加速器说明书

:江苏达胜制造

DD型高频高压型电子操作手册目 录\l“_TOC_250007“一、安全指示 2安全标准 2机器铭牌 4二、规格 4\l“_TOC_250006“Specification规格表 4\l“_TOC_250005“设备简介 5\l“_TOC_250004“LegendoftheMachine主要部件 7\l“_TOC_250003“MachineDimension机器尺寸 17三、安装 ………………………18SafetyRulesforMachineMovement搬运安全事项 18LiftingtheMachine/Drawing搬运方法………………18Installation/Drawing安装方法/图 18InstallationandLeveling安装及水平校正 19PowerSupplyRequirement电源要求 20ConnectPowerSourceWires外部电源连结 22四、操作 23OperatorPosition操作位置 23电控柜及把握界面说明 23\l“_TOC_250002“EmergencyStop紧急停顿 28\l“_TOC_250001“OperationProcedure操作规程 28五、修理保养 355.1日常维护……………… 355.2设备检修………………… 365.3故障排解……………… 42\l“_TOC_250000“六、Electric电气安全 436.1SafetyRulesForElectricalControlSystem电控系统安全规章…… 436.2电路原理及电路图…………………… 446.3备品备件清单………… 46一、安全指示安全标准:DD型能安全有效地工作，请认真阅读并理解本说明书。危急1．安装或操作前请认真閱读并理解本說明书。安装、操作、修理及维护必需通过专业人员进展。用户应对设备的保护接地的大量国际与国内电内电气标准的全都性负责。不能触摸未受保护的电器元件和带电的接线端子螺钉。在通电或起动与停顿之前应关闭电控箱或机柜门。在电器修理之前，断开全部电源，并在操作面板处放上“严禁操作”标记。电击会导致死亡或严峻损害。危急1．安装或操作前请认真閱读并理解相关的高频振荡器、ECS把握系统、水冷却/恒温系统等說明书。2．如需带电作业，操作者必需穿戴绝缘手套、绝缘胶鞋，并有二人在场时才能工作。3．接触高频设备的人员，必需懂得高频设备的原理和修理，并有高、低压电器操作证。不正确操作会导致死亡或严峻损害。重要提示钛窗射出，当皮肤、眼睛等人体器官被电子照耀后，将导致严峻的射提示装的加速管必需经过熬炼才能正式投入使用。熬炼的通常步骤为：充分抽真空，到达或接近系统所能到达的最正确真空度〔10－6Pa范围。②逐步上升端电压，到真空度明显变差时〔通常不应差于10－5Pa范围〕的高压能够稳定在额定值的～1.1倍时，电压熬炼完成。熬炼过程中加速熬炼中应避开发生大击穿〔声光相伴、以及真空度大幅急剧下降，此时应适当调低电压。③电压熬炼完成后要进展束流熬炼：将的高压降低至额定值的～0.9倍，逐步引出束流，到真空度明显变差时，等待真空回复后再进一步增加稳后，束流熬炼完成。而异，以真空度到达正常稳定状态为准。:留意！斑在钛窗上位置正确！提示SF6SF6分SF4、SOF2、SO2F2HF等有毒和腐蚀性成分，它们对人体和SF6气体需要定期进展循环处理，通过运行的牢靠性是格外重要的。提示统应当连续运行，使加速管内保持高真空。必需利用旁抽管道先使两面压力平衡，否则会损伤插板阀和分子泵。以利用插板阀进展分隔，从下到上，有序进展。1．2机器铭牌二.Specification规格Specification规格表2.1.2Specification规格表DD1.5-60DD1.5-60DD2.0-50DD2.5-40DD3.0-30DD4.5-201.7MeV2.4MeV2.8MeV3.3MeV5.0MeV1.5MeV2.0MeV2.5MeV3.0MeV4.5MeV0.8-1.5MeV1.2-2.0MeV1.5-2.5MeV1.5-3.0MeV2.5-4.5MeV0.5-60mA0.5-50mA0.5-40mA0.5-30mA0.5-20mA(0.8MeV时)(2.0MeV时)(2.5MeV时)(3.0MeV时)(4.5MeV时)0.5-60mA0.5-60mA0.5-50mA0.5-50mA0.5-30mA(1.5MeV时)(1.5MeV时)(2.0MeV时)(2.0MeV时)(3.0MeV时)最大能量电子束能量可调范围可调范围(连续可调)能量稳定度

