微电子培训手册

微电子培训手册

1/18/20241目录安排名称页码内容封面及目录1-2封面及目录新员工须知3-19培训流程及纪律、上岗维护流程及上岗证管理、ESD、5S、防止混批、装片安全知识装片全面介绍25-44DA术语、上下工序及本工序简介显微镜介绍、，空装&不良品标记、装片材料介绍、产品标准、不良品全面介绍、设备状态牌介绍、MES流程、设备点检、员工标准操作动作培养及要点欢迎参与无锡红光微电子装片工序，您将经过以下课程的学习逐渐掌握装片的操作；希望经过我们共同的努力，您能早日成为一名装片工序合格的操作员工！1/18/20242目录安排名称页码内容封面及目录P1-P2封面及目录新员工须知P3-P24培训流程及纪律、上岗维护流程及上岗证管理、ESD、5S、防止混批、装片安全知识装片全面介绍P25-P87DA术语、上下工序及本工序简介显微镜介绍、，空装&不良品标记、装片材料介绍、产品标准、不良品全面介绍、设备状态牌介绍、MES流程、设备点检、员工标准操作动作培养及要点装片操作流程P88-P104Wafermapping介绍、装片全面操作流程、装片常见故障及处理、OPL汇总、材料领用流程、OCAPT-CARD的颜色P105各种T-CARD的颜色意义现场表单填写P106-P114T-CARD填写、set-upchecklist、生产实绩报告的填写、记录修改、现场其他表单（IRR、QRR、SWR、来料不良单）学员现场要求P115-P118DOandDON‘T、现场操作培训、培训期学员全程跟踪表学员上岗后要求P119交接班时间机交接班要点装片其他P120-P121员工知识点,装片常规工艺条件介绍,装片设备操作注意事项更新历史P122手册更新历史记录欢迎参与无锡红光微电子装片工序，您将经过以下课程的学习逐渐掌握装片的操作；希望经过我们共同的努力，您能早日成为一名装片工序合格的操作员工！1/18/20243一、新员工须知培训流程工段长将学员转交培训师，培训师发放培训方案学员到各工序工段优点报到学员接受装片实际培训和考核实际考核经过以后，学员接受操作培训和考核操作考核经过以后，颁发上岗证，允许上岗2.培训纪律及学员期态度检查清单要求要：勤于动脑、勤于发问、积极自动、能吃苦、知上进、珍惜时机同事关系方面，不要：不尊重培训师或者其他同事；不服从培训师安排；考勤方面，不要：无故早退，迟到、缺席考试方面，不要：考试时交头接耳、作弊、抄袭或协助作弊；行为纪律方面，不要：打瞌睡、睡觉；跟其他学员聊天；坐姿不端：翘腿、靠墙、趴在桌上；大声喧哗、跑、跳；坐在培训教室发呆；搞小动作、剪指甲、玩手机；违反公司规章制度〔巡检、监控〕；看与任务无关的资料；在课桌上乱涂乱画；随地吐痰，乱扔渣滓，吃零食；分开座位时未将凳子放回原位；现场实际时，不要：不经允许动设备；坐/靠在设备上；和其他学员聊天；随意走动；嬉笑、打闹。1/18/20244一、新员工须知作息时间一：12小时运转班2天任务，1天休憩白班：8：00—20：00发车时间：7：05和7：15班车下班分开公司时间：20：00员工分开工段不得早于19：50〔班车假设晚到〔19：45以后到〕等待时间不得少于15分钟，以保证员工交接班白班详细任务时间如下：交接班、班会：8：00—8：20午餐时间：第一批：11：00—11：30第二批：11：30—12：00晚餐时间：第一批：17：00—17：30第二批：17：30—18：00夜班：20：00—8：00发车时间：19：00班车下班分开公司时间：8：30员工分开工段不得早于8：20夜班详细任务时间如下：交接班：19：40—19：50晚餐时间：第一批：23：00—23：30第二批：23：30—00：00作息时间一：8小时运转班任务时间：8：00—16：30班车分开公司时间：16：453.作息上班时间1/18/202454.员工质量宣言书一、新员工须知质量是公司生存之本，作业公司的一员，保证质量是我的职责，我将像维护我的眼睛一样珍爱我手上每一颗产品的质量。为了我和红光共同愉快的明天，歪片保证严厉执行作业规范，遵守产线十大纪律：1.持证上岗2.遵守任务时间规定及6S和ESD规定3.按规范正确点检、送检、自检4.一个作业区域只放一批产品和一张随件单5.及时确认加工信息，确保信息真实6.按要求正确填写、修正记录7.发现异常、超规范及时停机汇报8.不擅自修正参数、功能，不私自返工9.回绝操作未经有效认定的设备和一同10.运用正确资料，回绝运用过期、异常资料质量在我手，规范在我心，继续改善，满足客户，追求零缺陷是我和红光永久的目的1/18/20246上岗证取消上岗认证资格的情形：1.没通过上岗维护考核(最多2次）2.在规定的时间内未完成资格再认证3.连续离岗假超过三个月(包括三个月)4.

