DB344812.5-2024固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业

ICS13.060.30CCSICS13.060.30CCSZ60安 徽 省 地 方 标 准DB34/4812.5—20245IntegratedemissionstandardofvolatileorganiccompoundsforstationarysourcesIntegratedemissionstandardofvolatileorganiccompoundsforstationarysources—Part5:Electronicindustry2024052220240801安徽省生态环境厅安徽省市场监督管理局发布.DB34/4812.5DB34/4812.5—2024DB34/4812.5DB34/4812.5—2024目 次前言 II引言 III1范引文件 1语定义 2组排控要求 5组排控要求 7业界控8染监要求 8一要求 8排筒8厂监测 9企边监测 9分测方法 9标定10施监督 11附录A（料）适的电工行范及子专材涵的要品范围 12附录B（范）等排气污物放率算方法 14参考献 15I前 言本文件按照GB/T本文件是DB34/4812《固定源挥发性有机物综合排放标准》的第5部分。DB34/4812已经发布了以下部分：——第1部分：涂料、油墨及胶粘剂工业；——第2部分：农药制造工业；——第3部分：有机化学品制造工业；456请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由安徽省生态环境厅提出并归口。本文件由安徽省人民政府2024年05月09日批准。II靖、邓毅强、林明月、杨雪瑞、吴蕾、秦志勇。本文件由安徽省人民政府2024年05月09日批准。II引 言1235656应按照相应要求执行。IIIDB34/4812.5DB34/4812.5—2024DB34/4812.5DB34/4812.5—2024固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业范围管理。（GB/T4754—2017国民经济行业分类GB/T8017石油产品蒸气压的测定雷德法GB14554恶臭污染物排放标准GB/T15516空气质量甲醛的测定乙酰丙酮分光光度法GB/T16157固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法GB18597危险废物贮存污染控制标准GB33372胶粘剂挥发性有机化合物限量GB37822挥发性有机物无组织排放控制标准GB38507油墨中可挥发性有机化合物含量的限值GB38508清洗剂挥发性有机化合物含量限值GB/T38597低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求HJ38固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定气相色谱法HJ/T55大气污染物无组织排放监测技术导则HJ/T373 （）HJ/T397固定源废气监测技术规范HJ583环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ584环境空气苯系物的测定活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法HJ604环境空气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定直接进样-气相色谱法HJ644环境空气挥发性有机物的测定吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法HJ683环境空气醛、酮类化合物的测定高效液相色谱法HJ732固定污染源废气挥发性有机物的采样气袋法HJ734固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ759环境空气65种挥发性有机物的测定罐采样/气相色谱-质谱法HJ801环境空气和废气酰胺类化合物的测定液相色谱法HJ819排污单位自行监测技术指南总则1HJ942排污许可证申请与核发技术规范总则HJ944排污单位环境管理台账及排污许可证执行报告技术规范总则（试行）HJ1006固定污染源废气挥发性卤代烃的测定气袋采样-气相色谱法HJ1031排污许可证申请与核发技术规范电子工业HJ1153固定污染源废气醛、酮类化合物的测定溶液吸收-高效液相色谱法HJ1154环境空气醛、酮类化合物的测定溶液吸收-高效液相色谱法HJ1253排污单位自行监测技术指南电子工业HJ1261固定污染源废气苯系物的测定气袋采样/直接进样-气相色谱法HJ1286固定污染源废气非甲烷总烃连续监测技术规范HJ1331器法HJ1332器法DB34/T310007设备泄漏挥发性有机物排放控制技术规范下列术语和定义适用于本文件。3.1固定源stationarysources排放大气污染物的固定设施或建（构）筑物。