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文档简介
一、电子束与样品的作用一、电子束与样品的作用1为什么电子显微分析方法在材料争论中格外有用。2电子与样品作用产生的信号是如何被利用的?扫描电镜利用哪几个信号?答:电子显微镜用于电子作光源,波长很短,且用电磁透镜聚焦,显著提高了区分率,比光1000争论;样品不必复制,直接进展观看,可以观看试样外表形貌,试样内部的组织与成分。2电子与样品作用产生的信号是如何被利用的?扫描电镜利用哪几个信号?3、属于弹性散射的信号有哪几个?〕的丰富信息〔2〕X3、属于弹性散射的信号有哪几个?44X50.5um电子看到它?请具体解释缘由答:荧光X50.5um电子看到它?请具体解释缘由答:可以用背散射电子看到,二次电子不行二次电子从外表5~10nm层放射出来,逃逸深度浅,二次电子的产额随原子序数的变化不如0.1~1um深处放射加而增加,始于观看成分的空间分布。二、扫描电镜及应用二、扫描电镜及应用1.高区分扫描电镜要承受场放射电子枪作为电子源的缘由是什么?度。2.解释扫描电镜放大倍率的掌握方法3采集二次电子信号的探头在样品的什么位置,何能有效收集二次电子?答:M=l/L显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和电子束在试样上最大扫描距离的比,l不变,转变L,通过调整扫描线圈上的电流进展,削减扫描线圈的电流,电子束偏转角度小,在试样上移动距离变小,放大倍数增加。2.解释扫描电镜放大倍率的掌握方法3采集二次电子信号的探头在样品的什么位置,何能有效收集二次电子?4.背散电子的探头为什么总是位于样品的正上方?激发,一般入射电子束与探测器夹角微90或稍大,还要考虑全聚焦和外表阴影,电子束相454.背散电子的探头为什么总是位于样品的正上方?答:由公式 ,cosm n
为空间强度分布,为背散电子数目,可见当电子束沿法线入射n时,作用深度大,能观测到的信息更丰富。另外在样品正上方的背散射电子区分率大5.要用扫描电镜观看不导电样品,可以实行哪些措施避开放电对图像清楚的影响?探头位于样品的正上方。5.要用扫描电镜观看不导电样品,可以实行哪些措施避开放电对图像清楚的影响?答:在试样上喷涂一层导电物质金或碳;承受较低的加速电压;背散电子成像;改善样品和样品台的导电连接;用可变电压扫描电镜、环境扫描电镜直接观看。6.EBSD是背散电子衍射把戏分析,它可以用来争论样品的晶体构造和晶体取向分布。EBSD分析的信号采集与一般扫描电镜中的背散电子成像有何不同?7、一副好的图像应当具备哪些根本特征?当你感觉一副电镜照片不清楚时,除了聚焦不好还可能有哪些缘由?答:EBSD跟晶体的构造和取向有关。而一般扫描电镜中的背散电子成像与产额和样品原子序数有关。7、一副好的图像应当具备哪些根本特征?当你感觉一副电镜照片不清楚时,除了聚焦不好还可能有哪些缘由?答:好的衬度、高的区分率、大的景深、放大倍数适当、相差小8、扫描电镜是进展断口分析的有效手段,可以做哪些分析?图像衬度不好、区分率低、景深太小、放大倍数不适当、相差大8、扫描电镜是进展断口分析的有效手段,可以做哪些分析?答:解理断裂、准解理断裂、韧窝断裂、沿晶断裂、疲乏断裂三、电子光学与投射电镜构造三、电子光学与投射电镜构造1、电磁透镜的构造对电子束聚焦力量的影响,短磁透镜的作用?有效磁场尽可能的加强和集中到投射轴一个很短的距离内,增加聚焦力量。2、电磁透镜的像差有哪些?通过什么技术手段来掌握像差?哪个像差最难掌握?作用:转变线圈中的电流强度,就能很便利的掌握透镜焦距和放大倍数,用来供给线圈60-100v,不必担忧击穿,像差较小。2、电磁透镜的像差有哪些?通过什么技术手段来掌握像差?哪个像差最难掌握?答:两大类:几何像差〔球差、像散和畸变色差:入射波长的非单一性造成球差:不能消退,降低孔径角可以减小球差,但孔径角过小成像信号弱。