新材料研发公共技术服务平台设备参数

材料研发公共技术效劳平台设备参数序货物名称号

招标技术要求高精度、高稳定性、大束流、长寿命的离子束加工系统离子源类型：液态镓离子源；离子束加速电压：10V300x-500,000x续可调；离子束区分率：3.0nm@30k承受多边统计平均算法离子源束流：最小值不高于1pA100nA；离子源寿命：不小于1500h；离子源每加热一次后可连续稳定使用不72双束聚焦离1.2高效率、高区分率电子束成像系统子束扫描电1.2.1高稳定性热场放射电子枪，稳定度优于0.2%/h；二次1电子区分率：0.9nm@15KV，1.7nm@1KV〔非样品台减速模式状态〔FIB-SE〕下；加速电压：最低加速电压20〔非样品台减速模式,最30KV,10V12x-2,000,000x合物镜设计，完全无漏磁透镜，因此可以高区分表征和加工磁提高工作效率和加工准确性；1.2.120nA；多功能探测器系统样品室内二次电子探测器；样品室红外CCD2〔0V-1.5KV〕来进展成像，获得最正确衬度图像；样品室以及样品台mm18/2CCD相机系统，可多角度实时观看样品室内样品与设备各部件XY100mm，Z50mm，Z’方向移动13mm，T范围-470R=360°；150mm360：双操纵杆把握器，多功能键盘及鼠标把握；XY0.5nm;Z轴精度：0.02nm;漂移：1nm/min；配备超薄透射样品制备专用样品座，可实现选区穿插减薄，避开薄区受应力产TEM离子清洗仪可清洗样品腔以及样品外表污染物；电子束诱导下进展可控沉积；图像处理与显示系统无需拼图单幅图像的最大存储图像区分率：32768x24576pixel；降噪模式：像素平均，面平均，线平均，面积分，线积224TFT的多功能操作键盘、鼠标,把握样品台的双轴遥感把握器，可自动调整：电子枪对中、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿等；全无油真空系统无油干泵、分子泵250litre/se数量级；配置用于快速更换样品的样品交换室，样品交换室可更换样品的最大样品直径不低于 78mm，最大样品高度不低于40mm；电制冷能谱仪围BeCf98MnKa于130,000cps下保证优于输出最大计数率：可处理最大计数率:1,600,000CPS，最大输Live互平台。能够实时观看样品移动时元素在观测面上的实时分布状况，并同时标定元素标签，给出谱线图表；电子背散射衍射仪EBSDEBSD像素区分率最高达1244*1024，在此区分率条件240EBSD最高在线采集速度优于4500点/156x880.05可通过软件把握探测器Z5EBSD非接触式碰撞防护功能；在运行中，探测器在有可能的碰撞发/把握15mm/s10um)及上下移动(探测器完全插入状态下+/-25.4mm移动范围，精度优于10um性〔从三斜到立方〕晶体材料的EBSP且各相的反射面可以独立选择，并可以进展带宽修正，也可以对衍射带边缘及中间进展标定；配置HKLICSD6Hough变换，多条带标定方法〔最多可以用12根菊池带进展标定，MAD和把戏标定.适合金属，陶瓷，地质，半导体等多种类型的样品；同时配有专用的高精度标定模式，实现更高角度区分率的TKDTKD32LCDHPZ4G4Windows10时并行数个任务，并支持分屏显示及远程把握，操作软件完全与能谱仪软件一体化；其他配置配置空压机和冷却循环水系统；配备有备用场放射灯丝和多孔光阑各一个，配备用镓离子源一套；场地配套改造与安装，包含布线、地面重铺设等。可检测到确实定最小自旋数:≦1.6×10e9spins/G信噪比:S/N2023:1区分率：数字化区分率：24bit性(长时间稳定性)：≤10mG2谱仪〔EPR〕

微波系统性能要求：微波工作频率：X(9.2~9.9GHz)微波源：Gunn最大功率输出：600mW，校平功率输出：200mW微波功率衰减范围：0~60dB内置微波频率计自动调谐程序和自谐振腔匹配通过软件把握匹配螺钉调匹配通过软件把握微波参数微波中调谐模图样的放大功能AFC10e-8谐振腔性能要求：X最大调制幅度:202.3.3灵敏度≧2023：1可检测有损耗和无损耗的样品能用于变温单元、可原位光照磁体系统性能要求:1300062mm，适合于变温单元，2.4.412mG〔10(Z)х10(X)х22(Y)mm体积内，磁体重量：≦900kg12kW，磁体和磁体电源需要水冷却，能和所供给的磁体相匹配，具有过零扫描功能，电源稳定性：1x10-6场把握器性能要求：1mG扫描速度：320/点～5/点磁场指示直读一次磁场扫描的最大扫描范围：-18kG+18kG信号通道性能要求：调制频率:4kHz100kHz1kHz在调制频率范围内，对任何频率的幅度和相位进展自动定标0.1º0~106dB2.6.5时间常数：0.01ms～5.24s:PCCPU>3.1GHz高区分率液晶彩色显示器软件系统:供给最的常规和二维用于电子自旋共振试验的谱仪把握、数据采集及谱图处理全套软件。应具有如下功能〔不仅限于此EPRg值计算，各向同性模拟，各向异性模拟，自旋拟合功能〔带自旋捕获数据库〔确定定量明功能附件液氮变温把握系统(100-600K)，一套，须确保EPR600K504mm/3mm25050μl毛细管；国产水冷却循环机，一台；四孔水溶液样品池，一个；紫外光照系统，一套；氙灯光照系统，一套