出1筑V的绕的忙电略势犹处木所锄获逢得孩的苹动糊能滚。价工电膛子胸层蛛：原茅子最是外杜部骑的呜电泰子拴层辱就铺是徒价蜡电辩子房诚层铜，泽对狸原校子雪的兆化灭学袖和挨物尾理完性劈燕质键具阔有顿显串著养的炸影误响闷，某只袖有锹一插个纪价舍电否子肥的践原竖子译很供容爆易最失源去泻这辆个掉电晚子屋，侄有7个晶价赵电迎子命的逼原皂子革容馆易牙得潜到驱一艰个吗电泽子弊，蛛具锻有预亲低和旧力皂。图2刃.猜2钠短和吗氯护原侦子捏的凑电龟子惊壳冰层42础.镇2化嘴学拥键2模.摄2替.暂1离串子嫂键当价肥电皮子央层爪电流子菊从蚁一炼种浇原铜子旦转谎移弹到壁另层一塑种挪原狼子叨上砖时注，省就扰会壶形帮成栋离搞子效键筝，闭不多稳缠定刚的便原职子暮容抗易巡寿形导成气离漆子权键违。图2房诚.塘3览N教a巩C征l的滤离念子誉键52规.娇2女.浪2共氏价凤键不淹同元据素驼的钱原劈燕子泻共订有水价增电普子昼形货成筛的录粒铅子势键炼，卸原尽子址通脱过羽共绑有偷电晴子寨来楼使叔价忙层采完被全菊填纸充坚变机得持稳灶定茫。辨束票缚欠电雅子碍同谷时妥受沈两袭个善原典子居的惠约查束沸，叛如央果浪没协有圈足稍够巨的语能眼量隙，匪不似易搞脱巧离换轨评道。图2抬.刚4渡H熊C眼l的扮共王价剥键62植.咱3材御料分吴类-能刃带莲理造论7导竖体导求体沫在识原魄子越的唐最护外耳层淡通丽常凯有梅一服些仔束程缚蛾松斤散边的屯价春电线子吓，矩容蛾易迹失冈去演，牲金参属略典养型鸣地赞具吸有剥这宽种色价分电戚子演层国结芒构秆。在舰一线般苹的紫半闯导尿体稀制刮造暴中霉，喘铝弹是他最埋普誉遍责的貌导衔体嘉材宿料说，软可算以协用鸣来鲁充享当阿器慌件油之趟间凯的荐互登连枯线歇，拼而访钨贸可观作众为棵金姓属策层必之较间丘的窑互中连妥材筋料水。铜调是倾优希质时金踪蝶属蝴导匆体践的石一叨个漂例浸子徐，雕逐心渐定被箩引胞入斤到努硅昌片虽制腾造寸中余取名代贸铝代充胳当乘微芬芯循片缴上功不仔同恢器屯件视之君间酿的崇互碗连贡材绪料票。8绝牲缘杰体绝倘缘节体副的递价傻电逼子贸层劳不得具里有闯束妇缚丙松舒散衔的唇电拣子泥可福用镜于均导销电贫，亚它挂有马很艳高纪的粥禁薄带溜宽溪度花来袄分逐隔老开将价宫带蚊电屋子怜和垂导歼带筋电弄子滋。半他导只体却制忽造亮中贺的火绝甚缘座体园包幼括涉二称氧点化薄硅貌（S鞭i血O2）衫、娱氮划化它硅臭（S涌i3N4）狸和著聚浓酰册亚痕胺乐（须一诞种揉塑烟料的材识料留）渡。半捧导饭体半罪导溜体传材骆料甘具亲有纠较傲小矮的拍禁颈带惰宽平度,其码值分介减于领绝虏缘带体最（>伤2如e柿V）嗓和搏导辰体揪之津间竞。市这想个快禁湿带锹宽惭度阅允去许丈电粗子洲在姜获喷得然能臣量腿时欣从谈价殖带锯跃犬迁迷到主导沸带答。圆课片炎制换造既中推最矛重和要玻的卖半可导轧体拘材坝料上是悬硅早。9周帜期念表献中趴半映导葵体腐相慰关谦元大素周期ⅡⅢⅣⅤⅥ2硼B碳C氮N3铝Al硅Si磷P硫S4锌Zn镓Ga锗Ge砷As硒Se5镉Cd铟In锑Te2坊.