22-制造-panel-傅瑞芬DMA-降低CK5.0ACT异物导致的亮点不良率课件

项目名称：降低CK5.0ACT异物导致的点缺不良率中航技深圳公司精益六西格玛绿带培训继续GBDMAIC阶段姓名：傅瑞芬

单位：上海天马

时间：

2014年5月目录1.项目概述2.团队3.借鉴与推广4.项目进度5.项目来源6.SIPOC7.零件图8.流程改善9.因果图10.时间序列图11.关键因素及贡献率12.控制计划13.控制与技术图14.缺陷改善情况15.项目节省计算16.FMEA17.体会与经验分享18.项目关闭表19.下一个项目20.附件项目概要预计年结余56万CK5.0ACT异物导致的亮点不良率从1.4%降低到0.8%，DPMO从14000下降到8000，改善42.85%通过显微镜检测确认由TFTACT异物造成common线与ITO导通而形成的缺陷开始:

2014年1月

项目负责人:傅瑞芬地点：问题陈述：项目来源：目标：缺陷定义：时间表：项目团队:指导BB:张世晓/张亭执行:

2014年5月完成:

集团其他TFT厂项目推广：赞助人:常曙光

流程拥有者:张世晓上海天马面板厂2013年CK5.0点缺不良率为3.65%，PI解析显示ACT异物导致的亮点不良为1.40%,14年公司要求车载产品良率提升，点缺不良为十大专案之一，急需改善，以保证良率的提升,公司BSC(提升车载产品良率）预想财务成果：团队成员核心成员职位(职责)各阶段的分工DMAIC康海明CVD资深工程师团队契约实验结果寻找真因实施改进效果追踪李金万CVD资深工程师团队契约实验结果寻找真因实施改进效果追踪蔡冬娣一线员工团队契约产品跟踪，数据收集及不良解析胡敏FA资深工程师团队契约数据分析肖春保财务团队契约财务核算资源职位资源内容张世晓面板厂厂长项目指导借鉴与推广从何处借鉴：推广到何处：部门产品/流程成都、武汉天马TFT工厂GB/BB/其他人单位地点项目名称和借鉴内容梁继生上海天马array降低7寸产品栅电极层金属残留不良率(借鉴格式)项目进度90%定义&测量分析改进控制234110%20%30%40%50%60%70%80%90%100%了解环境拜会业务领导确定关键合同或协议访问流程确定流程拥有者确定团队成员查找数据库，寻找可借鉴的项目检视测量阶段的结果

-上级领导的意见

-更新团队/股东界定项目培训团队使用6西格玛工具画产品树图确认顾客需求

-从QFD得到CTQ’s

-顾客仪表板/指示位置画流程图信息管理确立资源需求确定执行标准收集数据，作柏拉图检视历史数据评估测量系统GageR&R或MSA确定工序能力计算DPMO计算ZST和ZLT准备演示报告请团队/MBB/Sponsor评审将结果呈给上级领导和主管领导培训团队使用6西格玛工具定义Y的目标流程图分辨变异的原因确认X’s鱼刺图(因果图)借鉴相似的产品和流程的知识找可以推广的机会分析数据应用统计工具假设检定确认需要增加的数据需求调整系统项目和资源项目

-更新数据库准备演示报告请团队/MBB/Sponsor评审将结果呈给上级领导和主管领导检视分析阶段的结果

-上级领导的意见

-更新团队/股东培训团队审视流程图拓展新的流程更新数据库甄别潜在的原因确定变异的根本原因确定工作的公差范围确认改善行动和完成计划风险评估和规避风险使改善行动能导入流程和获得支持完成改善项目搜集和分析数据，验证改善的效果沟通改善的方式和成果准备演示报告请团队/MBB/Sponsor评审将结果呈给上级领导和主管领导检视分析阶段的结果

