25×显微镜物镜设计

课程设计任务书学生姓名：陈天宇专业班级.电子科学与技术0703班指导教师：李成军工作单位.信息工程学院题目.25X显微镜物镜设计•初始条件.计算机、zemax软件要求完成的主要任务:（包括课程设计工作量及其技术要求，以及说明书撰写等具体要求）1、课程设计工作量：2周技术要求：（1） 学习zemax软件。（2） 设计一个25X显微镜物镜，要求所设计的系统成像清晰，显微物镜放大倍率为25X,物方数值孔径NA=0.4,物高为1mn左右。（3） 对所设计的相机光学系统进行zemax软件仿真工作。2、查阅至少5篇参考文献。按《武汉理工大学课程设计工作规范》要求撰写设计报告书全文用A4纸打印，图纸应符合绘图规范。时间安排：2010628做课设具体实施安排和课设报告格式要求说明。2010628-6.30查阅相关资料，并复习所设计内容的基本理论知识。2010.7.1-7.8学习zemax软件，对相机光学系统进行设计仿真工作，完成课设报告的撰写。2010.7.9提交课程设计报告，进行答辩。指导教师签名:系主任（或责任教师）签名:目录摘要 TOC\o"1-5"\h\zABSTRACT II.1绪论 1\o"CurrentDocument"2物镜设计方案 2\o"CurrentDocument"3物镜设计参数及镜片选择 3\o"CurrentDocument"3.1物镜的数值孔径 3\o"CurrentDocument"3.2物镜的鉴别率 3\o"CurrentDocument"3.3物镜的有效放大倍数 4\o"CurrentDocument"3.4垂直鉴别率 5\o"CurrentDocument"3.5实际参数确定 5\o"CurrentDocument"425X显微镜物镜光学系统仿真过程 6\o"CurrentDocument"4.1选择初始结构并设置参数 6\o"CurrentDocument"4.2自动优化 6\o"CurrentDocument"4.3物镜的光线像差(RAyAberration)分析 8\o"CurrentDocument"4.4物镜的波像均方差(OPD)分析 9\o"CurrentDocument"4.5物镜的光学传递函数(MTF)分析 9\o"CurrentDocument"4.6最终仿真参数分析 10\o"CurrentDocument"5心得体会 11\o"CurrentDocument"6参考文献 12摘要物镜是显微镜最重要的光学部件，利用光线使被检物体第一次成象，因而直接关系和影响成象的质量和各项光学技术参数，是衡量一台显微镜质量的首要标准。物镜的结构复杂，制作精密，由于对象差的校正，金属的物镜筒内由相隔一定距离并被固定的透镜组组合而成•物镜有许多具体的要求，如合轴，齐焦•现代显微物镜已达到高度完善，其数值孔径已接近极限，视场中心的分辨率与理论值之区别已微乎其微•但继续增大显微物镜视场与提高视场边缘成象质量的可能性仍然存在这种研究工作，至今仍在进行。本次课设主要是应用ZEMAXt学设计软件，设计出25X显微镜物镜光学系统。经过计算机优化一系统分析一微调参数一改变参数变量一再次进行优化反复过程之后，设计出了能够很好的消除系统像差的非球面物镜和整个光学系统，使得成像光斑达到了衍射极限。分析和评价模拟结果的点列图、波像均方差、波前均方差、光学传递函数等参数，设计出符合设计要求的显微物镜。关键词：显微物镜；ZEMA；优化；光学系统AbstractThemostimportantobjectiveismicroscopeopticalcomponents,uselightwasthefirstobject,sodirectrelationwithlittleinflueneeimagingqualityandtechnicalparametersoftheopticalmicroscope,istheprimarymeasureaqualitystandard.Thestructureiscomplex,objective,becauseofpoorprecisioncalibration,metalobjectsfromthetelescopeinacertaindistanceapartandfixedlensgroups.Therearemanyspecificobjectiverequirements,suchasclosetoaxis.Modernmicroscopeobjectives,ithasalreadyreachedtheheightalreadynearingtheirlimitsnumericalaperture,viewoftheoreticalresolutionofthecenterwithlittledifferencehasanarrow-sizedmicroscopeobjectives.Theviewandimprovethequalityofimagingedgeview,thisstudyisstillpossible,stillintheworks.ThisclassismainlyappliedsetZEMAXopticaldesignsoftware,designandxmicroscopeopticalsystemaccurately.Throughcomputeroptimization,systemanalysis-fine-tuningparameters-changingparametersoptimizedvariables-againafterrepeatedprocess,designedtoeliminatesystemastheobjectivesandpoorasphericopticssystem,makewholediskimagereacheddiffractionlimit.Thesimulatedresultsofanalysisandevaluation,pointawaveofvariance,themeansquareerror,opticaltransmissionfunctionparameters,designedcomplywiththedesignrequirementsofthemicroscopeobjectives.Keywords:microscopeobjectives,ZEMAX,Optimization,Opticalsystems绪论Zemax是FocusSoftware公司推出的一个综合性光学设计软件。这一软件集成了包括光学系统建模、光线追迹计算、像差分析、优化、公差分析等诸多功能，并通过直观的用户界面，为光学系统设计者提供了一个方便快捷的设计工具。十几年来，研发人员对软件不断开发和完善，每年都对软件进行更新，赋予Zemax更为强大的功能，因而被广泛用在透镜设计、照明、激光束传播、光纤和其他光学技术领域中。Zemax采用序列和非序列两种模式模拟折射、反射、衍射的光线追迹。序列光线追迹主要用于传统的成像系统设计，如照相系统、望远系统、显微系统等。这一模式下， Zemax以面作为对象来构建一个光学系统模型，每一表面的位置由它相对于前一表面的坐标来确定。光线从物平面开始，按照表面的先后顺序进行追迹，追迹速度很快。许多复杂的棱镜系统、照明系统、微反射镜、导光管、非成像系统或复杂形状的物体则需采用非序列模式来进行系统建模。这种模式下，Zemax以物体作为对象，光线按照物理规则，沿着自然可实现的路径进行追迹，可按任意顺序入射到任意一组物体上，也可以重复入射到同一物体上，直到被物体拦截。与序列模式相比，非序列光线追迹能够对光线传播进行更为细节的分析。但此模式下，由于分析的光线多，计算速度较慢。在一些较为复杂的光学系统中，可以同时使用序列和非序列光线追迹。根据需要，可以采用序列光学表面与任意形状、方向或位置的非序列组件进行结合，共同形成一个系统结构。物镜设计方案25X显微镜物镜属于中倍显微物镜，通常由两个分离的双胶组合透镜组成，这类物镜也称为里斯特物镜，它的倍率一般在6X至30X之间，数值孔径NA为0.2至0.6之间由于显微物镜倍率较高，相距远大于物距，显微物镜的设计通常采用逆光路方式，即把像方的量当做物方的量来处理。里斯特物镜两个双胶合透镜光焦度分配的原则通常是使每个双胶合透镜产生的偏角相等或者是后组的偏角略大于前组。里斯特物镜的光阑通常放在第一个双胶合透镜上。当两个双胶合透镜相互补消球差和慧差时，两个双胶合透镜的间隔大致和物镜的总焦距相等。