邮4硅硅勉是浮一象种逝元滑素治半蔬导而体放材钻料表，弊因娃为岭它芒有4个奴价拖电凑子衫，帖与液其臭他先元竿素谈一柜起肃位船于嘴周泉期准表砖中支的Ⅳ叙A族学。暗硅倦中请价踩层巡寿电悠子而的耽数慈目老使卵它李正避好际位荡于局优彩质社导帆体刘（1个柴价昆电每子穗）舍和竭绝澡缘泽体川（8个疾价各电月子昨）虑的闪中锐间极。1就1硅届的伏晶箱体迅结群构1鞭0妨9º弱2索8伞´地魄壳驻中剪各吊元茶素踪蝶的原含绳量2沃.围4轰.身1硅尿作荐为舟电厅子匹材鹅料号的脾优凡点原志料爸充扭分宽；硅政晶便体状表姑面医易透于戏生妙长最稳杆定块的油氧丽化拢层奋，润这你对超于光保客护秆硅蓝表拾面厨器伐件允或质电乞路和的在结狐构看、诵性刻质赏很投重乖要绪；重隶量殊轻问，撤密废度法只赵有2店.辨3贯3怀g漠/掉c肿m3；热全学友特屑性雕好阀，狱线近热螺膨努胀闲系希数么小尽，2难.绳5刮×堆1谜0-灰6/捏℃，洋热盗导楚率邀高暂，1乳.如5器0较W挎/喘c岂m娘·罩℃；单个晶浴圆敲片杠的哭缺字陷员少趴，圆直少径谈大棒，朋工幻玉艺激性纪能浇好；化鞠学边性肉质可稳芒定坑，习常刺温境下擦只艇有畜强旋碱道、轿氟纽奉气尿反怜应怀；机涌械演性伸能迹良破好阁。1仇42古.拾4胞.评2纯头硅纯激硅腐是讨指兵没圣有们杂锤质驳或脉者滋其注他惠物县质明污驶染冶的验本劳征炎硅档。掘纯朱硅刮的丑原她子锄通能过挣共志价呢键径共避享扣电萄子驴结司合教在掠一纹起悼。+4+4+4+4共咱价穿键有醉很龟强梁的芳结令合持力灯，懒使房诚原车子排规哈则围排造列掏，条形亩成盟晶惯体粉。共叼价否键疑中槽的易两脖个厚电杯子纷被海紧宫紧吸束威缚里在剃共悄价芽键倘中盾，铲称唯为紫束北缚铅电逐子辰，显常线温叙下胁束罗缚植电缎子套很滥难择脱疏离乞共川价汤键填成病为所自亭由研电撕子热，络因暮此翅本日征森半机导绘体藏中牢的伙自垃由呼电老子秃很中少童，裳所穷以蛋本君征碗半矿导红体剩的抛导敌电拔能蓝力平很怜弱结。1某52期.尤4忍.何3掺委杂扒硅在本模征端半获导吉体楚中麦掺厕入把某蜂些看微羽量娃的乘杂岂质颂，颗就应会摇使挖半催导典体万的某导致电压性减能转发慌生选显帝著宅变问化。其原钞因寄是豆掺林杂顿半说导览体侦的争某伴种布载屠流耀子单浓邻度学大慎大楚增贴加爪。厅载呈流粘子局：乡丰电枣子站，空秃穴福。N型器硅—冠—在本征缘瑞硅祥中掺顿入升五抓价物杂妖质元贡素屡（疏例仗如径磷塌、氮动）中，渗主饼要爬载弹流晨子饥为竞电使子洲。P型齿硅—略—在船本征菌硅越中掺华入歌三申价朝杂摇质元览素痰（溪例悬如硼、镓、铟始）进，蛋主缺要载载铅流醋子拢为赴空岩穴。1通6N型硅多余电子磷原子硅原子SiPSiSi1敬7P型城硅空穴硼原子SiSiSiB硅原子1倚82播.百5可首选亮择魄的丢半霞导启体帅材纠料2呜.尿5罩.可1元皮素偏半绪导桌体—永—岛G朱e、S宝i最失初种大挺量参使围用巷的酱半亲导钳体陆材堆料静是锗。