多能工没有在特定设备加工产品连续达三个月或更长时间.上岗证维护考核：1.上岗证的有效期为从考核通过日起半年（6个月）.2.考核通过成绩为95分上岗证遗失纠正措施：1.生产部/QA应阻止没有上岗证员工在线上工作

2.培训员对上岗证的稽核应列为常规管理项目3.

员工应自觉维护上岗证使用权限上岗证遗失以后：员工立即上报产线培训－安排员工培训－重新考试－合格后颁发新证并在系统中更新－不合格员工依据培训文件的相关规定来处理5.3上岗证管理一、新员工须知上岗证5.培训须知5.1培训方式：培训员培训内容至少培训3遍，培训员在线的情况下员工至少练习5遍员工单独练习5遍5.2在线员工的上岗维护与技艺放弃流程1/18/20247一、新员工须知6.离任流程6.1提出辞职作业岗员工提早至少三十天以书面的方式向本工序工段长提出辞职恳求。6.2离任面谈由班长、段长对离任作业员进展离任面谈。6.3填写<离任恳求表>①作业员到人事部领取<离任恳求表>。②<离任恳求表>经各部门主管、审核赞同并签字确认离任1/18/20248一、新员工须知7.ESD控制知识点解释ESD的英文全称?ElectrostaticDischarge静电放电静电一般指静止的电荷，指物体表面电子的不平衡而产生的电荷。由不足或过剩的电子总量决定电荷量，表面电子不足带正电，表面电子过剩带负电。静电的危害元件吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响元件的功能和寿命；因电场或电流破坏元件绝缘层和导体，使元件不能工作。因瞬间的电场软击穿或电流产生过热，使元件受伤虽然仍能工作，但是寿命受损。静电放电是两种处于不同电势的物体之间的电荷转换离子风机离子风机用于任何材料（绝缘体和隔离导体）的ESD防护。检查的方法：开班检查飘带是否飘动作用：中和电荷

静电产生的途径?摩擦分离，感应ESDS代表什么?代表：静电敏感器件EPA代表什么?代表：静电放电防护区域装片员工执行要求1.穿前道防尘服2.进入风淋之前要经过ESD测试系统，进行静电鞋及腕带的测试3.进入风淋，风淋停止后进入车间4.每只手须佩戴最少4个手指套5.操作中必须佩带静电环1/18/20249一、新员工须知5S内容整理区分“要”与“不要”的物品，留下“要”的物品，其他的都清除掉整顿将留下来的“要”物品归类、标示清洁将岗位保持在无垃圾、无灰尘、干净整洁的状态，形成清洁的工作环境，标准化的清除工作清扫将整理、整顿、清扫进行到底，并且制度化

