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石英玻璃碇第3部分：等离子化学气相沉积法本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。件，仅注日期的版本适用于本文件。不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）高温荷载变形率hightemperaturedeformationratio特定温度、时间和荷载下，材料变形后的垂度与跨度2A1A220<△d≤4040<△d≤60波长用λ表示，紫外光谱透射比用厚度为10mm试样在λ范围内透射比最小值(τmin）表征，应Tuv1Tuv2Tuv3波长用λ表示，红外光谱透射比用厚度为10mm试样在λ范围内透射比最小值(τmin）表征，应p≤1.0目测检验，在周围环境照度小于10lx的黑色背景下，通过强光手电照射样品，使测量点的照度不侧表面20mm向内的区域为检测区，必要时可在石英玻璃碇底部表面涂覆煤油等折射率与石英玻璃相采用准确度不大于1%的分光光度计测量。试样从石英玻璃碇下表面向上10mm且距侧表面20mm保持试样测试面清洁，波长范围为190nm～400nm，波长间隔采用准确度不大于1%的分光光度计测量。试样从石英玻璃碇下表面向上10mm且距侧表面20mm保持试样测试面清洁，波长范围为2600nm～2800nm，波长间按GB/T3284的规定检验。试样从石英玻璃碇下表面向上10mm且距侧表面20mm向内区域沿径向按GB/T12442-2019附录A的规定检验。试样从4试样约10min后，用去离子水冲洗。放置样品的耐热支架为高纯氧化铝砖或者其他高纯耐b）正常生产时，每一年进行一次；外观质量和等径度采用100%检验。从外观质量和等径度均合格的产品中，按表7进行随机抽样进行紫外光谱透射比、红外光谱透射比、杂质元素含量、羟基含量、高温荷载变201301512812233456>280786紫外光谱透射比符合要求，判定该批产品光谱透射比所属级别，否则判定该红外光谱透射比符合要求，判定该批产品光谱透射比所属级别，否则判定该

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