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文档简介

光热共路干涉（衍射）仪用途：测量样品的微弱吸收光热共路干涉仪两个问题：散射与吸收的分离测量精度10-4，更小吸收的测量传统吸收测量方法：光谱仪A+S=1-R-T主要内容光热效应热透镜技术检测技术衍射效应测量实例光热效应光辐射折射率变化热应变弹性波传播光热效应泵浦激光样品样品升温折射率变化高斯光束样品衍射屏热透镜技术三个过程：光热效应相位变化近场衍射热透镜技术Detector泵浦激光样品惠更斯-菲涅耳衍射热透镜技术泵浦光－1064nm探测光－632.8nm热透镜技术Detector为什么可以测量微弱吸收？样品升温影响探测信号大小的因素：pump功率样品常数(热扩散率、dn/dT)Pump和Probe在样品上的光束半径比探测器灵敏度样品和探测器的相对位置斩波器频率这些因素决定弱吸收测量的灵敏度。当这些量都固定时，探测信号大小与吸收成正比。热透镜技术热透镜技术锁相放大器输入信号参考信号输出信号乘法器EsErEs*ErLPF输出特性：1、Δω=0，输出直流信号（前面的AC信号）2、Δω<bandwidth，输出交流噪声3、Δω>bandwidth，噪声被滤除4、θ=0，最大信号输出相敏检波器乘法器EsErEs*ErLPF乘法器EsErEs*ErLPF乘法器EsErEs*ErLPF热透镜技术R为校验参数，Rs为样品参数，α为标片吸收系数，αs为样品吸收，P为定标时泵浦光功率，Ps为测量时泵浦光功率μ基板的热扩散率差别热透镜技术w0=35μm,β=5-10°Leff≈500

m纵向空间分辨率：w0=60-70

m横向空间分辨率：仪器校准表面吸收－校准标片参数Newport(3mm厚)，熔融石英基底镀金属膜，在1064nm处吸收为22.2%。仪器校准体吸收－校准标片参数SchottglassNG12(3.58mm厚),在1064nm处吸收为63.4%/cm

。测量实例光束交点与信号的对应图测量实例1、薄膜吸收测量测量实例2、基底体吸收测量测量实例3、表面和体吸收的综合测量测量实例平均吸收：5ppm/cm大缺陷点，吸收远高于平均吸收表面起伏引起的吸收变化4、石英表面二维吸收图总结

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