修养习惯的养成。这是最难的一环，也是最关键的一环装片员工执行要求1.随时保持工作场所清洁有序；2.产品要正确放置，不能和随件单分离；8.5S控制1/18/202410一、新员工须知9. 行为规范9.1净化服的穿戴标准图无尘服穿戴标准1.净化服拉链全部拉上，口罩需遮住鼻子。2.二次净化鞋套在净化服外面，拉链全部拉上。3.进入净化间工作现场，衣袖及裤管不能卷起。9.2任务服色引见粉红色检验白色作业员深蓝色维修帽子一杠紫圈领班1/18/202411一、新员工须知9.3无尘规定1.净化服、帽子、净化鞋、口罩员工每周清洗一次，2.进入净化间，须清洗掉脸上化装品，女员工不得画眉。3.食品、饮料不能带入净化间、二次更衣室、资料间。4.与任务无关的物品不得带入净化间。5.净化间不能放置纸板箱、泡沫、海绵等容易产生灰尘的物品。6.消费资料、半废品、废料、纸屑不能掉在任务区域地面上。7.地面没有污渍，坚持清洁。8.墙角、货架下、设备下不能有积灰。9.任务台、备品柜、货架、设备、门窗应坚持无灰尘、无油污。10.一切需求接触产品的员工，不得留长指甲，指甲修剪至手指肉端平。1/18/202412一、新员工须知9.4风淋室操作规程(S-QAW-QS-014)1.进入风淋前，先进行静电检测2.确认风淋系统工作状态3.打开外门，则内门自动关闭5.确认风淋间人数(最多两人)6.外门关闭，蜂鸣器响，风淋启动7.举起双臂，在原地360°旋转一圈。等待风淋结束8.蜂鸣器停止，提示风淋完毕，同时内门自动打开，可进入净化间1/18/202413一、新员工须知10.1混批的定义：不同种类的芯片(包括不同DEV)的混杂；不同封装方式的混杂；不同产品组装批的混杂；一样产品不同批次的混杂。如阐明：虽然外观看起来完全一样的两粒产品，产品内部的芯片构造实践是完全不同的。我们假设靠视觉和觉得来判别产品，就容易发生混管;我们必需严厉遵照消费防混批要求！10.混批控制WAFERAWAFERB10.2混管对顾客的影响：产量损失、停产、产品失效。混管对公司的影响：声誉受影响、失去市场和客户、顾客索赔影响公司的开展前景,以致于影响到员工本身的利益.

10.3我们的目的：消灭混批，使安盛的产品成为客户的首选

10.4混管的预防原那么：-Dowhatwewrite做我们所写的〔作业规范、平安指南、不走捷径〕-Classifiedworkplace分类定义任务场所〔正确放置操作前,中,后的产品〕-FirstInFirstOut(FIFO)先进先出原那么-Clean,cleanandclean做好清扫任务很关键-Onelotatanyonetimeconcept一次只能作一个批次的产品的概念1/18/202414一、新员工须知10.5装片工序的混批控制：1.核对随件单上的芯片名，芯片批号、圆片数，圆片号与实践能否相否2.每任务完一个批次后,在随件单的反面填写料盒号和标牌号.4.全部任务完一批产品,才可以开场下一批产品的任务5.一批产品完成后,及时性送入待烘区域6.做到单人单机单批作业

10.6假设在任务中出现混批，我们该怎样办？答：不能私自处置，否那么会让问题更加严重，必需立刻报告给班长。11.平安教育制度1、各部门担任二、三级平安教育，HR产线培训师担任各工序二级、三级教育。2、二、三级教育：新人员〔包括转岗和复工人员〕到工段前，由各培训师对其进展工段平安教育，内容：详细引见工段的任务性质、工艺流程、平安消费概略和平安消费职责范围；平安本卷须知；设备性能；设备平安安装的运用和检查方法；平安操作规程；设备保养知识；劳动维护用品的运用方法；消防器材位置和运用方法；本工段环境要素、危险源及事故阅历教训；发生危急时的紧急措施，所从事工种能够蒙受的职业危害及预防措施。3、