-上级领导的意见

-更新团队/股东培训团队修订质量控制指导书/操作程序更新数据库验证控制原因对结果Y的效果确定流程能力控制方案是本流程专用的吗？确认随后的行动计划和各自的责任分辨出标准化的机会列出最佳实践和本课程学习体会与流程拥有者沟通学习推广的机会将项目移交给流程拥有者准备演示报告请团队/MBB/Sponsor评审将结果呈给上级领导和主管领导监控改善后流程的表现项目来源2014年为实现公司向车载专显的转型需要提升车载产品的良率，目前车载产品主要以CK5.0为主，而亮点在此款产品电测不良中位居第三，急需改善本项目来源项目来源【CK5.0点缺

不良解析结果】数据来源：EDB&PI解析结果时间：2013年11月1日-2013年12月31日本项目Y从解析结果来看，不良分责中ACTPARITCLE占比为33%，位居点缺第一位，需要改善流程图—SIPOCACTparticle产生及检出流程高阶流程(P)供应商(S)输入(I)1.生产2.刻蚀组1.气体2.玻璃输出（O）客户（C）1.完成成膜的玻璃1.制造中心CTQVOC1.ACTparticle提升制造中心良率，ACT异物导致的亮点不良高完成gate的玻璃ACT成膜前清洗ACT第一次成膜ACT第二次成膜前清洗ACT第二次成膜其他工序&MODVT检出不良分析确认零件图（照片）注：请详细描述1.单位unit/数据类型：片/可区分数据2.缺陷定义：如图示3.缺陷规律：无4.测量方法：电测&显微镜镜检5.抽样方法：小工单亮点不良屏抽25片解析/周ITOCom基板亮点异常画面显微镜检查：膜内异物SEM画面：particle落在common线上,导致后道工序中的ITO和common线短路(导通),从而形成亮点流程图说明：一个工艺腔每8片自动clean一次改善前改善后玻璃ACT第一次成膜前清洗搬入至port口进入承载腔&传送腔（loadlock&T/C)ACT第二次成膜前清洗搬送至port口进入承载腔&传送腔（loadlock&T/C)工艺腔(PC)ACT第二次成膜进出承载腔&传送腔（loadlock&T/C)进入承载腔(loadlock)进入后续工序工艺腔(PC)ACT第二次成膜进出承载腔&传送腔（loadlock&T/C)搬出port口ACT第一次成膜ACT第二次成膜玻璃ACT第一次成膜前清洗搬入至port口进入承载腔&传送腔（loadlock&T/C)ACT第二次成膜前清洗搬送至port口进入承载腔&传送腔（loadlock&T/C)工艺腔(PC)ACT第二次成膜进出承载腔&传送腔（loadlock&T/C)进入承载腔(loadlock)进入后续工序工艺腔(PC)ACT第二次成膜进出承载腔&传送腔（loadlock&T/C)搬出port口ACT第一次成膜ACT第二次成膜X3:clean_sea效果1）season从SINSIN+ASI+SIN;2）N2PURGE压力1500mtorr->0mtorrX5：PCParticle:开腔清洁周期不固定

2月/次X4：设备备件异常：SUSCEPTORPIN位置阳极膜overhaul正常处理

特殊处理X2：clean_sea次数：一次成膜和两次成膜机台对应：混run

区分对应,区分clean-sea次数因果图X3:clean_sea效果测量系统环境材料工艺方法设备操作者EDB报表不良解析结果气体杂质影响ACT成膜particleX4:设备备件异常STKparticleCVDLLParticle机台PM手法VT电测检出率备件（O-ring等)材质基板来料操作人员X5：PCParticleX1:PDC清洗能力X2:clean_sea次数关键X、流程改善及控制CausesofVariation关键xProcessFix流程改善方式

X5：PC开腔清洁周期ControlSystem控制方式贡献率？%目前待临改产品结果贡献率37%

X3:clean_season改善前：season为SINN2purge压力1500mtorr改善后：season为SIN+ASI+SINN2purge压力0mtorr

