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文档简介

《超硬磨料制品半导体芯片精密划切用砂轮gb/t43136-2023》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4产品分类4.1晶圆芯片精密划片用砂轮4.2封装体芯片精密切割用砂轮5产品标记5.1晶圆芯片精密划片用砂轮标记contents目录5.2封装体芯片精密切割用砂轮标记6技术要求6.1外观6.2基本尺寸极限偏差6.3形位公差6.4基体粗糙度7试验方法7.1外观7.2基本尺寸contents目录7.3形位公差7.4基体粗糙度8检验规则8.1出厂检验8.2产品质量监督检验9标志9.1产品标志9.2合格证标志9.3外包装标志contents目录10包装、运输和贮存10.1包装10.2运输10.3贮存011范围砂轮是一种固结磨具,由磨料和结合剂构成,用于磨削、研磨和抛光。根据用途、形状、结合剂种类等,砂轮可分为多种类型,如平面砂轮、外圆砂轮、内圆砂轮等。定义分类1范围022规范性引用文件详细列出所引用的标准、规范及法规。确保所引用的文件为最新版本,保证标准的时效性和准确性。便于读者查阅和对照相关文件,加深对标准的理解。2规范性引用文件033术语和定义03精密划切指采用砂轮等切割工具,对半导体芯片进行高精度、高平整度的切割加工过程。01超硬磨料制品指以金刚石或立方氮化硼为主要成分,通过特定工艺制成的具有超高硬度和耐磨性的磨削工具。02半导体芯片是指在半导体材料上通过特定工艺制成的集成电路,是实现电子器件功能的核心部件。3术语和定义044产品分类树脂结合剂砂轮以树脂为结合剂,具有高硬度、高强度和高耐磨性,适用于半导体芯片的粗磨和精磨。金属结合剂砂轮以金属为结合剂,具有较高的结合强度和导热性,适用于高效磨削和重负荷磨削。陶瓷结合剂砂轮以陶瓷为结合剂,具有较高的热稳定性和化学稳定性,适用于高精度和高速磨削。4产品分类054.1晶圆芯片精密划片用砂轮010203高精度制造要求晶圆芯片作为半导体产品的核心部件,对划片用砂轮的制造精度提出了极高要求。砂轮必须具备高度的尺寸精度和形位精度,以确保划片过程中的稳定性和准确性。优质磨料选择为提高晶圆芯片划片效率和质量,砂轮应选用高品质的磨料。常见的磨料包括金刚石、立方氮化硼等超硬材料,这些材料具有高硬度、高耐磨性等特点,能够有效地提高砂轮的使用寿命和划片效果。严格工艺控制晶圆芯片精密划片用砂轮的制造过程中,必须严格控制各项工艺参数。包括磨料的粒度、浓度、结合剂的选择以及砂轮的硬度、组织等,这些参数均会对砂轮的划片性能产生重要影响。通过优化工艺控制,可以确保砂轮在满足使用性能的同时,具备稳定的划片效果。4.1晶圆芯片精密划片用砂轮064.2封装体芯片精密切割用砂轮采用高精度材料制成基体,确保砂轮的刚性和稳定性。高精度基体选用细粒度、高硬度的磨料,通过精细制作工艺形成致密的磨料层,提高切割效率和精度。优质磨料层针对封装体芯片的特点,设计合理的砂轮结构,确保在高速旋转过程中保持良好的动平衡。独特结构设计4.2封装体芯片精密切割用砂轮075产品标记生产信息包括生产商名称、生产日期或批次等,有助于追溯产品质量和责任。性能参数如砂轮的粒度、硬度、结合剂等关键性能参数,应准确标注,以便用户根据实际需求选用。产品名称与型号应明确标注砂轮的产品名称、型号或规格,以便于用户识别和选择。5产品标记085.1晶圆芯片精密划片用砂轮标记123根据不同晶圆芯片的划切需求,砂轮应具备相应的型号与规格标记,以确保使用的准确性与高效性。砂轮型号与规格砂轮上应明确标注生产厂家及生产日期,便于质量追溯与后续维护管理。