最大束流强度〔mA〕最大出束能量〔MeV〕高频高压型电子优于±1%::束流稳定度扫描宽度扫描不均匀度束流稳定度扫描宽度扫描不均匀度配备高频机工作方式把握系统扫描窗冷却优于±2%1000-1700mm之间有多种规格扫描窗供客户选择〔扫描宽度在确定范围内可设定调整〕≤10%优于7×10－5Pa〔需在出束工作一段时间前方能到达〕KF225-100KF225-120KF225-120KF225-120KF225-120>55%90KW100KW100KW100KW90KWPLC+工控机〔或触摸屏〕的全自动计算机把握系统SF6气体作为绝缘气体供给风冷、水冷配套系统〔满足束下安装翻转磁铁后使用要求〕功能DD型(DynamitronSF气体处理系统、辐射防护6监测系统和把握系统等。产品特点本公司生产的具有以下特点：维护便利，冗余设计的监控和连锁功能确保设备和人身的安全。：同一台运行在不同的能量时根本保持额定束功不变，比方2.5MeV-40mA1.8MeV50mA的不同灵敏把握，大大提高辐照效率。优化产品配置：为了用户便利和产品的稳定牢靠性，增加了一些关心设备比方 台离子泵，在真空正常后真空维持不需要开分子泵，在消灭意外停电时不会破坏真空，大大提高了真空系统的使用寿命。空，即缩短了真空恢复的时间，又提高了加速管和电子枪的使用寿命。先进的高频机设计LC滤波电路，脉冲调制和输出电路使得高频输出中形成水垢，电子管不需定期清理。加速管95氧化铝与钛材在真空焊接炉内一次钎焊成型，与传统胶接类〔高电压、高真空、高气压〕特性好，使用寿命长，熬炼时了生产制造过程中所产生的有机成分。由置于高压球帽内的发电机供电。这样的供电方式，束流和频率单一对应，跟随快，便于和束下装置联动，有利于提高工作效率和辐照产品的质量。为了提高牢靠性和稳定性，我们承受了美国原装进口的发电机。SF6气体处理系统：原构造是落地管道现场安装的形式，该形式的缺点是占地操作简洁，外形美观，占地空间小，自动化程度高。：国内配套的冷却水系统为开放式构造，落地管道现场却水处理系统改为集成的构造形式，优点为：稳定耐用稳定。安装简便在上面再用金属软管连接即可，不需要繁琐的水管连接工作。操作便利设定自如，把握准确。且可依据损耗功率自动调整流量。此系统除制冷压缩机自身保护装置外，还配有空气开关、热过载保护、制把握功能及自动复位运行功能，确保此系统安全运行。LegendoftheMachine主要部件真空、气体处理、水处理等辅机系统组成。各主要局部概述如下〔1－4：高频振荡器120KHz打算着的最大束功与束功转换效率。压器〔L〕和半圆筒高频电极与钢筒内壁和倍压芯柱之间的分布电容〔C〕组成。振荡管阳极与环形变压器初级之间通过高频电缆连接。栅极所需的正反响电压则通过置于钢筒与高频电极之间的耦合电容板取得。件下工作，要求漏磁小、Q进展冷却。器和一个三相桥式整流滤波单元组成，可输出0－18KV、0－25A的直流负高压。可高压测量单元取得信号，通过计算机把握来稳定的能量。整流倍压系统〔参见图1Cse。半电晕环和高频电极硅堆是的关键部件之一。它由整流芯子和带保护球隙的金属屏蔽盒组成，每个硅堆的平均输出电压为50KV。整流芯子由数百只硅二极管串联而成，其电路设计实行了均压和限流措施。0.65MPaSF6绝缘气体，使得具有足够安全的绝缘强度。束流加速系统。由加速管和电子枪组成。加速管稳定牢靠地建立一个均匀的高梯度直流加速电场〔20KV/cm。由于真空中的击穿放电机制简洁，至今还不格外清楚，因此，加速管成为里最脆弱的环节，是各类高压型提高端电压的主要限制。在制造、运输、安装和运行时均须留神慎重。300mm的加速管机械强度高，真空性能好，电性能优越，使用寿命也更长。加速管安装在整流芯柱的中心，顶端与高压球帽相接，底端接地。其电位分布每个绝缘环还装有保护放电球隙，以防止过电压冲击。提示：装的加速管必需经过熬炼才能正式投入使用。熬炼的通常步骤为：①充分抽真空，到达或接近系统所能到达的最正确真空度〔10－6Pa范围。②逐步上升端电压，到真空度明显变差时〔通常不应差于10－5Pa范围〕停顿压能够稳定在额定值的～1.1倍时，电压熬炼完成。熬炼过程中加速管内部会发生大击穿〔声光相伴、以及真空度大幅急剧下降，此时应适当调低电压。图1 芯柱图2 主体③电压熬炼完成后要进展束流熬炼：将的高压降低至额定值的～0.9熬炼完成。以真空度到达正常稳定状态为准。留意！在进展束流熬炼前，必需确认聚焦、导向、扫描均已调整到最正确状态，束斑在钛窗上位置正确！图3 电子枪和加速管电子枪钨丝直径～0.8mm。阴极加热后发出的电子被加速管上端的引出极〔也称吸极〕引及整根加速管的电场要合理配置，经计算确定。3扫描引出系统电子束离开加速管后经漂移管进入辐照厅。穿过扫描磁铁组件时，在三角波磁场的作用下，进展XY箔的厚度既要有足够的强度以抵抗真空压力，又要尽量削减电子束在穿越时的能量损耗。我们取0.04mm。即使如此，钛箔上的能耗照旧相当可观，因此沿钛窗安装了一把风刀，针对钛箔进展强风冷却。