“四新教育〞：采用新资料、新工艺、新产品、新设备应对相关人员进展平安教育，同时修订相关操作规程。“四新教育〞由各部门担任。本点需求关注假设未来各部门有“四新〞情况，需求引入工序给培训师培训。4、新员工、转岗、复工员工的三级平安教育必需在到岗后三天之内递交(节假日除外)。1/18/202415一、新员工须知11.1设备标识11.2设备紧急停顿按钮标识1标识2标识3照片上是各种不同的紧急停止按钮普通情况下遇到死机OP不可以自行关机，如遇特殊情况，譬如手〔料盒，圆片〕等被卡住，OP可按紧急停顿键表示M/C运转时不要挪动此部件。表示里面的电压是危险电压，维护M/C时必需封锁M/C。表示里面的电压很危险，维护M/C时必需断开电源。标识1标识2标识3标识4标识5标识6表示运动部件，当机器运转时坚持手分开此部件,否那么呵斥损伤。表示此部件仅仅用于调试M/C用的，作业时不要动它。表示压力表要设定在如图内，否那么对产品质量会有影响。1/18/202416一、新员工须知装片艰苦危险源〔MSDS〕：酒精、丙酮，应放在指定区域12.EHS知识本岗位环境因素环境因素是指一个组织的活动、产品和服务中能与环境发生相互作用的要素。A.电、氮气的使用,纸张、引线框、备品备件的使用,日光灯管、纤维纸、酒精、棉签、银浆、针头、针管、滤纸、抹布的使用与丢弃.B.爆炸火灾灭火器材与逃生通道装片工序共有消防设施，放在指定区域，在消防设施的上方有消防设施标志．前道净化间：共2个紧急逃生通道，一个位于材料区．一个位于办公区设备操作全自动装片机操作过程中的挪动部件：1.圆片任务台2.LF上料架3.传送导轨4.点胶安装5.装片头6.上下料盒架12.1装片环境要素、危险源、灭火器材、逃生通道和设备操作留意1/18/202417灭火器材逃生通道事故案例消防栓、灭火器放置在装片生产线。此门可以随时打开暂无一、新员工须知12.2装片环境要素、危险源、灭火器材、逃生通道和设备操作留意本岗位危险源材料伤害：料筐、料盒桌面坠落—砸伤脚,银浆滴胶头堵塞气枪吹通飞溅物造成眼睛伤害移动部件伤害：外露移动部件—夹手酒精伤害：酒精清洗引线框、滴胶头--火灾爆炸,清洗针头、针管、引线框时，防止酒精进入眼睛，伤到皮肤其他伤害：材料领用通道地面有竖起的未使用管道外露--磕倒、跌伤.1/18/202418忘记拔取更衣室钥匙无证操作口罩未盖住鼻子点评：易造成财物丢失产生安全隐患点评：持证上岗，有证操作点评：在生产车间口罩遮住鼻子，头发不外露鞋帮拖在鞋柜外面哄抢料盒使用错误插片点评：净化鞋鞋帮不得拖在鞋柜外面，违反5S。点评：料盒、插片要摆放整齐点评：产品没有全部按照要求使用相应的插片LF重叠点检T-CARD未确认点评：修正产品必须用镊子修正点评：设备已开始操作，表单还未点检。点评：员工休息室坐姿不雅,违反5S一、新员工须知13.装片历史案例学习1/18/202419二、装片全面引见英文名称中文名称英文名称中文名称SPEC规范PACKAGE封装形式T-CARD流程卡SHIFT生产组CHIP/DIE芯片SUP’V现场主管CUST客户THICKNESS厚度LEADER生产组的班长WAFER硅片LOT批,组等单位OJT现场实作教育MAG储料盒CONTAINER储料箱D/A芯片粘贴COVER插片OPERATOR操作员EPOXYTOOL点胶头LEADFRAME引线框架EPOXYWRITE写浆头EPOXY环氧树脂(银浆)PICKUPTOOL吸嘴PRODUCTION生产NEEDLEPIN顶针MAIN’T维修STRIPMARK标记QUALITY品质TEMP温度在入职培训中的英语培训中，我们学到了半导体工艺常用的一些单词和术语，以下是装片工序常见的一些单词及缩写：1/18/202420二、装片全面引见装片的原理：DIEATTACH就是EPOXY把DIE粘贴到L/FPAD上，使其具有电子性、机械性的组合。装片前后产品对照装片前装片的过程

