全国工艺冷却水系统施工技术

工艺冷却水系统施工技术

侯初

目录1、工艺冷却水系统简介2、工艺冷却水系统的安装技术3、工艺冷却水系统的调试技术

1.工艺冷却水系统简介1.1冷却水冷却水只是指将温度高的水降低温度后在进行重复利用的水。所有的液体和固体中，水的比热容最大，是优良的热交换介质，其次水的化学稳定性好，不易分解，水的热容量大，在常温范围内不会产生明显的膨胀或压缩，水的沸点较高，在通常使用条件下，在换热器中布置汽化，水的来源较广泛，流动性好，易于输送和分配，水的处理运行费用低。

1.2工艺冷却水在半导体厂房中主要用于生产工艺设备的冷却,或称制程冷却水、工艺设备冷却水、简写：PCW。2.工艺冷却水系统的安装技术2.1系统概况工艺冷却水系统主要由三个环路组成：1)一次侧环路:高温水箱中的水由循环水泵提压，经热交换器冷却后进入低温水箱;2)二次侧环路:低温水箱中的水经循环水泵提压，过滤，由输水管线送到工艺设备进行热交换，交换后的高温水沿回水管线流回高温水箱；3)另一环路:为冷媒侧冷冻水供回水环路，经冷机制备的冷冻水经输水管路至交换器冷量交换后回到冷机侧；4)有的工艺水冷却水系统未设低温水箱,经热交换器交换后的低温水直接送入工艺设备;

典型工艺冷却水系统图

2.2冷却水水质

工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道,为避免毛细管道的结垢,对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求；1）冷却水温度：20℃；（冷媒系统：13~18℃冷冻水系统）

2）酸碱度(PH)：6.5~8.0;

3）最大粒径颗粒：≤0.03mm2;

4）硬度:＜100ppm;

5）电阻率:＞1KΩ•cm;

6）总溶解固体(浊度)：＜100ppm;

2.3系统的主要构件工艺冷却水系统中一般包括水箱，水泵，过滤器，板式换热器，用水点，电气控制，温度传感器，压力传感器、RO补水装置，泄压阀，调压阀、阀门、止回阀及管道等；1）水泵：水泵须满足使用流量和扬程的要求，且体积小、重量轻、造价低，有良好的特性和较高的效率；良好的抗汽蚀性能，既能保证水泵运行平稳、寿命长，又能降低运行费用，工程投资少；水泵的本体采用不锈钢材质，可以很好避免对水质可能造成的污染，但是造价稍高；2）过滤器水过滤器或过滤装置的选择，除要考虑后续管路可能对水质的影响，还要兼顾考虑不同工艺设备水质要求的差异，因此，一般选择为两级过滤器；前端过滤器一般选用5um，99%过滤要求的不锈钢过滤器；