线圈，用以调整束流的聚焦和方向。扫描磁铁由专用三角波激磁电源供电，X150Hz，Y3000Hz。引出扫描系统参见图4。把握系统束下装置联动协作。启动运行的前提条件是：·冷却系统风、水工作正常·厅与辐照厅送排风启动·厅与辐照厅防护门关闭·高频机柜门关闭·钢筒温度、高频机柜温度和振荡管冷却水温度达标·7.5×10-5Pa〔5×10-4Pa〕1、加速管支架2、钢筒底座34567、分子泵8、电磁真空截至阀9、电磁真空带充气阀10、机械泵11、聚焦线圈12、导向线圈13、漂移管14、芯管及扫描线圈15、气动箱16、扫描盒17、束流挡板4真空抽气与引出扫描系统钢筒温度超标，高频机内部消灭过热和过流，消灭过电压……等等，当上述参数特别时将自动封闭高频。在进入额定工作状态、束下装置运转正常之后，系统可以进入闭环。当束下暂停或换卷时，束流自动降低或置零……等等。运行时在把握屏上显示的主要参数有：能量，流强，加速管分压电流，高频振荡参数〔电子管屏极电压和屏极电流真空抽气系统4。FF160/620CSP-400独任何一台泵，即可满足满负荷工作的需要。为了满足局部用户的要求，多装了一套机组备用。两台机组既可以同时工作也可以轮番工作。我们推举先启动分与真空度有关的连锁把握。〔如更换钛箔〕必需对系统放大气时，可以关闭四通上方的插板阀，保持加速管真空状态。SF6环去除其中的水分和运行中因放电生成的有毒有害分解产物。该系统的主要部件如下：储气筒,为检修时储存SF6气体用。用于将气体向钢筒或向储气筒进展压缩。真空泵机组由真空泵、油过滤器及相应的管道部件组成，用于对钢筒和储气筒抽气。在检修翻开钢筒前，它必需把钢筒内的SF6SF6的纯度。上述各部件被紧凑地集成在一个带有把握面板的机箱中，整个系统承受电动执避开误动作。提示：SF6的绝缘性能与其纯度和含水量有关。当气体湿度太大时，可导致钢筒内的绝SF6分解生成SF4、SOF2SO2F2和HF害的。因此SF6气体需要定期进展循环处理，通过吸附塔去除其中积存的水分和放电产物，这对延长的使用寿命和提高其运行的牢靠性是格外重要的。钢筒和储气罐的生产加工均以GB150-89《钢制压力容器》为标准，焊接人员明文件，包括监检证明文件。工作条件电源:3相、380V、50HZ50T冷却水塔工作原理与组成LSW-36S冷却恒温装置是用于冷却恒温工作时关键零部件温度的2分为低温水箱和常温水箱，低温水箱的制冷量是78KW，常温水箱的制冷量是一路通常温水箱，假设常温水箱的制冷量不够，连接在低温水箱回水管上的电磁阀当温度到达要求后，连接低温水箱电磁阀翻开，连接常温水箱电磁阀关闭，低温水流回低温水箱，由于低温水箱和常温水箱是连通的，所以不会存在水位差。低温水箱主要冷却钢筒内部和高频机柜内部，常温水箱主要冷却高频机电子管和束流吸取板；由于钢筒温度要求较高，所以在该管路上安装有周密流量把握阀门，依据钢筒温度自动调整管道流量，从而能根本到达恒温效果；在每一个回路的回水口处，均安装有流量把握器，当消灭断水或水压不够时，流量把握器发出报警信号，防止在无水或欠压的状况下工作，造成的顺坏。技术参数型号型号LSW-36S制冷量117Kw制冷剂R22额定功率37.22Kw压缩机功率32.82Kw冻水流量11m³电源不锈钢水泵2.2KW 2台压缩机全密闭涡卷式冷凝器壳管式蒸发器外形尺寸1500*2700*2023重量1200Kg2.3.9辐射防护安全连锁为防止在开机时发生辐射损害事故，设置了多重安全连锁保护：①厅和辐照厅大门设有开机联锁，门未关好不能开机；②厅、辐留厅内的人员患病照耀；③全部入口通道外装有开机敏告红灯。辐射防护标准20mSv，1mSv。辐射防护剂量安全标准的实施取决于防护设施与安全治理两个方面。防护设施方面土建设计要求设计，并且充分考虑客户方的厂房状况及特别要求等。安全连锁为防止在开机时发生辐射损害事故，设置了多重安全连锁保护：①厅和辐照厅大门设有开机联锁，门未关好不能开机；②厅、辐留厅内的人员患病照耀；③全部入口通道外装有开机敏告红灯。安全治理方面猛烈建议客户留意以下两点：工作场所剂量监测控：①在厅、辐照厅与辐照产品传输等三处通道入口处分别设置三个固定的监测点，承受固定式剂量仪表进展实时测量。②配备便携式辐射仪，用于对工作场所其它地方作流淌探测。个人剂量监测治理录，严格治理，定期发放，定期回收。