包括锅炉、工业炉窑以及生产或服务过程中排放废气的设施或建（构）筑物等。[来源：HJ/T397—2017,3.2,有修改]3.2电子工业electronicindustryGB/T4754—2017C39：GB39731—2020,3.1]3.3电子专用材料specialelectronicmaterialsGB/T4754—2017中C3985（（A。[来源：GB39731—2020,3.2,有修改]3.4印制电路板printedcircuitboard（PCB）在绝缘基材上，按预定设计形成印制元件、印制线路或两者结合的导电图形的印制电路或印制线路（highdensityinterconnector，HDI）[来源：GB39731—2020,3.4]23.5电子元件electronicunitGBT527中C8[来源：GB39731—2020,3.3,有修改]3.6半导体器件semiconductordeviceGB/T4754—2017中C3972半导体分立器件和C3973集成电路两大类产品，指利用半导体材料的特殊电特性制造，以实现特定功能的电子器件。[来源：GB39731—2020,3.5,有修改]3.7光电子器件photoelectroncomponentGB/T4754—2017中C3971电子真空器件制造、C3975半导体照明器件制造、C3976光电子器件制C3979（-（L件等。[来源：GB39731—2020,3.7,有修改]3.8显示器件displaydeviceGB/T4754—2017中C3974显示器件产品，指基于电子手段呈现信息供视觉感受的器件及模组，主[来源：GB39731—2020,3.6,有修改]3.9电子终端产品electronterminalsproductsGB/T4754—2017中C391C392C393C394雷达及C395C396C399（PCB）[来源：GB39731—2020,3.8,有修改]3.10挥发性有机物volatileorganiccompounds（VOCs）参与大气光化学反应的有机化合物，或者有关规定确定的有机化合物。在表征VOCs总体排放情况TVOC表示NMHC表示VOCs20于10101.325kPa大气压下沸点不高于250[来源：GB37822—2019,3.1,有修改]3.11非甲烷总烃non-methanehydrocarbons（NMHC）采用规定的监测方法，氢火焰离子化检测器有响应的除甲烷外的气态有机化合物的总和，以碳的质3量浓度计。[来源：GB37822—2019,3.3]3.12总挥发性有机物totalvolatileorganiccompounds（TVOCs）采用规定的监测方法，对废气中的单项VOCs物质进行测量，加和得到VOCs物质的总量，即单项VOCs90VOCsHJ734VOCsVOCs[来源：GB37822—2019,3.2,有修改]3.13无组织排放fugitiveemission大气污染物不经过排气筒的无规则排放，包括开放式作业场所逸散，以及通过缝隙、通风口、敞开（）：GB37822—2019,3.4]3.14VOCs物料VOCs-containingmaterialsVOCs质量占比大于等于10%的原辅材料、产品和废料（渣、液），以及有机聚合物原辅材料和废料（渣、液）。[来源：GB37822—2019,3.7,有修改]3.15挥发性有机液体volatileorganicliquid真实蒸气压大于等于0.3kPa的单一组分有机液体；或混合物中真实蒸气压大于等于0.3kPa的组分总质量占比大于等于20%的有机液体。[来源：GB37822—2019,3.8]3.16真实蒸气压truevaporpressure有机液体工作（储存）温度下的饱和蒸气压（绝对压力），或者有机混合物液体气化率为零时的蒸GB/T8017（（[来源：GB37822—2019,3.9]3.17蓄热燃烧装置regenerativethermaloxidizer（RTO）将工业有机废气进行燃烧净化处理，并利用蓄热体对待处理废气进行换热升温、对净化后排气进行换热降温的装置，由换向设备、蓄热室、燃烧室和控制系统等组成。[来源：HJ1093—2020,3.3]3.18标准状态standardstate温度为273.15K，压力为101.325kPa时的状态。本文件规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。[来源：GB16297—1996,3.1]3.19排气筒高度stackheight自排气筒（或其主体建筑构造）所在的地平面至排气筒出口计的高度，单位为m。4[来源：GB37822—2019,3.19]3.20企业边界enterpriseboundary企业或生产设施的法定边界。若难以确定法定边界，则指企业或生产设施的实际占地边界。[来源：GB37822—2019,3.20]3.21现有企业existingfacility本文件实施之日前环境影响评价文件通过审批或备案，以及已经投产运行的电子工业企业或生产设施。