1〕一定量的EPOXY粘贴到L/FPAD外表。2〕PICKUPTOOL位置移到WAFER上方。3〕PICKUPTOOL接触到WAFER上的DIE。4〕NEEDLEPIN顶起DIE。5〕PICKUPTOOL吸起DIE，NEEDLEPIN复原。6〕BOND到粘有EPOXY的L/FPAD上。4.装片俯视图和各部件称号装片后ABCDEEA.银浆B.芯片C.LF小岛D.内引脚E.掉筋1/18/202421二、装片全面引见原资料引见1.Epoxy

Resin环氧Filler填充物Hardner固化剂Catalyst催化剂拿取银浆注意点：1.在拿取银浆时手握住针筒顶部，防止手温影响银浆质量，产生气泡。2.筒装银浆从冰箱中取出后，需要在常温将银浆垂直放置（如图所示），解冻1小时后可使用.银浆的分类：银浆的根本组成：导电胶：84-1导电胶：雪白色，解冻1小时后运用绝电胶：蓝色，解冻1小时后运用1/18/202422二、装片全面引见原资料引见Epoxy胶型号使用温度使用期限导电胶DAD9020~30℃48小时DAD8720~30℃48小时84-120~30℃48小时835C20~30℃48小时8200T20~30℃24小时HT0220~30℃48小时银浆软管的使用银浆的运用条件：SyringeAdapterAssy.AdapterCapHoseHeadCapO-Ring作业员领取针筒适配器1运用透明软管作为适配器2在适配器帽檐上不能有变硬的银浆残留物3在O-ring上不能有变硬的银浆残留物4不能运用损坏的o-ring1/18/2024232.Epoxytool*常规尺寸芯片按该表选择点胶头,当芯片长宽比大于1.5时,采取双点胶方式（装配图中有规定）。

长宽型号颜色内径外经实物照片点胶方式<0.6

<0.6

23G橙色0.340.64单点胶0.6—1.00.6—1.022G蓝色0.410.72单点胶1.0—1.41.0—1.421G紫色0.510.82单点胶>1.4

>1.4

20G粉红色0.60.92单点胶二、装片全面引见原资料引见1/18/202424二、装片全面引见原资料引见Epoxytool点胶头的管理:1.领取点胶头时，OP必须拿装配图”。2.材料必须遵守“以一换一”的原则.点胶头的更换频率：

1.更换不在同范围内大小的芯片2.停机超过4H3.更换epoxy类型4.Epoxytool堵塞5.Epoxytool损坏注意事项:1.更换完银浆后要清洁一下导轨2.在更换点胶头以后需要测高，测高LF小岛上不能有银浆1/18/202425二、装片全面引见原资料引见3.Needlepin顶针的型号参考型号适用芯片大小（单边）使用寿命JT10-0.025-17.00-0.70≤0.5mm100万JT10-0.050-17.00-0.70>0.5mm200万JT15-0.125-17.00-0.70≥1.8mm300万顶针好坏的判定1/18/202426二、装片全面引见原资料引见4.LeadframeL/F定位孔内引脚L/F掉筋L/FpadL/F定位孔外引脚类型材料样本注意事项单排1.领取LF检查:PKG/LD(Padsize)，code，内外引脚类型，原材料类型，有无接地引脚，镀银方法，有效期2.一批产品中不允许出现两个不同厂家L/F，当一个组装批中使用两批相同厂家的L/F时，需要在随件单上填写两个批号，用“/”区分3.当需要更换引线框类型或待料时作业员需要在1小时内返库

4.L/F返回时需要用无尘纸包装，并且在包装纸上写明引线框型号、数量、有效期、厂家、代码．双排1/18/202427二、装片全面引见原资料引见5.PickuptoolA.类型B:使用寿命特殊情况举例说明：橡皮吸嘴30万连杆吸嘴50万暂无C.吸嘴的维护D.发现由吸嘴引起不良的处理