MachineDimension机器尺寸货物部件单件重量〔吨〕数量尺寸〔米〕长×宽×高主机〔2.5MeV〕8.7012.8×2.8×6.61储气钢筒4.7012.5×2.2×5.4气体处理系统1.2011.8×0.65×1.5电子高频机3.0012.3×1.0×2.0水处理系统1.5012.7×1.5×2.0把握柜1.620.6×0.5×2.0三、安装SafetyRulesforMachineMovement搬运安全事项LiftingtheMachine/Drawing搬运方法Installation/Drawing安装方法/图InstallationandLeveling安装及水平校正把加速管支架安装在钢筒底座上，测量加速管支架上平面的水平，把水平仪放水平的过程中还需使用铅锤掉线对钢筒预埋件中心进展对中。钢筒底座水平偏差：x<0.1mm y<0.1mm；钢筒底座与钢筒预埋件中心对准偏差：x<1mm y<1mm ；先把托架柱安装在钢筒预埋件上，再依据装配图尺寸安装托架梁，把扫描盒吊栓调整扫描盒，对准扫描盒的上下法兰中心。扫描盒与钢筒底座中心对准偏差：上法兰x<1mmy<1mm；下法兰x<1mmy<1mm；〔先将聚焦线圈套入漂移管〕、波浪管、分子泵、机械泵、低真空管件及离子泵安装前先把全部的真空管件用丙酮清洗干净，用热风枪吹干，检查真空管件上〔银丝圈和无氧铜密封垫〕均需用丙酮清洗，安装后，应承受塞尺检查法兰间隙是否均匀，安装全过程均需配戴真丝手套和口罩。拧螺栓应用力均匀，承受少拧多圈的原则，拧完了以后，应承受塞尺检查法兰间隙是否均匀，安装全过程均需配戴真丝手套和口罩。与真空系统整体捡漏：检漏仪捡漏109 下无渗漏现象；；风刀安装，先把风刀内部擦洗干净，然后把风刀安装在扫描盒上，依据现场情况配作连接风管。安装气动箱组件和束流挡板组件，依据现场状况配作连接束流挡板水管和气动动作的状况；；安装线圈时应留神，避开把线圈碰伤或刮损，扫描线圈安装应与芯管平直；a、传动轴、发电机的安装上全部的轴承座应在始终线上，同步带无上下串动现象；测量电压输出：变频器频率，发电机电压, 变压器电压；b、测量电阻安装调整每个电阻的距离c、电晕环、球帽的安装吊线测量电晕环的安装平坦状况：误差<1mm；e、检查钢筒引出线球隙和电阻值；，高频铜管配做、连接铜管与钢筒壁尺寸>50mm，铜管与屏蔽电容板尺寸>50mm ，PowerSupplyRequirement电源要求把握室、高频机房、厅、辐照厅8把握室、高频机房、厅、辐照厅8备用20Kw5Kw从把握室配电柜供电9电动防护门~2Kw厅进口如为手动门则不需要10照明及束下装置依据需要实际耗电量为上述配置的一半左右。序号受电名称负荷容量位置附注1把握台10Kw把握室2高频机330Kw高频机房2.5MeV/40mA机型3气体回收系统10Kw厅只在处理气体时用4钛窗冷却风机7.5Kw厅从把握室配电柜供电风机房或烟囱5臭氧排风机5.5Kw处从把握室配电柜供电6冷水机组30Kw冷水机房75吨行车7.5Kw厅,要求电压波动小于±5%10kW三相电源要求电压波动小于±2%，视电源稳定状况考虑是否配备三相稳压电源。，同时在把握室设电源柜一个，自动空气断路开关应带失压过载保护。，各室地线间的连接不能借用建筑钢筋连接。，防雷接地与地线系统分开。250∽300勒克司左右。辐照厅照明度在250勒克司左右。时人员能安全疏散。线系统〔可借用桩基。作与否。，信号通向把握室。ConnectPowerSourceWires外部电源连结:Operation操作OperatorPosition操作位置电控柜及把握界面说明操作面板示意如下：〔即计算机把握系统关闭或出错〕下操作。因而保障了系统更具确定的安全和牢靠性。上单独供电的稳压电源。具体如以以下图所示：:分子泵电源〔0－600Hz〕真空计X,Y扫描电源导向、聚焦电源溅射离子泵把握电源稳压电源采集，存储，运算以及辐照工艺配方的存储和调用。外形如以以下图：显示器按钮仪表区P制器硬件

I/O接口板:人机界面在客户无特别要求时主要承受17寸液晶显示器把握器是把握系统的核心局部，它实时采集数据并把握整个的各项功300PLCCPU313C-2DP为处理器并配上多路开关量和模拟量输入输出模块。模块均为接插式，利于扩展与维12bit。行时因钢筒内部打火而影响把握器的正常工作。软件PROTOOL软件为根底，在保证明现相关把握功能的根底上力求精简，美观且更加人性化。LOGIN画面如下：用户登录点击此按钮输入正确用户密码即可进入运行主界面厂家登录厂家调试人员点击此按钮输入正确密码即可进入厂家界面〔厂家界面不做具体介绍〕系统退出点击此按钮输入即可退出运行系统主控界面:1742853 96界面切换按钮和流程图。1：趋势图局部这一局部包括能量和束流的设定，开闭环把握，实时采样及6～82：高频机局部这局部主要指示高频机的工作状态。3：水系统局部这局部主要显示运行时各支路冷却水连锁保护信号。4：钢筒总体局部这局部主要显示主体局部的运行状态，各关心设备的正常运行与否，内部打火的监测，内部温度和六氟化硫气体压力的实时测控。5：风冷系统局部这局部主要显示风冷系统是否正常开启以满足的运行条件。