[来源：GB37822—2019,3.16,有修改]3.22新建企业newfacility本文件实施之日起环境影响评价文件通过审批或备案的新建、改（扩）建电子工业企业建设项目。[来源：GB37822—2019,3.17,有修改]1表1挥发性有机物基本污染物项目排放限值序号污染物项目半导体器件显示器件及光电子器件电子元件、电子专用材料、电子终端产品、印制电路板、其他电子工业a污染物排放监控位置放浓度mg/m3最高允许排放速率b,ckg/h最高允许排放浓度mg/m3最高允许排放速率bkg/h最高允许排放浓度mg/m3最高允许排放速率bkg/h1NMHC505.0505.0603.0排气筒2苯系物d252.5252.5401.63TVOCe605.0————a涉及印刷工序的VOCs排放执行本系列标准的第4部分印刷工业DB34/4812.4。b污染治理设施的去除效率≥90%视同最高允许排放速率达标，最高允许排放速率以等效排气筒排放速率计。c不适用于含12英寸40nm及以下工艺制程的集成电路制造项目或生产线。d包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯，其中三甲苯待国家或安徽省污染物监测分析方法标准发布后实施。e仅适用于集成电路制造企业。4.24.2企业根据使用的原辅材料、生产工艺过程、产品和副产品等，结合有关环境管理要求，筛选特征污染物项目，执行表2规定的排放限值。5表2 挥发有物征染项目放值序号污染物项目最高允许排放浓度，mg/m3污染物排放监控位置半导体器件显示器件及光电子器件印制电路板a电子专用材料a电子元件a电子终端产品a其他电子工业a1苯1111111车间或生产设施的排气筒2甲苯555101010103二甲苯——20202020204苯乙烯——20202020205甲醛5—555—56三氯乙烯——20202020207异丙醇404040404040408丙酮404040404040409二甲基甲酰胺——5050———a涉及印刷工序的VOCs排放执行本系列标准的第4部分印刷工业DB34/4812.4𝜂𝜂=𝜌𝜌处理前×𝑄𝑄处理前−𝜌𝜌处理后×𝑄𝑄处理后×100% (1)𝜌𝜌处理前×𝑄𝑄处理前式中：η——去除效率，%；——mg/m3；Q——m3/h；——mg/m3；Q——m3/h。NMHC2kg/h，NMHC80VOCsVOCsB/T857GB3372，GB38507GB38508中水基清洗剂或半水基清洗剂等。VOCs1物的排放应同时满足GB14554或地方相关排放标准的要求。设置回收或处理装置。VOCs（126VOCs（（2）3%（𝜌𝜌

=−𝑂𝑂基×

····································································(2)式中：

基 −𝑂𝑂实 实𝜌𝜌基——大气污染物基准排放浓度，mg/m3；O基——干烟气基准含氧量，%；O实——实测的干烟气含氧量，%；𝜌𝜌实——实测大气污染物排放浓度，mg/m3。VOCs（（RTO），以VOCs（VOCs（VOCs15）的相对高度关系应根据环境影响评价文件确定。B排放的，企业应及时向生态环境主管部门报告，并及时采取修复措施。HJ942、HJ944、HJ1103、HJ1116等要求建立台账，记录污染治理设施的主要运行信息，包括但不限于废气收集量和处理量、废气浓度、治理设施关键运行参数、运行时间等。台账保存期限不少于5年。VOCsVOCsVOCs2010Pa101.325kPa不高于250（）VOCsGB37822775%2000µmol/mol。GB37822VOCsDB34/T310007规定。VOCs还应满足GB18597的要求。VOCs3表3 厂内VOCs组排限值污染物项目最高允许排放浓度，mg/m3排放限值含义无组织排放监控位置NMHC6监控点处1h平均浓度值在厂房外设置监控点20监控点处任意一次浓度值1h4表4 企业界VOCs排限值序号污染物项目最高允许排放浓度，mg/m31苯0.12甲醛0.2HJ819HJ1031、HJ1253GB/T16157HJ1031HJ1253GB/T16157、HJ/T3978GB/T16157、HJ/T373、HJ/T397HJ7321h1h3～41h2～4）VOCs（1m，1.5m（）11.5mNMHC1hHJ604HJ1331HJ13321h1h3～4NMHCHJ1331、HJ1332HJ604HJ/T55VOCsHJ/T55VOCs1h1h3～45表5 