末端过滤器选择根据末端工艺设备的水质要求确定；

3）热交换器热交换器按其形式可分管壳式，板式，板翅式，热管式等，相比较而言，板式热交换器具有占地面积小，传热面积大的优点；

考虑到半导体厂房空间面积造价特点，优选占地面积小的设备，工程造价相对会较低；

选型要满足设计流量下的热交换量，并且在最大流量及压力时不能产生变形或振动，并符合一侧无压力时仍可承受最大操作压力；4）RO补水洪装置补水扩装置桥一般忍由补穴水管祖路，戏水箱带液位慨计、肝电动桌阀组遍及其衡旁通哲管路闯组成樱，水迎箱水珍位过丘低时俱，液芹位计膏发出貌补水格信号险，电眨动阀疯开启骂，RO水进握入水消箱，劲水位点达到盼预定按位置龟时，载液位火计发轨出信沾号，休电动绕阀关粮闭，楼补水押结束咬；补水汇装置2.掌4自控印系统PC晚W在半酷导体耍厂是啄个非墙常重狐要的助系统质，它尤出现短故障搁会影鱼响FA阔B内的房诚大部莫分的课机台关设备下，系洒统自钱动化喝程度宾高，尘对控膏制要应求较善高，坟主要坊包括运对供和水水奖温、云供水弟压力改、水业质以渴及水镜泵的两控制断。1）供佳水水顿温的解控制根据证工艺熄设备虚对供拳水温便度的条需求浪，系盟统对鞠供水伙温度展要求插控制倾在20蚀℃，供肝水温卖度通梨过安您装在嫁输水网管道争上温蛾度传习感器励采集拐，传披输到PL序C运算环控制盾模块耕，控虫制冷举冻水碗侧电芳动阀母开启仰度调糠节冷边冻水斯侧流疯量，迟从而病控制隆板换骂冷量缎交换卡，使叉冷却届水达恼到20丝式℃的设雨计目异标要敢求；2）供欣水电摊导率匆的控里制控制寒供水犬电导尺率其所实是岛间接绑反映观对供债水水碑质的颂控制竖，系挡统高蛙温水吹箱补深水采钉用RO水及角超纯辈水，婚电阻怀率高裹于1.慕0K皇Ω•唐CM。当班安装妄在高乖温水丧箱中斤的电种导率俘测试舅仪检绳测到茂电导爸率不夏满足盛设定峰要求胃时，颂系统蓝会将梢此信旧号传拥到PL静C控制脱模块悟，PL扭C经运梳算控垦制超江纯水策补水踪蝶管路糕上电描动阀府开启渣度确禾定补玻水量氧。另养外为缩慧防止列水箱数中水罩与大闭气直苍接接涛触，迹影响护水的泻电导从率，花采用伏氮封屈保护诞水质巡寿。3）供兰水压梅力控直制系统梨二次晕泵采播用变克频调恋速控劳制，胃即通靠过系冠统供夕水压妖力来蛮调节偷变频踪蝶器频寇率，讯进而伙调节孔供水捆压力爽；同献时压膀力传总感器扯控制就水泵建出口擦端回圣水电击动阀代的启驱闭，匪当压壁力大宋于设嘱定值(如0.师5M惹Pa避)时，愧电动林阀打播开，涝以防辅止系随统压仁力过叫高，福对后跪续管怠路尤上其是锻工艺妈设备凉产生阴影响撇。4）变通频泵肢的控菜制最基着本的恢是供脉水设鱼备、凉泵还榆有后族备设磨备的兴工作赌持续睁性，宋也就船是不求间断慌运作扫；a.高可揪靠性积的供气电电副源，领一般伯用UP此S供电阳；b.备用腿泵，衫当运华行泵渣故障轰或供纵水压痛力小招时自负动启猛动备枪用泵旅；c.全部燃水泵简使用纱变频烟恒压洞供水赖；d.对备振用泵笼的启容动通塔过供象水压笔力来忘控制浆，当绘供水槐压力修低于询一定球值时色启动赶备用奇泵。糖当运寨行泵史出现弓故障漫停止标时，系备用断泵工器频启窗动。2.匪5管网艰的布倦置一般录采用著采用克同程坚式布织置；1）同砌程式刘布置昨每一抽环路义管路煌的长糠度大摘致相线等，盾各机机组(工艺沃设备柴？)的水到阻力回大致锤相等出，因段此各显机组详的流完量大里致等返于设匆计流倒量，累系统宗水力伸平衡预性较鲁好水闷；2)水泵撤安装销位置信选择罩简易愤，可在以安方装在昆系统营任何暴位置皱，通嚼常情颠况下资，考行虑维越护检邮修方疏便，胶水泵惭及系划统相毙关设宅备均邪会设裕置在畅单独笛的设柏备机夏械室谋；2.偏6管道证的材雄质系统堪管道腔材质脂要求怨相对涌较高让，同覆系统袍对水凯质要荡求相殊关；采用粮不锈因钢材州质的丹管道丈，可朵避免币管道膜对水丧质产袖生的已影响田，又花能满桐足系醉统长住期运勤行的迁需要凝；碳钢尚钢管锻，长迹时间盆运行奏，管摸道很席容易丹锈蚀煌，造俯成水犬质污厚染；2.理7压力曲试验椒及吹来扫安装忽后管洪道空扶气压概试验验，试泽验压京力为1.劫25雅MP肠a，试寄压后桌进行扎空气麦严密躲性试逢验，思最后垄进行何空气擦吹扫惕；3工艺窝冷却牺水系束统的佩调试斧技术工艺称冷却弟水是澡个非美常重超要的宗系统箩，主旷要应亲用于抬各种砌工艺拍设备伏的冷虎却，咏出现亚故障怒会影唇响大侨部分猜的机移台设第备设芽备的栽运转夜，由该于工础艺设搏备对努于工稿艺冷脚却水疑的各妇项参贷数要假求较拣高，蓬因此生，系殃统的墨调试南尤为胀关键滥；1）水浅泵的惨调试贡；2）关棍键阀牌部件怨的调个试（这泄压韵阀、罩背压星阀、鸡补水旦装置晋、温臂控电谅动阀块、自村动排辫水阀各等）受；3）自孔动控托制系芬统的何调试乖，自涉动控布制系庸统的横调试岩尤为充重要嘉，是尝满足馋系统甜各参阅数控情制的摩重要乐一环蜂，水项温、至压力往、水等质等存各参休数的硬控制拜，系东统正萍常运谨行的戚关键标因素桥；工艺赖冷却拳水系趟统安搬装技爹术，搜可参始见作逐业指郊导书竖部分矛，如下理：《作业毁指导鞋书-纯水克设备定安装》编号少：CT精GD推-S历OP淘-P拉-3哥6《作业海指导俯书-流量虫计安泉装》编号证：CT症GD珍-S轿OP先-P歉-5腐5《电动蔬两通答阀安轮装作娘业指拘导书》编号拖：CT夜GD须-S识OP牢-P荐-5随4《作业辞指导蕉书-波纹让管补白偿器》编号样：CT符GD痕-S梁OP辈-P炒-4斧1《作业俱指导技书-纯水截系统腔调试》编号谦：CT晋GD正-S贩OP巨-P挖-8挖2《作业睬指导谊书-气动咬两通洗阀安圾装》编号滴：CT迈GD址-S甜OP冲-P擦-5福8《作业汽指导革书-温度地计安远装》编号片：CT免GD序-S哀OP驾-P赚-5芬5《作业图指导成书-U箩PV惯C管安工装》编号辨：CT教GD岗-S攀OP没-P集-1孝1工艺连冷却送水系寺统安刘装技敞术，巧可参脱见作驾业指贡导书冬部分雾，如下池：《压力累表安泳装》编号光：CT钻GD撞-S桶OP洞-P组-4铃4《普通舌不锈芽钢管听道焊勺接》编号拘：CT跌GD回-S蜂OP菊-P救-0匹2《板式健换热