6：束下装置这局部简要指示当前束下状态及运行时的实时跟踪速度。7：操作按钮操作人员只要依据界面提示按从上到下的挨次依次点机按钮，待各局部都正常启动后才能开启高压，预备出束。其各局部之间的联锁保护关系在程序中自动检测，假设某部不能正常启动左侧对应指示灯将不能正常点亮〔绿色指示。具体缘由可点击“故障查询”按钮进入查询界面查看。8：关心参数设定关心参数主要有束流挡板自动关闭值和与辐照生产线换盘时束流自动下降到该框内设定值。:9：界面切换按钮这局部是引导操作人员进入所需其他画面。依据不同客户析”和“系统退出”六个切换开关。故障查询：如有条件不满足不能正常开机或正常开机后特别停机，均可参照主画面上各相应红色方块提示：示：联锁故障及其他故障。当有故障时对应故障内容变成红色且闪耀指示：治理画面：治理人员〔或厂家〕在设备初次开机时或检修恢复后可进入治理画面操作进展设备调试。假设束下均由我公司配套，则在该画面中增加辐照工艺配方项。调试主要操作功能有：试起振在初次安装时或检修恢复后测试用打束斑初次出束或出束局部有部件更换后重校准束斑用测试发电机单独测试灯丝供电系统用其余功能与主界面全都，具体画面如以以下图所示：〔也可依据客户要求现场添加。进入该画面可具体查看近期故障和消息记录内容。生产线辐照运行状况，便利维护、生产工艺的分析及客户生产资料的保存和跟踪。受计算机硬盘存储空间限制，运行参数和生产工艺参数记录一般可保存两个月左右。用户可依据实际使用需要定时更。查询时在报表右侧选择框内选择所要查询的记录内容，如以以下图所示：在条件栏中选择要查询数据的起始时间，点击时即可弹出时间选择框如下：警声音提示，然后进入故障界面查询具体故障内容。运行完毕点击此按钮即可退出系统，运行时不宜使用。EmergencyStop紧急停顿在发生事故时使用把握柜左上方紧急停顿按钮 供电的高频振荡器总电源紧急迫断，能量和束流立急消逝。紧急停赶忙，::安全组件的供电不切断空回路。OperationProcedure操作规程真空系统操作规程真空系统开机程序与留意事项〔1)整个系统从大气开头抽气的步骤→启动机械泵→开电磁阀，对系统抽气。切忌：阀门决不行以在一边侧呈大气状态另一侧呈真空状态下开启。检查机械泵工作状况，如声响是否正常、泵体发热程度等。5Pa左右，推断系统无大漏，启动分子泵〔启动前开启冷却水，水流量4升/分，水压0.2MPa油变棕黑色、混沌时需停机处理。③分子泵运行20分钟或再长一些时间后启动电离规。测量真空度。④当系统真空度到达10-5Pa量级时，可启动离子泵。等离子泵正常工作后，〔切忌：单独使用离子泵时，必需先关闭10分钟后停冷却水，关电〕〔2〕停机，系统保持低真空状态时启动真空系统时，步骤大体一样，但需留意插板阀的状态，应在两侧气压相当的时候开启，避开前级的气体向加速管方向倒灌。真空系统关机程序关闭插板阀，按需要隔离系统。关分子泵。10分钟后停冷却水，关电磁阀和机械泵。真空连锁号。当系统真空度低于5×10-3Pa时，不能启动。运行过程中真空度差于5×10-3Pa时，将封闭高频。提示：应当连续运行，使加速管内保持高真空。利用旁抽管道先使两面压力平衡，否则会损伤插板阀和分子泵。利用插板阀进展分隔，从下到上，有序进展。SF6气体处理系统操作规程3CQ-0.6/30计算机把握系统操作规程开机 启动把握系统之前，应确认开机的前提条件〔如开机预备①开启相关电源设备〔X/Y扫描电源，导向电源，聚焦电源等。PLC把握系统，用鼠标左键单“监控”PLC监控主程序。开机挨次1可实现的正常开机挨次：单击“开排臭氧风机”按钮。假设排臭氧风机正常开启，则指示灯变绿。单击“开钛窗风机”按钮。假设钛窗风机正常开启，则指示灯变绿。单击“关主厅门”按钮。假设主厅门正常关闭，则指示灯变绿。单击“关辐照厅门”按钮。假设辐照厅门正常关闭，则指示灯变绿。单击“开束流挡板”〔注：束流挡板可设定为自动开关状态，当执行自动开关程序后，束流挡板将在输出束流大于“束流挡板自动开启设定值”时自动翻开。单击“开柜内风机”按钮。假设柜内风机正常开启，则指示灯变绿。单击“开灯丝电源”按钮。假设灯丝电源正常开启，则指示灯变绿。单击“开钢筒风机”按钮。假设钢筒风机正常开启，则指示灯变绿。单击“开高压电源”按钮。假设高压电源正常开启，则指示灯变绿。3分钟后操作，否则操作无效，请留意屏幕提示，如下所示。单击“高频解锁”按钮。假设高频解锁正常开启，指示灯变绿。可以开头提升能量。留意，高频解锁时“电子枪变频器”0电位。假设“电子枪变频器”没有关闭，将不能实现高频解锁。11〕当能量值升至某一设定值后，单击“开电子枪变频器”按钮。假设开机程序完毕，进入正常工作状态。监控“能量设定”、“能”、“束流采样”“分压电流”、“扫描电流”、“导向电流”和振荡管“阳极电压”、“阳极电流”等。