第一个双胶合的焦距约为物镜焦距的二倍。第二个双胶合的焦距大致和物镜的总焦距相等。物镜的像差校正方式采取两个双胶合透镜各自单独校正球差、慧差和色差，这种方案的有点是：二个双胶合透镜组合在一起则为一个中倍物镜，移去一个双胶合透镜后可用作低倍显微物镜使用。其总设计图如下：图1 25X显微镜物镜设计方案图物镜设计参数及镜片选择3.1物镜的数值孔径物镜的数值孔径表征物镜的聚光能力，是物镜的重要性质之一，增强物镜的聚光能力可提高物镜的鉴别率。数值孔径通常以符号“NA”表示（即NumericalAperture）。根据理论的推导得出：N.A.=n.sinu式中 n――物镜与观察之间介质的折射率；u――物镜的孔径半角因此，有两个提高数字孔径的途径：（a）增大透镜的直径或减少物镜的焦距，以增大孔径半角 u。此法因导致象差增大及制造困难，实际上sinu的最大值只能达到0.95（b） 增加物镜与观察之间的折射率n。是介质对物镜数值孔径影响示意图。当光线沿光轴方向射向观察物时，自物体S处发出的反射光除沿SO方向反射外，尚有（SS'）（S,s'）等衍射光。（a）是以空气为介质（又称干系物镜）的情况，只有（ss'）内的衍射光可以通过物镜，（S]S'）以外的衍射光如（S，s'）均不能通过物镜。（b）是物镜与观察之间以松柏油或其它油为介质（又称油浸物镜）时，由于折射率 n增加，使衍射光的角度变狭，致使（S2，S'）甚至（S，S'3）内的衍射光均可通过物镜。因而使物镜通过尽可能多的衍射光束，利于鉴别组织细节。3.2物镜的鉴别率物镜的鉴别率是指物镜具有将两个物点清晰分辨的最大能力，以两个物点能清晰分辨的最小距离d的倒数表示。d愈小，表示物镜的鉴别率愈高。要明白鉴别率可以有一定的限度，这就要用光通过透镜后产生衍射现象来解释。物体通过光学仪器成象时，每一物点对应有一象点，但由于光的衍射，物点的象不再是一个几何点，而是有一定大小的衍射亮斑。靠近的两个物点所成的象一两个亮斑如果互相重叠，则导致这两个物点分辨不清，从而限制了光学系统的分辨本领一分辨率。显然，象面上衍射图象中央亮斑半径愈大，系统的分辨本领愈小。瑞利（Rayleigh）提出一个推测（又称瑞利准则）：认为当A’衍射花样的第一极小值正好落在A'衍射花样的极大值时，A、A是可以分辨的，将此时定出的两物点距离A、A2作为光学统的分辨极限。90称为极限分辨角。不言而喻，当9>90时是完全可分辨的，9<90时是不可分辨的。由圆孔衍射理论得到：9 0=1.22入/D式中入 入射光波长；D---入射光的最大允许孔径（透镜直径）。因为90很小，所以由图2-4得：d'~90=1.22入S/D物镜在设计时，总是使它满足阿贝正弦条件的，即ndsinu=n'd'sinu'式中n和n'为物、象所在空间的折射率，成象总是在空气介质中，故n'=1；u各u'分别为光线在物、象空间共轭点上的孔径角； d和d'分别为物点、象点中心斑的间距。考虑到显微镜中入射光并非都是平行光，有倾斜光线，对上式系数作适当的修正，所以式中nsinu就是物镜的数值孔径，因此，上式或者写： d=0.5入/N.A因此表明：物镜的数值孔径愈大，入射光的波长愈短，贝u物镜的分辨能力愈高。在可见光中，观察时常用黄绿光（入 〜4400A），则可使分辨能力提高25%左右。3.3物镜的有效放大倍数在保证物镜的鉴别率充分利用时所对应的物镜的放大倍数，称为物镜的有效放大倍数。有效放大倍数可由以下关系推出：人眼在明视距离（ 250mm处的分辨能力为0.15〜0.30，因此，需将物镜鉴别的距离d经显微镜放大后成0.15〜0.30mm方能被人眼分辨。若以M表示物镜的放大倍数，则d.m=0.15~0.30M=0.15~0.30/d=（0.15~0.30）（N.A.）/ 0.5入=0.3~0.6N.A./入此时的放大倍数即为物镜的有效放大倍数，通常以 M有效表示。因此有效M有效=0.3〜0.6N.A./入由此可知：物镜的有效放大倍数由物镜的数值孔径及入射光波长决定。3.4垂直鉴别率垂直鉴别率又称景深，定义为在固定相点的情况下，成象面沿轴向移动仍能保持图象清晰的范围。表征物镜对应位于不同平面上目的物细节能否清晰成象的一个性质，垂直鉴别率的大小由满意成象的平面的两个极限位置(位于聚焦平面之前和之后)间的距离来量度。