生产厂家与日期砂轮标记中应包含其关键性能参数,如磨料种类、粒度、硬度等,以及适用的晶圆芯片材料与加工精度要求。性能参数与适用范围5.1晶圆芯片精密划片用砂轮标记095.2封装体芯片精密切割用砂轮标记标记内容封装体芯片精密切割用砂轮的标记应包含产品名称、规格型号、磨料种类、粒度、硬度、结合剂类型等关键信息,以便于用户准确选择和使用。标记示例例如,某款封装体芯片精密切割用砂轮的标记可能为“SDK-150B-D64-H-V”,其中“SDK”代表产品名称,“150B”表示规格型号,“D64”代表磨料种类和粒度,“H”代表硬度,“V”代表结合剂类型。标记意义封装体芯片精密切割用砂轮的标记对于确保产品质量、提高加工效率、保障使用安全等方面具有重要意义。通过标记,可以实现对砂轮产品的有效追溯和管理,同时也有助于提升用户的使用体验。5.2封装体芯片精密切割用砂轮标记106技术要求砂轮应使用高质量的超硬磨料,如人造金刚石或立方氮化硼,以确保其硬度和耐磨性。超硬磨料结合剂填料与辅助材料结合剂应选用强度高、耐热性好的材料,以确保砂轮在高温和高速划切过程中的稳定性。砂轮中可添加适量的填料和辅助材料,以改善其加工性能和使用寿命。0302016技术要求116.1外观砂轮表面应平整,无裂纹、破损等缺陷,以保证使用安全及有效性。砂轮颜色应均匀一致,无明显色差,符合产品整体美观要求。砂轮标识应清晰、完整,包括型号、规格、生产厂家等信息,便于用户准确选用及管理维护。6.1外观126.2基本尺寸极限偏差基本尺寸指设计给定的尺寸,用以确定其它相关尺寸的基础。极限偏差指允许尺寸的变动量,即最大极限尺寸与最小极限尺寸之差的绝对值。尺寸公差指允许尺寸的变动范围,其大小等于极限偏差之差的绝对值。6.2基本尺寸极限偏差136.3形位公差定义形位公差是指零件上实际要素的形状、方向和位置相对于理想要素的允许变动量。分类形位公差包括形状公差和位置公差两大类。形状公差如直线度、平面度、圆度等;位置公差如平行度、垂直度、倾斜度等。6.3形位公差146.4基体粗糙度6.4基体粗糙度定义基体粗糙度是指砂轮基体表面的微观不平度。意义基体粗糙度对砂轮的粘结强度、磨削性能及使用寿命具有重要影响。157试验方法砂轮表面应无裂纹、破损或明显的制造缺陷。砂轮标识应清晰、完整,包含型号、规格、生产日期等信息。砂轮的包装应完好,无破损、污染等现象。7试验方法167.1外观123砂轮表面应平整,无明显的裂纹、破损或变形。砂轮标识应清晰、准确,包括型号、规格、生产日期等信息。砂轮的颜色和质地应均匀,无杂质或明显的色差。7.1外观177.2基本尺寸03根据不同的划切需求,砂轮直径可进行定制,以满足客户的特殊需求。01标准规定了不同型号砂轮的直径范围,确保砂轮能够适配各种划切设备。02砂轮直径的精度要求较高,以保证划切过程中的稳定性和精度。7.2基本尺寸187.3形位公差

7.3形位公差提高砂轮制造精度形位公差是砂轮制造过程中的关键指标,严格控制形位公差可以提高砂轮的制造精度,确保其符合设计要求。保证砂轮使用性能砂轮的形位公差对其使用性能具有重要影响,合理的形位公差可以保证砂轮在高速旋转时的平稳性和稳定性,提高加工效率。延长砂轮使用寿命通过优化形位公差,可以减少砂轮在使用过程中的振动和偏摆,从而降低砂轮的磨损速度,延长其使用寿命。197.4基体粗糙度基体粗糙度是指砂轮基体表面的微观不平整度,对砂轮的制造精度、使用性能以及芯片划切质量具有重要影响。定义与意义基体粗糙度受到原材料质量、加工工艺、设备精度等多种因素的影响,需严格控制各生产环节以确保基体粗糙度符合要求。影响因素采用专用的粗糙度测量仪器对基体表面进行检测,通过定量分析评估基体粗糙度,为砂轮的后续制造提供有力依据。