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文档简介

电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、用途及其使用方法第一部分透射式电子显微镜1.透射式电子显微镜外形及其基本结构组成：电子光学系统；

高压系统；数据采集系统电子控制系统；真空系统等五大部分。真空系统真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等电子枪镜筒照相室DPIPRP数据采集系统数据采集系统包括：CCD数据采集系统、PHOTO采集系统；高压及其电源系统高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。2.透射电子显微镜的基本工作原理电子光学系统的工作原理LaB6灯丝在高电压的作用下，产生一

束高能电子束。经

过透镜、物镜、消

像散等系统的调整，形成一束近似平行

光的电子束，作用

于试样。电子束与

试样将发生各种各

样的作用。主要形

成透过电子、弹性

散射电子、非弹性

散射电子

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