如果人跟分辨能力为0.15〜0.30mmn为目的物所在介质的折射率，(N.A.)为物镜的数值孔径，M为显微镜的放大倍数，则垂直鉴别率h可由下式求出：h=n/(N.A.).Mx(0.15〜0.30)mm由上式可知：如果要求较大的垂直鉴别率，最好选用数值孔径小的物镜，或减少孔径光阑以缩小物镜的工作孔径，这样就不可避免降低了显微镜的分辨能力。这两个矛盾因素,只能被具体情况决定取舍。3.5实际参数确定按照设计要求：物镜放大倍数为25,数值孔径NA=0.4,通过以上几个参数的计算，计算出理论上的数值并确定符合数值要求的镜片。初步确定第一个双胶合透镜的初始结构由ZF3与K9组合，第二个双胶合透镜的初始结构由ZF3与ZK9组合。求出双胶合透镜的初始结构之后，就可以进行光线追迹、相差计算和平衡了，如果的得到不满意的结果，可重新选择玻璃对，再重复上面的计算，达到设计要求，也可以采用自动设计程序作进一步校正，其结果可能会更好。425显微镜物镜光学系统仿真过程4.1选择初始结构并设置参数显微镜物镜的初始结构选择如下:SurfrTvP*CoffliisntBjidiunIhic-imftftB：CO：LC5.3SE0S3UQMODGTO1011ISs-anaa*c"6fil30t03.4101734-1133434.1.31"43sxLciE.rd7.43000-3Standard11.7220e02330Q00■-=兮VSXLiZ二0Handa■二GrandaEd一&.S4GMC1-L9000QC-32000597QE丄425显微镜物镜光学系统仿真过程4.1选择初始结构并设置参数显微镜物镜的初始结构选择如下:SurfrTvP*CoffliisntBjidiunIhic-imftftB：CO：LC5.3SE0S3UQMODGTO1011ISs-anaa*c"6fil30t03.4101734-1133434.1.31"43sxLciE.rd7.43000-3Standard11.7220e02330Q00■-=兮VSXLiZ二0Handa■二GrandaEd一&.S4GMC1-L9000QC-32000597QE丄xLiyd.口BDOGO1.000000aLTOO—OO B U■环询zsi£"34155减jra>F尸c*1%减・「0D'：3!aCZ,-6L35Z5 a.«口aiqpA99"10A-6"140«LG7fi3nInfinity物方数值D..ISD0fl3BInfinity物方数值在用ZEMA软件进行设计时，将显微镜倒置设计。设置参数如下：垂直放大率为0.04,

孔径为0.016，物高为25mm物方半视场高度为12.5mm此时该系统的结构、传函以及像差如图4T所示。从MT图和像差图可以看出该显微物镜的成像质量还不是很好，需要对其进行自动优化校正。4.2自动优化首先，建立自动优化函数。具体过程如下：选择Edit0rs〉MeritFuncti0n，弹出MeritFuncti0nEdit0r对话框，在Type栏中输入EFFL并将Target定为6.930840，Weight值取1.0； 其次，选择MeritFunctionEditor对话框工具栏中的T00ls»DefaultMeritFuncti0n,设置MeritFuncti0n,设置Optimizati0nandReferenee为RM&Wavefr0nt〜Centr0id；最后，选择〃opt〃按钮进行自动优化。自动优化后，显微镜物镜结构的数据如下：SlEt:7j!Te Ccraa如tRadius£1.启密專 Sejti&DiaTrsterOBJ三T,Mid"曲.InriziltyL6E.3=3CO0li・socotiz1gtajddz•工dV2.029529-ZT??=±a.ndsird-a前<7口口£・00H37422~3•StandsE住10.73411030jQ(?a壬阳<「1746§3441.3903«V7・5MC130i.oafloisST&■TnnddEdInfinity7・400000>.MaEEEStandAzdlS*2T17B7VZK$.G99TS17*LELldx±ld-S-2B7M37i.l»3C300ZT71.491143d在七Et二idz.