1.SOP标准化2.保养记录改善前：清洁频率不固定改善后：清洁频率1次/2月1.设备自检2.防呆

X2：两次成膜机台对应贡献率3%1.现场可视化改善前：混RUN，不区分clean_sea次数改善后：机台对应，区分clean_sea次数

X4：设备备件异常（susceptorPIN位置阳极膜问题）贡献率？%为新增异常，需进一步改善时间序列图数据来源：PI不良解析结果&EDB报表时间：2013.11~2014.5DMA2014年3月停复机影响IGZO产品污染影响前后产品有混，导致不良上升控制计划受控项目能力测量方法MSA控制方法频率信号措施负责人实施日期开腔清洁Particle测量周检每周一次无清洁设备工程师2014.2两次成膜对应机台无OIC系统控制每次投入时无现场可视化产线员工2014.1控制/技术图IC阶段Z.ST = Z.LT = Z.shift =010.00.751.52.253.023456Zst技术Zshift控制DM阶段Z.ST =1.95 Z.LT =0.45 Z.shift =1.5A阶段Z.ST =3.8Z.LT = 2.3Z.shift = 1.5DMA缺陷改善情况MeasureAnalyzeImproveControlPhase实际计划DPMO目标DPMO=8,000DefineDPMO=1400006,0008,00014,00010,00012,000数据来源：PI不良解析结果&EDB报表时间：2013.11~2014.5DPMO=10000风险评估及管理FMEA流程/零件序号潜在失效模式潜在失效影响SEV原因OCC目前控制方法DETRPN改进计划负责人(完成日期)SEVOCCDETRPNX5：PC开腔清洁周期Paritcle无法减少点缺无法下降6二次污染3清洁复机时particle结果472X2：两次成膜机台对应clean_sea次数未及时更改导致过刻量增加Particle增加5过刻量太多或太少均会产生particle4产线目视化管理480项目效益计算财务确认人：

总节省：XX万元节省计算明细项参考：1.直接材料节省：2.直接人工节省：3.直接设备/能源节省：4.纠正/管理费用节省：5.创造新的生意机会/不能改善所失去的机会：6.减少调试/返工/排故费：7.推广到其它相似产品可节省的费用：8.非财务收益(对单位、股东、顾客、同事等)：9.本项目所需投资：项目名称：姓名：班次：1.项目到目前为止，已经产生的效益＝（改善前不良率－改善后不良率）×月产量×单价×12个月＝2.以项目Y现在的水平为准，预估向后12个月产生的效益3.如本项目有推广的前景，预估水平展开后12个月产生的效益附录附录一：测量系统分析附录二：过程能力分析（改善控制阶段）附录三：关键X分析（图形）附录四：关键X分析（统计）附录五：实验设计附录七：改善前后假设检验附录八：证明性文件照片（改善及控制方法）附件九：推广项目附录十：其他附录1：测量系统分析方法：专家评估法获知真值方法：从20个屏中准确找出带有亮点的屏并标出位置检验员Unit%坏的被接收%好的被拒收%正确判断1234567891011121314151617181920AARRAARARRARRAARRAARA00100%BARRAARARRARRAARRAARA00100%CARRAARARRARRRARRAARA0095%DARRAARARRARRARRRAARA0095%EARRAARARRARRAARRARRA0095%专家ARRAARARRARRAARRAARABadAccepted=0%<5%GoodRejected=0%<10%正确判断=97%>90%附录2：测量系统分析方法：专家评估法获知真值方法：从20张解析的图片中准确的辨别出particle的图片检验员Unit%坏的被接收%好的被拒收%正确判断12345678910111213141516171819201AARAAAAARARAAAARARAA00100%2AARAAAAARARABAARARAA0095%3AARAAAAARARAAAARARAA00100%4AARAAAAARARAAAARARAA00100%5AARAAAAARARAAAAAARAA0095%专家AARAAAAARARAAAARARAABadAccepted=0%<5%GoodRejected=0%<10%正确判断=98%>90%附录3：流程能力分析（改善前）CURRENT（长期能力）POTENTIAL(短期能力)p(d)=5446/16741=0.3253ZLT=0.45ZST=ZLT

+1.5=0.45+1.5=1.95

一般线性模型:ACTparitcle导致的不良率与开腔清洁因子类型水平数值开腔清洁固定21,2ACTparitcle导致的不良率的方差分析，在检验中使用调整的SS来源自由度SeqSS