大气染分方标准9序号污染物项目标准名称标准编号1非甲烷总烃（NMHC）固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定气相色谱法HJ38固定污染源废气非甲烷总烃连续监测技术规范HJ1286固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定便携式催化氧化-氢火焰离子化检测器法HJ1331固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定便携式气相色谱-氢火焰离子化检测器法HJ1332环境空气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定直接进样-气相色谱法HJ6042苯系物固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ734环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ583环境空气苯系物的测定活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法HJ584固定污染源废气苯系物的测定气袋采样/直接进样-气相色谱法HJ1261表5大气污染物分析方法标准（续）序号污染物项目标准名称标准编号3苯固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ734环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ583环境空气苯系物的测定活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法HJ584固定污染源废气苯系物的测定气袋采样/直接进样-气相色谱法HJ1261环境空气挥发性有机物的测定吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法HJ644环境空气65种挥发性有机物的测定罐采样/气相色谱-质谱法HJ7594甲苯固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ734环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ583环境空气苯系物的测定活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法HJ584固定污染源废气苯系物的测定气袋采样/直接进样-气相色谱法HJ12615二甲苯固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ734环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ583环境空气苯系物的测定活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法HJ584固定污染源废气苯系物的测定气袋采样/直接进样-气相色谱法HJ12616甲醛固定污染源废气醛、酮类化合物的测定溶液吸收-高效液相色谱法HJ1153空气质量甲醛的测定乙酰丙酮分光光度法GB/T15516环境空气醛、酮类化合物的测定高效液相色谱法HJ683环境空气醛、酮类化合物的测定溶液吸收-高效液相色谱法HJ11547N,N-二甲基酰胺环境空气和废气酰胺类化合物的测定液相色谱法HJ8018异丙醇固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法HJ7349三氯乙烯固定污染源废气 挥发性卤烃的测定气袋采样-气相色法HJ100610丙酮固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附／气相色谱-质谱法HJ734固定污染源废气醛、酮类合物的测定 溶液吸-高液相色谱法HJ11537.5.27.5.2本文件实施后国家和安徽省新发布的污染物监测方法标准，若适用性满足要求，同样适用于本文件相应污染物的测定。8达标判定要求1h1h4.4VOCs1h1h平均浓度值超过本文件规定的限值，判定为超标。1020250601排污许可证规定的内容与本文件规定不一致的，应在本文件规定生效的时效前更改排污许可证。VOCs文件要求，应及时向所属生态环境主管部门报告。1111附录A（资料性）适用的电子工业行业范围及电子专用材料涵盖的主要产品范围表A.1给出了本文件适用的电子工业行业范围的分类。表A.1本文件适用的电子工业行业范围的分类中类代码类别名称小类代码类别名称分类C391计算机制造C3911计算机整机制造电子终端产品制造C3912计算机零部件制造C3913计算机外围设备制造C3914工业控制计算机及系统制造C3915信息安全设备制造C3919其他计算机制造C392通信设备制造C3921通信系统设备制造C3922通信终端设备制造C393广播电视设备制造C3931广播电视节目制作及发射设备制造C3932广播电视接收设备制造C3933广播电视专用配件制造C3934专业音响设备制造C3939应用电视设备及其他广播电视设备制造C394雷达及配套设备制造C3940雷达及配套设备制造C395非专业视听设备制造C3951电视机制造C3952音响设备制造C3953影视录放设备制造C396智能消费设备制造C3961可穿戴智能设备制造C3962智能车载设备制造C3963智能无人飞行器制造C3964服务消费机器人制造C3969其他智能消费设备制造C397电子器件制造C3971电子真空器件制造光电子器件C3972半导体分立器件制造半导体器件C3973集成电路制造C3974显示器件制造显示器器件C3