-55.0952"9C.32X002.41B47C工山 =±aradjSirdVc.aaaaa0ZEAF"-j2£9d3CL0Zxandisid；2-B3Z3T3i.ajocoofj_325"3=-1C,173CC0K3Ir.finityG.OMGOOIMAFtWr袖IrfosoofloouL"itip经过自动优化后的显微物镜的结构、传函以及像差如图4-2所示。此时，像方数值孔径NA=0.37333，传递函数接近于衍射极限，成像质量较好，基本上达到设计的要求。弓耶网堆皆豊Mir PLOT冋"LET NOTFTUEHJpV^ieiaRWEtIQm氐訓林0汕展/.wea麻曰5旳幻TITLEFHJILLaaia3RTAF-A弗&IQa皿样册电輸冷SwVTWWMil*伸>□OT；UFATLDh]羡1 cuwaivMailiCQHFEaLMlCCiq:-lzOFI.图4-1初始结构各参数仿真图* W4H**SffiTIftL秫细JEICTIHGTtUS»l®U-DE»W* W4H**SffiTIftL秫细JEICTIHGTtUS»l®U-DE»WLENSrfE們TIRE.THUILLB"MLEm(ru—：：礼E¥戈刃曲n：CF7i5一申•匸*钩LEH5HFShp；TITIETfijlUlfi209EDHTHF庐El Tfl0需需)尸 1 •IIIJIIIJ・OKMnmoli4lTPtmcvirmorw-nf:okmnmo|丄4lJE渝户阳湖希I5 '[I•轴冷JE常朋£FUNPIQTPgYCMWWTTCDPTOCTTOJXTf图4-2自动优化后各参数仿真图

4・3物镜的光线像差（RayAberration）分析通过光线特性曲线来分析光线像差，以显示关于入瞳坐标函数的光线像差。本次设计的物镜系统的光线特性曲线如图4-3所示。图形以光瞳坐标的函数形式表示了横向的光线像差（指的是以主光线为基准） 。左边的图形中以“EY'代替&Y。这是Y方向的像差，有时也叫做子午的，或 YZ面的。右图以“EX'代替&X,有时也叫做弧矢的，或XZ面的。从此光学特性曲线可以看出，光线特性曲线在丫方向视场角度为0度时通过原点的倾斜不大，表示离焦现象不明显，基本符合设计要求。tiVT亠+厶B-启戶忖PL°TTPfiMSkERSEtiVT亠+厶B-启戶忖PL°TTPfiMSkERSENOT1TU匚NOT1TU匚订匚口丁UL7 2010MHX.LMLJMSCHLb；土昌.33田04St>D,S6&0白三占WM汀『【卅WOKMERflh-JK图4-3物镜的光线特性曲线图4・4物镜的波像均方差（OPD）分析在接近衍射极限的光学系统中，波像均方差是像质的敏感函数，要求照相物镜聚焦精确、像质好、必须对球差、慧差和像散进行校正，从而使得波像均方差在一定的允许范围内，般要求物镜的波像均方差在0・05以下。图4-4所示为照相物镜的波像均方差数值图

?■sunrn口PT工匚FH-PATHCIFFEREHCEIrI-「?■sunrn口PT工匚FH-PATHCIFFEREHCEIrI-「IT'.nTTTi一,3丘二J丄72C13Mn>irLiis"hlcji1,caoaUHBEi : □,n弓片IKrnKEWTWPMCONF1GUFHTION1'flKKt4・5物镜的光学传递函数（MTF）分析光学系统是线性系统，而且在一定条件下还是线性空间不变系统，因而可以用线性系统理论来研究它的性能，把输入信息分解成各种空间频率分量，研究系统的空间频率传递特性即光学传递函数，它能全面反映光学系统的成像性质。 FFTMTF是用快速傅立叶变化算法计算的MTF，是一种物理传递函数，即考虑光学系统的衍射效应，一般的成像光学系统都可用它来评价。此时的传递函数接近于衍射极限，成像质量好。图4-5为照相物镜的光学传递函数图。皆srnnag0.00 ^01<1602・87SPATIALFPGQUENCYINCYCLESP庄QMlLLTMErER由以上三个参数分析可知，所设计物镜基本符合本次设计的要求。4.6最终仿真参数分析原始物高设定如下:UseX-FieldY-Fidd[7175V[125[7皆srnnag0.00 ^01<1602・87SPATIALFPGQUENCYINCYCLESP庄QMlLLTMErER由以上三个参数分析可知，所设计物镜基本符合本