1猪9裕4星7年傻第局一梢只筝晶歇体音管察用朱的营就课是痒锗醉。纵但臂是惩锗的问禁询带宽爆度躲为0然6盟7无V热胃稳疏定谅性拍差佛最离高年工触作锤温佳度谣只俘有8争5℃抖。硅具秃有女很盐多燥优暗点批，巡寿地柔球滨上河储且量略丰刮富壤，江易阀于河提跟纯刷，旷热今稳党定顽性状好宴，始在胃表率面奇可掠生主长质洁量很唤高含的均二无氧朴化祝硅岗层牲，屋工待作仆温范度瞒可虏达1铸6接0℃暮。崖硅刘几赠乎撞成符了稍半耐导仆体教的断代葱名光词参，晨全忆球硅近集灵成英电渴路年拳产沟值汪在2熊4德0俯0亿株美企元堤左惠右戴。1积92代.诊5押.朽2化羞合劫物编半屡导绿体—狸—码G喝a谅A娃s、I袖n妖P砷翠化弊镓等计材妇料递的揉电滩子诉迁难移大率叠差脑不煎多利是址硅拨材祝料撑的6倍霉。驻它偏们餐的猛峰顿值晶电蜻子司速止度险也亭是硅掉饱芦和速恢度借的2倍望多第。衬禁尽带绳宽病度历和肤临疯界隔击充穿妹场赌强姥也恒比泰硅吓高砖，采因旱此冬是皆制虎造秒高售频电删子垂器赚件冒的理评想状材篇料鸣。右目困前霞砷翠化和镓帮是征化必合秘物孕半滤导奇体僻的指主友流惨材色料穗，韵全难球驴砷物化拖镓斧高焰频炼电冈子胸器棚件和画电翻路的蝴年值产注值2省4亿洪美遗元。磷阴化铟器圣件疼的扮电专子奏迁苦移滤率农高秘达1企0虫0鸽0却0经c扫m性2欲/岛V剑﹒奸s，雀比吐砷销化沉镓男还鲜高真，风所跟以蛇其它高背频性罩能更鸦好孝，樱工赌作僵频平率顶更迎高欲，康且钢有复更麦低党的边噪虚声祥和它更荒高之的熊增坡益卫。遗目垫前败在1先0呢0鸭G单H垃z左禾右螺的3腾m杠m波馅段絮多刷数话都刊用凶磷宋化血铟弊器沾件翼。2进02柔.春5咸.重3宽勺带津隙蚀半爷导娃体—暴—钢S喜i荡C、G删a赴N碳刮化很硅原遍子害束巧缚怜能比力信非份常忆强后，叔禁势带行宽转度副很信宽山，霜机放械帽硬叹度休也暂很语高搂，的在2方0世伪纪8裤0年恶代人挡们津逐哥步捷掌严握偷了祖碳宣化顿硅乌晶背体致的研生雁长羡技贿术羽后匆，9附0年惧代醉用抖于扒蓝仍光挂发男光召材宇料伶，登同登时苍以碳援化硅聋材醒料串为缺基流础浇的倍电斤力激电咱子拖器蛛件娘和想微暖波亡功转率维器毕件怎也蒸相伐继沈问训世。实础验表窄明良，氮沃化纱镓具榨有性更罚好首的莲发华光败性迎能班，捎因世此突蓝锦光疗发饺光升领否域印内谢碳总化铅硅葛已呜被氮劈燕化埋镓代肌替我，缝目妇前今氮烟化稍镓楚是显蓝秩光授和半白斧光扛发研光区器僵件托的外主糟流荡材黎料绿。谜同降时怒，属人蒙们唯还袍发商现伟在微烤波昆功轮率放艘大饲领故域驾，牲氮梦化火镓弄的第输到出拉微疫波窗功顿率康比抹砷服化惨镓搞和享硅宝高奸出腹一绩个僚数痛量千级扁以液上呢。2拉12拦.蚕5偏.或4半浴导科体懂材绪料的抓新俗探阁索随表着席材环料怕技尸术封的葵不并断撒发绍展弄和勺成衡熟栋，哑新阵材块料情层餐出歉不棵穷呢。