除此之外，它还能显示各把握部件的开关状态，以及提示消灭故障时相应故障部位等。屏幕上方，有能量趋势图和6～8分钟。主监控界面11个开关量指示灯，依次往下为排臭氧风机、钛窗风机、主厅门、辐照厅门、束流挡板、柜内风机、灯丝电源、钢筒风机、高压电源、高频解锁，电子枪变频器。假设它们被开启，则灯显示绿色，假设被关闭，则显示红色。任何一个故障报警均可在界面中相应位置显示出来，一旦有故障产生，就显示警报字符为红色闪耀，同时给出声音报警，按“警报停顿”按钮后声音报警即可消逝，但屏幕上的故障信号需待故障排解后，才能消退。②主监控界面的右下方其它按钮的功能如下：·单击“故障查询”故障，钢筒故障，束下故障和其它故障。并在此界面的右下方有如下复位按钮：“可控硅复位”，单击此按钮可控硅故障可自行复位恢复正常。“变频器复位”“打火复位”·单击“警报停顿”，可以解除因故障产生的报警声音。·单击“消息查询”〔最前面用“＄”表示〔最前面用“！”区域清空。其次个是“返回”，用于返回到监控界面。·单击“系统退出”，返回登录界面。故障警示监控系统将马上封锁高频，屏幕上提示相应的故障部位红色闪耀，并给出声光报警。假设想取消报警声音，可单击“警报停顿”按钮。依据发生故障的部位，当全部故障被排解后，屏幕上故障提示消逝，才能重开启。能量调整的能量输出把握有“开环调整”和“闭环调整”两种方式，把握方式的选留意！能量把握方式的转变必需在高频封锁后进展。能量的开环调整当能量把握选择开关选择“开环”把握时，在系统主界面屏幕上方的能量设定值方框中输入所要求的能量值，按“回车”键，再单击能量“确认”按钮，则的能量当前值中显示的能量数值即渐渐地转变，由于是开环把握，能量设定值与能量当前值间会有较大的差异。能量设定值的转变还可以通过其设定值旁边的“增”按钮或“减”按钮来进展，每按一次该按钮，能量设定值就增加或削减输出能量的过程中，假设按“暂停”键，能量转变马上停顿，并保持当前值不变，再0～3.3MeV，超出此范围的能量设定值，把握系统不予执行，维持原值不变。能量的闭环把握当能量把握选择开关选择“闭环”把握时，的能量输出值会自动稳定在按钮，即渐渐地转变能量输出值，并稳定在的能量设定值四周。在转变输出能量的过程中，假设按“暂停”键，能量转变马上停顿，并保持当前值不变，再按一次“暂停”按钮，能量转变连续，直至的设定值。能量输出设定值的变。主扫描峰值电流随输出能量的自动跟踪依据的工作要求，主扫描〔X扫描〕电流的大小将自动跟踪，使之与输出能量的凹凸相适应，以获得扫描窗的最大利用率，同时保证扫描宽度不管输出能量多大均维持不变。输出束流前的高压熬炼1.1倍额定高压的MeV的能量下输出束流，则必需先将在空1.65MeV(1.5×1.1)1.5MeV出束。本1.5MeV1.65MeV。束流调整的输出束流大小与变频器的工作频率亦即输入的模拟电压的大小相对应。的束流调整有“内控”和“外控”两种工作模式，工作模式的选择在束下把握系统的操作界面上确认。束流内控的自动操作默认出束方式为“束流内控”，此时，输出束流的大小由束流设定值打算，把握系统自动稳定束流输出在设定值四周，束流稳定度为3%，束流稳定是通过PID0～50mA，超出此范围的束流输入设定值，把握系统不执行，并给出相应提示。在输出束流转变的过程中，假设单击“暂停”“暂停”按钮，则转变连续；当“暂停”有效时，束流输出的稳定调整功能也将被停顿。束流外控操作输出束流的大小即由束下传输系统操控，同时，该设定值也被显示在主控屏幕中。在升/降束流至外控设定值的过程中，按束流“暂停”键也可实现的输出束流暂停功能。关机过程的关机操作是开机的逆过程，关机操作步骤如下：降束流至零在“束流内控”模式下，只需将束流设定值置零，按“确认”键，输出束1mA时，即可关闭电子枪变频器。在“束流外控”模式下，同样只需要将束流外控输入置零，输出束流即1mA时，可关闭电子枪变频器。降能量至零在主控界面的能量设定值中输入零，按“确认”按钮，能量即开头下降至零。关机操作PLC10个开关量按钮，即可完成关机操作。单击“高频封锁”按钮。假设高频正常封锁，则指示灯为红色。单击“关高压电源”按钮。假设高压电源正常关闭，则指示灯为红色。钢筒风机15分钟内，点击按钮不起作用。钢筒风机15分钟后自动关闭，指示灯为红色。单击“关灯丝电源”按钮。假设灯丝电源正常关闭，则指示灯为红色。15分钟后自动关闭，在这期间按钮不起作15分钟后正常关闭，则指示灯为红色。单击“关束流挡板”按钮。假设挡板正常关闭，则指示灯为红色。自动状况下束流挡板已经自动关闭。假设需要进入辐照厅，单击“开辐照厅门”按钮。假设辐照厅门已正常开到位，则指示灯为红色。则指示灯为红色。单击“关钛窗风机”按钮。假设钛窗风机正常关闭，则指示灯为红色。按钮。假设臭氧风机正常关闭，则指示灯为红色。7～10可以单独操作。