GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

ICS77040

CCSH.17

中华人民共和国国家标准

GB/T35306—2023

代替GB/T35306—2017

硅单晶中碳氧含量的测定

、

低温傅立叶变换红外光谱法

Determinationofcarbonandoxygencontentinsinglecrystalsilicon—

Lowtemperaturefouriertransforminfraredspectrometrymethod

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T35306—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅单晶中碳氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法与

GB/T35306—2017《、》,

相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

GB/T35306—2017,,:

更改了适用范围见第章年版的第章

a)(1,20171);

更改了方法原理见第章年版的第章

b)(4,20174);

更改了干扰因素见第章年版的第章

c)(5,20175);

更改了仪器的波数范围见年版的

d)(7.1,20177.1);

更改了样品及参比样品要求见第章年版的第章第章

e)(8,20178、9);

更改了样品厚度要求见年版的

f)(9.2,20178.3);

增加了代位碳间隙氧的基线范围积分范围及校准因子见

g)、、(10.1);

更改了试验数据处理见第章年版的第章

h)(10,201711);

更改了精密度见第章年版的第章

i)(11,201712);

删除了不同温度的碳氧红外光谱吸收峰位置和标定因子见年版的附录

j)、(2017A)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位青海芯测科技有限公司隆基绿能科技股份有限公司有色金属技术经济研究院

:、、

有限责任公司青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司洛阳中硅高科技有限公司布鲁克

、、、

北京科技有限公司亚洲硅业青海股份有限公司宜昌南玻硅材料有限公司陕西有色天宏瑞科硅

()、()、、

材料有限责任公司新疆新特新能材料检测中心有限公司弘元新材料包头有限公司高景太阳能股

、、()、

份有限公司

。

本文件主要起草人薛心禄秦榕李素青杨晓青邓浩岳玉芳李明珍赵雄张园园赵跃

:、、、、、、、、、、

雷浩东蔡延国陈卫国路盛刚徐岩张遵邱艳梅李向宇杨阳徐志群汪奇

、、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2017,。

Ⅰ

GB/T35306—2023

硅单晶中碳氧含量的测定

、

低温傅立叶变换红外光谱法

1范围

本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳间隙氧含量的方法

、。

本文件适用于室温电阻率大于的型硅单晶和室温电阻率大于的型硅单晶

1Ω·cmn3Ω·cmp

中代位碳间隙氧含量的测定测定范围以原子数计为14-317-3

、,()2.5×10cm~1.5×10cm。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

分子吸收光谱法术语

GB/T8322

半导体材料术语

GB/T14264

用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

GB/T29057

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T8322GB/T14264。

31

.

背景光谱backgroundspectrum

在红外光谱仪中无样品存在的情况下使用单光束测量获得的谱线

,。

注通常包括氮气空气等信息

:、。

32

.

参比光谱referencespectrum

参比样品的光谱

。

注在用双光束光谱仪测试时将参比样品置于样品光路参比光路空着时获得在用傅立叶变换红外光谱仪及单

:,,