币人饺们仙可屋以傍用拣三使种关或唐四喷种元体素人椅工修合畏成状混犹晶碌半荡导挣体倘薄肝层吩单猴晶叮材刮料倍，伯调绳节奶这销些懂元剑素税的惨比胳例兄就刘可牌以钻得雁到参所如想蠢要蕉的不犁同禁省带充宽乓度方和劈燕不墙同计晶成格估常视数制，羽称旺此蚂为能度带的工义程。金铲刚握石具翼有埋最寒大宣的塑禁湾带头宽窝度华、爽最初高摩的焦击疤穿歌场载强辞和损最熊大钢的跑热择导拨率厨，盲被唇称剪为牌最蓬终的讯半关导床体。匠此棋外谊，被极启窄旗带梳隙钢半交导床体方材钱料它，诉如I陆n软A筐s（0即.抵3胁6构e掀V）粉等白，负也喘被撑人茄们沙广紧泛帽研顺究。石办墨烯斜与桃碳慨纳须米旋管讨等房诚半爱导快体互材快料嚼。2乖2几帐种麻常供见摇半润导侵体激材俭料间的松主蚊要弯特殃性参全数2屿3更鸡多即半饱导习体有挺机州半首导灭体非幅晶兆半环导副体2屡4第从三惩章硅零片起（番晶呼圆语）德制咏造鸣流丑程2挽52睁6晶圆制唱备掉的新四状个魄步六骤A：矿炉石斥到推高复纯期气闹体分的揉转露变巴（亏石棵英绳砂韵冶请炼狮制象粗狠硅比）B：气架体踢到评多退晶茂的辩转狐变C：多罩晶躲到板单别晶护，减掺灾杂男晶铺棒竭的糠转梦变各（喜拉守单真晶滋、士晶炊体更生谷长碰）D：晶黎棒姑到闯晶欢圆撑的旧制跪备芯片片善制梦造掩的相第冶一伤阶酒段烂：晨材脖料静准灵备芯走片激制鹿造当的版第告二夜阶居段落：倚晶陪体念生卖长筑和付晶之圆妨制融备2宰7晶圆质制盟备（1）体获答取间多市晶①冶渴炼S香i争O2+娘C伤→别S芽i习+糟C臣O链↑得围到桃的宏是豪冶浮金慰级忌硅尖，遍主凶要勤杂视质积：F途e、A觉l、C、B、P、C牙u要应进毅一种步交提越纯世。②绝酸栗洗硅净不个溶吧于描酸配，抄所仗以丈粗颈硅申的环初开步告提作纯爷是击用H郊C峰l、H2S套O4、臭王爹水彻，H端F等浴混滥酸娘泡竭洗较至S躬i含义量9苏9洒.饲7出%以件上并。2惯8晶圆苏制博备（1）负获所取旨多葛晶③精芹馏若提寒纯将孔酸控洗定过姓的拜硅缘瑞转笨化丑为S话i艺H钱C麦l3或S棍i猜C括l4，S蔽i卖+渔3耀H乓C桨l（g）刷→S雾i周H梯C沙l3↑旗+怜H2↑S店i颤+呈2安C躁l2→壮S桂i丢C吹l4↑好俗处那：常仰温否下S洞i管H栏C香l3与S门i千C答l4都乡丰是宜气抚态随，S凳i翅H辅C抹l3的共沸肝点描仅躺为3年1笛℃精堵馏普获苹得雷高言纯并的S吉i妇H压C丝式l3或S绵i孕C径l42抱9晶圆程制近备（1）报获笛取策多秤晶④还必原多效用H2来等还气原S屡i拘H捉C系l3或S喝i劈燕C冒l4得催到惩半谅导疑体药纯顽度拍的伯多伙晶作硅卷：S料i岁C晒l4+虏2雾H2→记S守i煌+撑4陵H辽C耕lS殊i烟H萝C湾l3+沉H2→出S执i录+逐3护H朵C视l原狱因寇：氢程气绒易切于碗净晒化浸，礼且壮在S皂i中愚溶渔解盼度祖极格低3响0晶圆制敌备线（2）巨单没晶约生到长定生义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