像散:用消像散器添加修正磁场消退3、电子源波长是影响透射电镜区分率的主要因素吗?为什么?畸变:使用两个投影镜,使畸变相反相互抵消色差:稳定加速电压3、电子源波长是影响透射电镜区分率的主要因素吗?为什么?4、电镜的哪些参数掌握着成像区分率?答:不是;在磁透镜里对电镜区分率影响最大的是衍射效应和球差,这两者与孔径角关系较紧。当电子波长是光波的1/105左右,磁透镜的孔径角只是光学透镜的几百分之一。区分率10004、电镜的哪些参数掌握着成像区分率?5、消像散器的作用和原理是什么?答:样品平面高度、加速电压、透镜电流、波长和孔径角。5、消像散器的作用和原理是什么?6、电镜照明系统的作用是什么?应满足什么要求?电磁间的吸引和排斥来矫正椭圆磁场的。6、电镜照明系统的作用是什么?应满足什么要求?7、透射电镜中有哪些光阑,分别在什么位置?有什么作用?答:作用:为成像系统一个亮度达,照明孔径小,平行度好,束流稳定的照明光斑。要求:为满足明场合暗场成像的需要,照明束可在2-3°范围内倾斜。7、透射电镜中有哪些光阑,分别在什么位置?有什么作用?8、写出金属薄膜样品的制备步骤。陈诉金属薄膜样品可以在透射电镜下获得的信息。答、聚光镜光阑:装在其次聚光镜的下方;限制照明孔径角。物镜光阑:物镜的后焦面上;的位置;使电子束只能通过光阑孔的限定微区。8、写出金属薄膜样品的制备步骤。陈诉金属薄膜样品可以在透射电镜下获得的信息。答:步骤:123、终减薄9、用于透射电镜分析的薄膜样品的厚度要掌握在什么范围?电解双喷减薄和离子减薄各适合于什么样品的制备?系,缺陷组态和其他亚构造有关的信息9、用于透射电镜分析的薄膜样品的厚度要掌握在什么范围?电解双喷减薄和离子减薄各适合于什么样品的制备?100-200KV50-100nm150A,对于一般500nm减薄适合于陶瓷、复合物、半导体、金属和合金界面试样,甚至纤维和粉末试样的制备。四、电子衍射四、电子衍射1、说明单晶、多晶及非晶体衍射把戏的特征及形成原理把戏是由一系列不同半径的同心圆组成,非晶体衍射把戏则是只有一个散漫的度方向延长成杆状,电子束有肯定的发散度,这相当于倒易点阵不动而入射电4π多晶体的〔hkl〕镜面间距的倒数为半径的倒易球面,磁倒易球面与反射球面相X为产生衍射的必要条件。2、何为零层倒易截面和晶带定律?说明同一晶带中各晶面及其倒易矢量与晶2、何为零层倒易截面和晶带定律?说明同一晶带中各晶面及其倒易矢量与晶带轴之间的关系。说明零层倒易截面与单晶衍射斑点的关系。答:通过倒易原点的倒易平面,称此二维平面为零层倒易截面,用〔 uvw)*θHu+kv+lw=0衍射斑点。3、画出光路图,说明如何进展选区衍射来得到微小区域的电子衍射把戏。3、画出光路图,说明如何进展选区衍射来得到微小区域的电子衍射把戏。得到放大的衍射斑点,转到样品获得低指数晶带的斑点。五、透射电镜衬度原理五、透射电镜衬度原理1、什么是衍射衬度?与质厚衬度有何区分?成像根底上的成像原理,是解释非晶态样品电子显微图像衬度的理论依据。2、衍衬运动学的根本假设是什么?如何满足根本假设要求?3、3、什么是消光距离?影响消光距离的外界参数是什么?答:1〕承受双束近似处理方法,假定电子通过晶体时,只存在一束衍射束1其反射面接近布拉格位置,即偏离矢量s≠0。2〕衍射束强度比入射束小很多〔入射束波长较短和试样较薄〕3〕投射束与衍射束无相互作用〔s越大,厚度t越小。4〕电子束在晶体内部屡次反射及吸取可无视不计〔试样很薄,电子速度很快〕5〕承受柱体近似方法计算衍射强度。2、衍衬运动学的根本假设是什么?如何满足根本假设要求?3、3、什么是消光距离?影响消光距离的外界参数是什么?答:随着电子束沿晶粒内部的传播,入射束渐渐减弱,衍射束渐渐加强,到达A位置时,I和Io g荡周期即消光距离
