GB/T 35307-2023流化床法颗粒硅

ICS29045

CCSH.82

中华人民共和国国家标准

GB/T35307—2023

代替GB/T35307—2017

流化床法颗粒硅

Granularpolysiliconproducedbyfluidizedbedmethod

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T35307—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替流化床法颗粒硅与相比除结构调整和编

GB/T35307—2017《》,GB/T35307—2017,

辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

a)(1,20171);

更改了颗粒硅的牌号表示方法见第章年版的

b)(4,20174.1);

更改了颗粒硅的技术指标要求见年版的

c)(5.1,20174.2);

更改了特级品颗粒硅的粒径要求见年版的

d)(5.2.1,20174.3.1);

更改了颗粒硅的表面质量要求见年版的

e)(5.3,20174.4);

更改了颗粒硅碳含量的测试方法见年版的

f)(6.3,20175.3);

更改了颗粒硅氢含量的测试方法见年版的

g)(6.4,20175.4);

更改了颗粒硅粒径的测试方法见年版的

h)(6.6,20175.6);

更改了取样方法见年版的

i)(7.4.1,20176.4.1)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司有色

:、、

金属技术经济研究院有限责任公司青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司上海赛夫特半

、、

导体材料有限公司亚洲硅业青海股份有限公司乐山协鑫新能源科技有限公司宜昌南玻硅材料有

、()、、

限公司

。

本文件主要起草人朱共山兰天石蒋立民贺东江王彬李素青徐梦徐岩李朋飞刘辉付绪光

:、、、、、、、、、、、

秦榕刘晓霞宗冰王永亮谢岩田洪先刘文明

、、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2017,。

Ⅰ

GB/T35307—2023

流化床法颗粒硅

1范围

本文件规定了流化床法颗粒硅的牌号技术要求试验方法检验规则标志包装运输贮存和随

、、、、、、、

行文件及订货单内容

。

本文件适用于以氯硅烷硅烷气为原料采用流化床法生产的颗粒状多晶硅以下简称颗粒硅

、,()。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体材料术语

GB/T14264

半导体材料牌号表示方法

GB/T14844

粒度分析图像分析法第部分动态图像分析法

GB/T21649.22:

硅单晶中族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T24581Ⅲ、Ⅴ

光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

GB/T31854

硅单晶中碳氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T35306、

用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

GB/T35309

流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

GB/T40566

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

4牌号

颗粒硅的牌号表示应符合