- 即将实施
- 暂未开始实施
- 2024-03-15 颁布
- 2024-10-01 实施
下载本文档
文档简介
ICS7104040
CCSG.04.
中华人民共和国国家标准
GB/T43661—2024/ISO130832015
:
表面化学分析扫描探针显微术
用于二维掺杂物成像等用途的
电扫描探针显微镜ESPM如SSRM和
(,
SCM空间分辨的定义和校准
)
Surfacechemicalanalysis—Scanningprobemicroscopy—
Standardsonthedefinitionandcalibrationofspatialresolutionofelectrical
scanninrobemicroscoesESPMssuchasSSRMandSCMfor
gpp()
2D-dopantimagingandotherpurposes
ISO130832015IDT
(:,)
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T43661—2024/ISO130832015
:
目次
前言
…………………………Ⅲ
范围
1………………………1
规范性引用文件
2…………………………1
术语和定义
3………………1
符号和缩略语
4……………1
基本信息
5…………………2
锐边法测量横向分辨
6SCM……………4
锐边法测量空间分辨
7SSRM……………7
附录资料性分辨测量示例
A()SCM……………………9
附录资料性分辨测量示例
B()SSRM…………………11
参考文献
……………………13
Ⅰ
GB/T43661—2024/ISO130832015
:
前言
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
本文件等同采用表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途
ISO13083:2015《
的电扫描探针显微镜如和空间分辨的定义和校准
(ESPM,SSRMSCM)》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
。。
本文件由全国微束标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC38)。
本文件起草单位中山大学广东工业大学暨南大学
:、、。
本文件主要起草人龚力杨慕紫陈瑜张浩谢伟广谢方艳丁喜冬陈建
:、、、、、、、。
Ⅲ
GB/T43661—2024/ISO130832015
:
表面化学分析扫描探针显微术
用于二维掺杂物成像等用途的
电扫描探针显微镜ESPM如SSRM和
(,
SCM空间分辨的定义和校准
)
1范围
本文件描述了用于测量扫描电容显微镜或扫描扩展电阻
(scanningcapacitancemicroscope,SCM)
显微镜空间横向分辨的方法该方法涉及使用锐
(scanningspreadingresistancemicroscope,SSRM)(),
边的器件这种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量
。2。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文
。,
件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于
,;,()
本文件
。
表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语
ISO18115-22:(Surfacechemicalanalysis—
Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy)
注表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语
:GB/T22461.2—20232:(ISO18115-2:2021,MOD)
3术语和定义
界定的以及下列术语和定义适用于本文件
ISO18115-2。
31
.
电扫描探针显微术electricalscanningprobemicroscopyESPM
;
采用导电探针测量材料电学特性例如电容电阻电场等的扫描探针显微术
(
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题。
最新文档
- 固体物理学:第一章 练习题
- 市政工程打造便利城市生活环境
- 市政改善城市环保风险
- 市政风景区环境保护工程
- 2024年特种设备作业人员技能考试-压力管道作业笔试参考题库含答案
- 2024年火电电力职业技能鉴定考试-电力调度员笔试参考题库含答案
- 2024年全球白三烯拮抗剂行业总体规模、主要企业国内外市场占有率及排名
- 2024春国家开放大学社交礼仪形成性考核任务1-3
- 2024年中国用于废物收集的海上无人机行业研究报告
- 军标系列射频同轴电缆项目可行性研究报告及运营方案|瑞克咨询|2024年编制|
- GM/T 0115-2021信息系统密码应用测评要求
- 广东省中山市2023-2023学年七年级地理下册期中考试题
- 无负压供水施工技术方案
- GA 858-2010银行业务库安全防范的要求
- 环网柜基础知识课程课件
- 高三后期复习备考策略及管理办法教学课件
- TWI督导人员培训系列课件
- 第十一章-供应链的规模经济管理:周转库存-(《供应链管理》课件)
- 问题背后的问题课件
- 建设用地报批及重点项目预审培训
- 《给无价孩子定价-》
评论
0/150
提交评论