每工作3~4小时用酒精棉擦拭吸嘴端面，并用滤纸擦干

在生产过程中如发现任何由于pickuptool引起的defect例如scratch,必须更换新的pickuptool并填写setupchecklist&buyoff(D/A),同时将吸嘴保存好以便进一步分析.圆形方形连杆二、装片全面引见原资料引见1/18/202428

圆形吸嘴选用对照表芯片大小（mm)橡胶吸嘴选用序号一橡胶吸嘴选用序号二连杆吸嘴长宽吸嘴型号吸嘴内径吸嘴外径吸嘴型号内径mm吸嘴型号吸嘴内径<0.45<0.45CTR-A3-015-AS0.150.3NA/VES-CT-0.30-0.150.150.45-0.60.45-0.6CTR-A3-020-AS0.20.40.6-0.80.6-0.8CTR-A3-030-AS0.3/0.40.5/0.6RR-0.30.3VES-CT-0.60-0.300.30.8-1.00.8-1.0CTR-A2-040-AS0.4/0.50.6/0.7RR-0.40.41.0-1.51.0-1.5CTR-A2-050-AS0.50.7RR-0.50.5VES-CT-0.80-0.500.51.5-2.01.5-2.0HTR-060-080（高温）0.60.8NA/NA/*常规尺寸芯片按上表选择吸嘴,以长*宽中窄边为选择基准。二、装片全面引见原资料引见1/18/202429FingerCot指套：防静电指套用于静电防护和防污染Cover插片：插在料盒两边，防止引线框滑出料盒防静电袋子：防止纸张对产品产生静电

托盘：抽检产品时LF至于托盘之上TWEEZER镊子：在生产中用于抽取引线框时使用的工具Mark笔：绿色：做RTI记号黑色：做不良品记号生料带：用于调整设备三点一线无尘纸：用于清扫设备白色桃花纸：1.用于清擦吸嘴.2.停机1小时使用6.工具引见二、装片全面引见1/18/202430棉签：清扫设备导轨上残留银浆酒精：去处设备及材料上残留的银浆AIRGUN气枪：用来清除圆片表面异物的高压气枪Container料框1：用空料盒及完成的在制品Container料框2：用空料盒及完成的在制品6.工具引见二、装片全面引见1/18/202431B/D(配线图)图片定义芯片在引线框上的方向和位置示意图，包括内外焊点金丝的连接位置二、装片全面引见1/18/202432低倍（10X～40X）显微镜7.产品检查工具引见目镜资料台调理明晰度调理倍数物镜目镜：根据个人目距的不同调理目镜宽度调理倍数：根据需求调理放大倍数明晰度：根据芯片厚度调理，顺时针调理抬高物镜，逆时针调理放下物镜。物镜：用于察看实物资料台：放置实物。二、装片全面引见1/18/202433二、装片全面引见低倍（10X～40X）显微镜10-40X镜头使用7.产品检查工具引见10-40X镜头样本10-40X镜头运用要求：1.在buy-off前,作业员必需在10~40X的显微镜镜头下检查银浆在芯片侧面的高度;2.检查的规范为:银浆在芯片侧面的高度必需≤75%1/18/202434低倍（10X～40X）显微镜7.产品检查工具引见效果图:银浆在芯片侧面的高度≤75％检查方法：1.托盘向上倾斜45度2.托盘开口呈“L〞外形面向OP二、装片全面引见1/18/202435高倍（50X）显微镜7.产品检查工具引见目镜：根据个人目距的不同调理目镜宽度明晰度：根据芯片厚度调理，顺时针调理抬高物镜，逆时针调理放下物镜。物镜：用于察看实物电源开关：向上,翻开；向下，封锁。此显微镜正向显示：实物与BD上放置方向一致目镜物镜镜头调理明晰度电源开关此显微镜正向显示二、装片全面引见1/18/202436高倍（5