标准解读

《GB/T 43662-2024 蓝宝石图形化衬底片》是一项国家标准，主要针对用于半导体器件制造中的蓝宝石图形化衬底片进行了详细规定。该标准涵盖了此类产品的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。

在术语与定义部分，明确了“蓝宝石图形化衬底片”的具体含义，即通过特定工艺处理，在蓝宝石基板上形成具有一定图案结构的衬底材料，这些图案可以是周期性的也可以是非周期性的，目的是为了改善后续生长薄膜的质量或实现特定功能。

技术要求方面，标准对蓝宝石图形化衬底片的关键性能指标提出了明确要求，包括但不限于表面形貌、图形尺寸精度、位置偏差、清洁度等。此外，还涉及到了衬底材料本身的物理化学性质如厚度均匀性、光学透过率等。

对于试验方法，《GB/T 43662-2024》提供了详细的测试流程和技术参数，确保能够准确评估产品是否符合上述技术规格。这其中包括了使用扫描电子显微镜(SEM)观察图形细节、原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度等多种先进检测手段的应用指南。

检验规则则进一步规范了生产过程中质量控制的具体步骤，从原材料进厂到成品出厂整个链条上的每一个环节都应遵循严格的标准操作程序(SOP)，并通过定期或不定期抽查来保证产品质量稳定可靠。

最后，在包装、标志、运输和贮存章节中，标准强调了如何正确地对蓝宝石图形化衬底片进行保护以避免损坏，并对其标识信息做出了具体指导，同时指出了适宜的储存条件及运输方式，以确保产品在整个供应链过程中的安全性和完整性。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2024-03-15 颁布
  • 2024-10-01 实施
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文档简介

ICS29045

CCSH.83

中华人民共和国国家标准

GB/T43662—2024

蓝宝石图形化衬底片

Patternedsapphiresubstrate

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T43662—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位广东中图半导体科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

:、、

华灿光电浙江有限公司黄山博蓝特半导体科技有限公司北京大学东莞光电研究院云南蓝晶科技

()、、、

有限公司南京理工宇龙新材料科技股份有限公司通辽精工蓝宝石有限公司苏州恒嘉晶体材料有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人张能贺东江张小琼李素青肖桂明王子荣朱广敏康凯刘建哲丁晓民

:、、、、、、、、、、

王新强何永杰戴生伢闫殿军徐永亮

、、、、。

Ⅰ

GB/T43662—2024

蓝宝石图形化衬底片

1范围

本文件规定了蓝宝石图形化衬底片以下简称衬底的技术要求试验方法检验规则标志包

(“”)、、、、

装运输贮存随行文件和订货单内容

、、、。

本文件适用于蓝宝石图形化衬底片的研发生产测试检验及性能质量的评价

、、、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样

GB/T2828.1—20121:(AQL)

计划

砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GB/T8758

硅片直径测量方法

GB/T14140

半导体材料术语

GB/T14264

纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T20307

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.1—20211:

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

图形化衬底patternedsubstrate

通过光刻或压印图形掩膜工艺再经等离子体刻蚀技术制成的表面具有一系列类圆锥体的周期性

,,

阵列排布的微纳米图形结构的衬底

。

注图形化衬底用于提升氮化镓发光二极管的光电性能

:。

32

.

图形排布patternarrangement

衬底表面图形按最密堆积原则进行位置及方向上的阵列分布排布如图所示排布如图所示

。0°1

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