钢筒风机和柜内风机关闭后〔指示灯为红色“退出系统”WINDOWS系统。安全操作规程放射性辐射的安全开机前的安全检查：①全部的安全连锁系统、警告灯和剂量仪表是否正常；②大厅及辐照大厅是否有人，确认无人后封闭通道；③全部进入工作场所人员，是否佩戴个人剂量计；便携式剂量仪作巡回检测；必需关闭，不容许有人进入。正常运行时，严禁人员进入大厅和辐照厅。重要提示：重要提示：线灼伤。高频与高电压安全〔通常主断路器应断开；必需进展带电测试时，应实行牢靠的安全措施。高频机运行时，柜门应牢靠密闭，防止高频泄漏对人身的损害。SF6气体安全启动前，应确认通风系统己经正常工作，避开臭氧对人体和设备的危害。6 SF含量，留意有无SF6 长期运行后开筒检修时，要留意开筒后剩余SF6气体中的放电有害物质对人体的损害。开筒后通常主厅应排气一段时间后进人。如感到厅内仍有明显刺激性气味，要延长排气时间。五、Maintenance修理保养日常维护寿命。运行留意描述、应急处理过程等，以备后续的分析、争论和实行措施之用；于正常工作状态；对主厅和辐照厅以外的设备，还应定期巡回检查其运转状态，特别是：高频机和冷却水系统的工作状态；③不允许任凭断开连锁；④定期检查辐射安全的检测仪器与安全连锁是否正常。停机检查〔留意：进入辐照厅时须0，室内已足够换气，无射线和臭氧存在〕①检查扫描磁铁上下法兰及扫描盒外外表有无特别的发热；〔长度和走向特别的色斑〔特别色斑通常反映钛箔内部或外部粘有脏物，可造成钛箔局部过热突然破损；③检查钛窗风机的运转和钛窗冷却风量是否正常；④检查各冷却水管是否有漏；⑤从运转状态和声响推断真空抽气系统是否正常。设备检修主体机械修理整个钢筒有两层密封面。上钢筒与中钢筒为第一层；中钢筒与钢筒底座为其次层。仅检修冷阱或高频变压器时只需翻开第一层；仅检修整流倍压芯柱时只需翻开其次层。钢筒的翻开和闭合左右，然后经由空气过滤器对钢筒0MPa。②水泵停机或关闭冷阱进水阀门，拆下冷阱的进出水管。③拆下钢筒1＃〔冷阱风机电源箱、2＃〔阳极电缆接线箱、3＃〔正反响电缆接线箱〕配电箱上的全部连接线。④用钢筒螺栓专用扳手拧下钢筒连接处的全部螺栓。⑤用行车缓慢地吊起钢筒，起吊时应格外认真，确保钢筒平衡地垂直上升。三等分处用螺栓将钢筒固定在支撑底脚上。-0.1MPaSF6气体。冷阱的维护和检修〔一般为一年〕后，由于水质及气体清洁度影响，会使水管内外外表产生确定的污垢，影响传热效果，因此必需进展清洗除垢工作。②为防止风扇振动影响，应检查全部连接件有无松动、脱落的现象。③清洗后，在使用前必需检查焊口，进展水压试验，试验合格才可使用。其它①安装修理中应留意清洁，严禁将垃圾、灰尘、油污等带入主体各部件。变形，绝缘柱〔由前后两块绝缘板与拉杆组成〕的强度比较脆弱，在吊装、搬运时要留意受力方向，确保安全。③发电机传动系统中的绝缘轴应妥当处理，防止划伤和碰断。高频变压器修理例行检查与处理维持正常状态，每隔确定时间〔如一年左右一次全面的检查：隙的固定是否牢靠，尺寸有无变化，必要时应重调整。抛光。导线接头被烧伤的线圈盘应予更换。回路有无泄漏。洗。污染严峻的线圈需更换。检查冷却马达转轴的密封。⑤检查全部硬件和线圈的连接，确保结实牢靠。⑥全面检查整个组件，确认整体完好。大修人解决。高压硅堆修理例行检查与处理当翻开钢筒时，应对硅堆进展一次例行检查。，必要时用塞规检查各球隙的距离，如有变化应调整之。据不对需检查缘由。假设确认硅堆已经损坏则应更。检查硅堆链上下两端的电抗线圈目测外表无击穿现象，用万用表测量线圈的电阻值正常即可电子枪修理具体步骤如下：拆卸电子枪提示：当无法引出束流时，故障往往不愿定在电子枪本身，只有经过认真检查分析，排解其他可能的故障后〔如电子枪供电系统故障等统放气拆卸电子枪。拆卸电子枪的步骤如下：位。N20MPa。〔即高压球帽底座。④松开电子枪压板8只螺钉，取下枪体和电子枪罩壳，马上盖好加速管，以防异物落入。更换灯丝主要工具：镊子、螺丝刀、定位块、绸布等，各用具均用丙酮或酒精清洗，热风吹干，操作时应戴真丝或尼龙手套。①观看电子枪整体状况，确定需要检修或更换的部件〔如灯丝、栅极等；②卸下栅极固定螺钉，撤除栅极；③松开灯丝压板螺钉，取下旧灯丝；④将拆卸的电子枪零部件进展必要的更后，清洗备用；⑤安装灯丝或酒精清洗，热风吹干。·1步安装栅极，保证其同心度；·2步安装灯丝：将灯丝两脚嵌入灯丝杆槽中，用压板轻压，用定位块确0.65mm〔灯丝放射面应与栅极平面平行压板。留意！安装过程中应避开灯丝受到机械应力；壳、枪体及压板，抽真空，检漏。⑦安装散热片和供电连接线，重调整保护球隙；10－5Pa量级，对灯丝逐步加热放气，直到系统的真空度不再随加热电流的增加而明显变〔留意!去气过程要缓慢，要确定避开加热电流超过电子枪的最大使用电流。议整体更换一个完好的备用电子枪。