检测方法7.4基体粗糙度208检验规则每批产品出厂前必须进行的检验,以确保产品质量符合标准要求。出厂检验对产品结构、材质、工艺等有较大改变时进行的检验,以验证产品的一致性和稳定性。型式检验由相关质量监督部门进行的定期或不定期的检验,以监控产品质量和安全性。监督检验8检验规则218.1出厂检验检验项目01出厂检验主要包括对砂轮的外观质量、尺寸偏差、动平衡等关键指标进行检查,以确保产品符合标准要求。检验方法02采用目视检查、量具测量以及专用动平衡测试设备等方法进行检验,确保检验结果的准确性和可靠性。检验规则03制定明确的检验流程和判定标准,对不合格品进行严格控制,并记录相关检验数据和结果,以备后续质量追溯和改进。8.1出厂检验228.2产品质量监督检验出厂检验确保每一批产品都符合标准要求,对产品的基本性能进行检测。型式检验验证产品的一致性和稳定性,对各种性能指标进行全面评估。监督检验由第三方机构进行,对产品的生产过程和质量管理体系进行监督检查。8.2产品质量监督检验239标志产品型号与规格砂轮上应标注制造厂商名称、商标等标识,以体现产品来源和品质保证。制造厂商信息安全认证标志符合相关安全标准的砂轮应附有相应的安全认证标志,确保用户使用的安全性。砂轮上应明确标注产品型号、规格尺寸,便于用户选择和识别。9标志249.1产品标志产品名称及型号每款超硬磨料制品的半导体芯片精密划切用砂轮都应明确标注其产品名称和型号,以便用户准确识别和选择。生产厂家及商标产品标志中应包含生产厂家的名称或商标,这有助于追溯产品来源并维护消费者权益。执行标准编号产品应标注所执行的标准编号GB/T43136-2023,以表明其符合相关国家标准要求,确保产品质量和安全性。9.1产品标志259.2合格证标志合格证的放置位置应固定在产品明显且不易磨损的位置,便于用户查验。合格证的有效期应明确标注合格证的有效期限,超出期限后需重新进行检测并更换新的合格证。合格证的基本内容包括产品名称、规格型号、生产日期、执行标准等关键信息,以确保产品的可追溯性。9.2合格证标志269.3外包装标志制造厂名与商标外包装上应注明制造厂名或商标,确保产品质量可追溯,并维护消费者权益。标识与警示外包装应包含必要的标识和警示,如砂轮旋转方向箭头、最大转速标识等,以指导用户正确、安全地使用产品。产品名称与型号外包装应明确标注砂轮的产品名称、型号,以便于用户识别和选择。9.3外包装标志2710包装、运输和贮存产品应采用防潮、防震、防尘的包装材料,以确保产品在运输和贮存过程中的安全性和稳定性。包装材料包装上应清晰标明产品名称、型号、规格、数量、生产日期、生产厂商等基本信息,便于用户识别和追溯。包装标识包装材料应符合国家相关环保标准,提倡使用可回收、可降解的环保材料,减少对环境的影响。环保要求10包装、运输和贮存2810.1包装包装要求产品应采用符合相关标准的包装,以确保在运输和贮存过程中不受损坏。包装应牢固、可靠,具有防震、防潮、防尘等功能。包装材料包装材料应选用无毒、无害、无污染的材料,符合环保要求。同时,包装材料应具有足够的强度和稳定性,以承受运输和贮存过程中的各种力。包装标识包装上应清晰、准确地标明产品名称、型号、规格、数量、生产日期、生产厂名等信息,以及必要的警示标志和使用说明。这有助于用户正确识别和使用产品,并确保安全生产。10.1包装2910.2运输10.2运输随车附带必要的运输文件,如合格证、使用说明书等,并在砂轮产品上标明清晰的标识,包括产品名称、规格型号、生产厂家等信息,以便于识别和追溯。运输文件与标识根据砂轮产品的特性和数量,选择合适的运输方式,如汽车、火车、轮船或飞机等,确保运输过程的安

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