在近体深度方向上周期性振荡,振六、电子探针与能谱分析六、电子探针与能谱分析1、电子探针仪与扫描电镜有何异同?能谱如何与扫描电镜协作进展微区化学成分分析?答:同:电子探针的电子显微系统与扫描电镜的电子光学局部根本一样,由电5-20kvXXX2.要分析钢的碳含量可以选用能谱吗?要分析钢中碳化物成分可选用能谱吗?2.要分析钢的碳含量可以选用能谱吗?要分析钢中碳化物成分可选用能谱吗?C分析钢中碳化物成分可选用能谱。33.从特征X30kv可以检测到铜元素的几个特征峰?考虑到能量区分率因素,进一步分析能频谱方法可能检测到几个特征峰。5;41.7KeV处消灭的峰是来自硅的还是来自钽的?答:首先找出高能量段的峰,依据处理条件分析可知为钽。检测出夹杂物成分吗?6.描述能谱定量分析时需要哪些校正。为了让定量分析数据牢靠最有效措施是什么?6.描述能谱定量分析时需要哪些校正。为了让定量分析数据牢靠最有效措施是什么?答:ZAFZ:原子序数修正。A:吸取修正。F:荧光校正修正。承受标样。样品预备:只限于固体样品,包括金属,陶瓷,矿物,生物;尺寸几乎没有限制:抛光态样品有利于定量测量准确性;合金样品最好不侵蚀样品,以防止其次相被腐蚀,防止产生腐蚀产物的污染。7.争论电子探针的区分率,即可以检测的最小尺寸范围。影响区分率的主要因7.争论电子探针的区分率,即可以检测的最小尺寸范围。影响区分率的主要因素有哪些?答:分析的最小区域不仅与电子束有关,更与特征X射线的激发范围有关,后者10.1X可以成衬度像,但不能真正做成分分析。七、高区分电镜七、高区分电镜1、抱负透镜的成像过程可以用线性函数描绘,为什么实际透镜不能同样描绘了?答:实际透镜存在球差,相干电子束干预得到相位衬度像,信息传递时非线性传递,记录图像的解释简单,反映的信息不具有直观性。2、解释阿贝成像原理。既然高频率电子衍射束影响着图像的质量,为何不能只收2、解释阿贝成像原理。既然高频率电子衍射束影响着图像的质量,为何不能只收集低角度的电子束?播,空间频率对应不同角度的色散波kxy=kx+ky,样品出射波图像由透镜调制后的各个子波合成得到。图像质量取决于收集到的波数和透镜对各个子波传递质品信息丧失。3.样品出射波经过傅里叶变换后,得到的结果是什么?3.样品出射波经过傅里叶变换后,得到的结果是什么?子束会聚在透镜后焦面上;其次次次傅里叶变换:衍射束子波合成得到图像。得到的结果数字表示是由一系列的正弦或者余弦函数表示的开放式。44.结合传递函数图像解释最欠佳条件为什么通常选在Scherzer’sfocus?答:传递函数表达式:T〔k〕=A〔k〕e„,为复变函数,每个子波的相位都被转变,产生sinxΔƒ=-1.2〔Cλ〕1/2sch S5.高区分电镜图像中显示的条文或者亮暗分布是否对应原子排列?为什么说得5.高区分电镜图像中显示的条文或者亮暗分布是否对应原子排列?为什么说得到的是晶格像,而不是原子像?C〔x,y〕Cx,y〕=2δv〔x,y,δ:相互作用常熟;vx,y〕v〔x,y〕z1 1 1方向的投影。上式说明,高区分率图像衬度和晶体的二维厚度投影电势v〔x,y〕z的一列原子在〔x,y〕6.高区分电镜分析时如何掌握用于成像的衍射束?如何得到一维晶格像?6.高区分电镜分析时如何掌握用于成像的衍射束?如何得到一维晶格像?答:当只有投影束和一个强衍射束参与成像时,两电子束干预得条纹像,当没有像是使电子束从某一组晶面产生反射而成像的。7.获得晶格条文像后是否可以从图像中解读原子排列和晶体构造?7.获得晶格条文像后是否可以从图像中解读原子排列和晶体构造?原子穿过样品存在简单的散射过程,出射波不能直观反映样品原子分布。8.要得到二维构造像,对样品有什么要求?8.要得到二维构造像,对样品有什么要求?方向;样品要求很薄,在scherzer’sfocus四周成像才可以看到。9.同样晶体构造的样品,为什么得到的晶格像随样品厚度变化很大?为什么会9.同样晶体构造的样品,为什么得到的晶格像随样
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