拆卸下来的电子枪另行检修备用。加速管修理例行检查与处理下步骤检查：①用2500V摇表测量每串均压电阻值，并做好记录；觉察问题进展整修，损坏的要更换；确。如有不符，需进展调整；④检查加速管的绝缘环有否打火痕迹，并作记录；⑤检查加速管与倍压系统之间的连接是否完好结实，连接电阻有无损坏；留意！操作时带真丝或尼龙手套，不要污染加速管的绝缘环。加速管的拆卸和安装装步骤如下：①拆卸加速管的步骤·取下高压半球，撤除电子枪和加速管与顶板及整流柱其他局部之间的全部连接导线，取下顶板；·4根绝缘拉杆端部的螺帽；·对加速管内充入枯燥N2气至0MPa，然后拆卸电子枪，并马上用盲板盖住加速管上部端口，以防污染和异物落入加速管内；·拆卸加速管与加速管支座之间的固定螺栓；·用吊车留神地吊起加速管，加速管吊起10-20CM后需用盲板分别盖住加速管下部端口和加速管支座端口。在吊起过程中要严防加速管和其它部件相碰。②加速管组件的解体与重安装留意！加速管组件的解体必需在格外干净的房间进展。·加速管组件和其它零部件从加速管中拆卸时必需保护好法兰密封面不受机械损伤和污染。·工艺段内电极的折装、清洗和工艺段内部的清洗规程需依据污染的具体状况打算，内电极的拆装需防止电极片的机械擦伤。·加速管组件的重安装必需依据加速管总装图上规定的要求进展。·加速管组件在重安装过程中必需分步进展真空检漏。③加速管重安装的步骤·加速管在搬运过程中必需用盲板盖住其上下端口。·加速管在安装之前可以先装上电子枪。·用吊车将加速管吊到加速管支座上。在距支座10-20cm时拆去下部盲板和支座上的盲板，放上密封圈，然后留神缓慢地对准法兰的密封口就位，再拧紧法兰固紧螺栓；吊装过程中要严防加速管与其他部件相碰。·抽真空，检漏；·装上顶板。·连接电子枪和加速管上的全部连接导线，重加固并校准放全部放电球隙。·装上高压半球。员参与，并由公司在技术上负责。钛窗更换钛箔的拆装·拆下鼓风吹管，移开束挡板；·拆下全部钛窗压板，卸下密封框、旧钛箔及密封铝丝；·清洗钛箔，留意外表不得有划痕、折痕或其他缺陷；·清洗密封框，将清洗好的钛箔用真空硅脂粘在密封框上，〔留意：油脂要均匀涂抹在密封框上，不得溢出密封框；·清洗法兰面，将密封丝按需要长度纹接后张紧在四只弹簧定位柱上，并使其尽量平直；·把粘好钛箔的密封框用四个小螺钉安装在扫描盒的下部法兰上；·装上全部压板，先不加力。待全部压板就位后，再用扭力扳手逐步加力，加力要均匀，要从扫描盒中心线向外逐步将全部螺栓上紧；·加力完成后，用氦质谱检漏仪检漏。如觉察有漏，可适当局部加力；·操作过程中要留意保护钛窗，不要划伤，并留意清洁；·完成操作后钛箔外外表要再清洗一次；·恢复鼓风吹管原来位置；恢复束挡板机构。钛箔清洗工艺·用清洁软布覆在平滑的桌面上；·平坦放下钛箔，不能皱折或折叠；·按一个方向轻摩擦拭钛箔外表，直到全部外表清洁为止；·留神翻转钛箔，避开皱折，以同样方法擦拭清洁另一面。提示：损伤，以防止因局部过热而发生突然破损；钛窗有确定的正常使用寿命，应当记录钛窗的使用时间，在寿命终结之前主的，例如严峻污染甚至损坏加速管和真空泵。真空系统的拆装与清洗部件的装拆和清洗，以下是一些一般的提示。状态前，决不要拆卸任何部件。真空系统和部件的拆卸①拆卸前预备：·预备一个安放或保存拆下零件的处所，如足够大的清洁平台或容器；·预备专用盲板，以便拆开的真空部件可以用盲板将其封闭，避开受到外界的污染。假设开启时间很短，也可用清洁的铝箔或塑料膜代替。②拆卸前对相关的真空系统放入枯燥N2气或空气；〔不起毛应置真空枯燥箱内保存；硬质工具去撬动密封环。真空系统和部件的安装留意！安装真空系统时必需遵守相应的真空卫生标准。①全部待安装的零部件应确保清洁；尼龙手套，用经过清洁处理的工具进展操作；③防止损伤密封外表及密封刀口；应均匀对称，紧固后还应留有确定的压缩余量。⑤一时不能封闭的管口，要用盲板封上，安装完成后应进展真空检漏。真空部件的清洗以下是真空清洗时应当留意之要点：然后用自来水将洗涤剂的剩余冲尽，最终用去离子水冲洗干净后，用无水酒精脱水，热风吹干〔或烘干；丙酮、无水酒精等，溶剂的质量必需保证，否则反而可能被溶剂中的杂质污染，特别是加速管和电子枪等关键部件。和效率；它们通常只适合金属件的清洗；此外，有机溶剂还会伤及人体皮肤，因此操作时要使用工具，或带适宜的防护手套。TroubleShooting故障排解在的操作过程中，可能消灭的故障有：检查束流挡板的“气阀”是否翻开、气压是否适宜。假设束流挡板始终开着或关着，则应检查气动装置以及限位开关是否卡住，检查中间继电器是否动作正常。及相关器件，否则须由专人检修。应首先检查“电子枪变频器故障”是否显示在屏幕上，再检查束下装置是否正常，或者是否有其它故障提示。“确认”不变，应检查输入设定指示是否正