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文档简介

时间反复无常，鼓着翅膀飞逝半导体制程技术导论Chapter7等离子体工艺Chapter7等离子体的基础原理目标?列出至少三种使用等离子体的IC制程?列出等离子体中重要的三种碰撞?描平均自由程?解释等离子体在蚀刻和化学气相沉积制程的好处?说出至少两种高密度等离子体系统讨论的主题?什么是等离子体??为什么使用等离子体??离子轰击?等离子体制程的应用等离子体制程的应用?化学气相沉积蚀刻?物理气相沉积?离子注人?光刻胶剥除?制程反应室的的干式清洗等离子体是什么??具有等量的正电荷和负电荷的离子气体?更精确的定乂:等离子体就是具有等量带电性与中性粒子的气体,等离子体本身就是这些例子的集体行为例如太陽,电弧等等离子体的成分?等离子体是由中性原子或分子丶负电(电子)和正电离子)所构成?准中性:??离化率:n:ny(netn离化率?离化率主要受等离子体中的电子能量决定?大部分等离子体制程反应室,等离子体的离化率小于0.001%?高密度等离子体源有较高的离化率,约1%?太阳核心的离化率约~100%中性气体密度?理想气体1摩尔=22.4升=2.24?104cm31摩尔=662?1023个分子?1大气压下的气体密度是2.96?109cm?3?1托的气体密度是3.89?106cm23?1毫托的气体密度是3.89?1013cm?3?射频等离子体源有非常低的离化率等离子体的产生?需要借助外界的能量?射頻(RF)电能是最常使用的电源?产生一个稳定的射频等离子体需要真空系统射频功率暗区或电极等离子体鞘层至真空泵平行板等离子体系统离子化?电子和中性原子或分子碰撞?把轨道电子「敲离」核的束缚e+AA++2e?游离碰撞产生电子和离子?维持等离子体的稳定26、要使整个人生都过得舒适、愉快，这是不可能的，因为人类必须具备一种能应付逆境的态度。——卢梭

27、只有把抱怨环境的心情，化为上进的力量，才是成功的保证。——罗曼·罗兰

28、知之者不如好之者，好之者不如乐之者。——孔子

29、勇猛、大胆和坚定的决心能够抵得上武器的精良。——达

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