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DB34DB34/T3442—2019超高真空不锈钢真空部件表面处理方法Surfacetreatmentmethodforultrahighvacuumstainlesssteelvacuumparts2019-11-04发布2019-12-04实施安徽省市场监督管理局发布I13.1.2清洗溶液应定期检测，根据检测数据及时调整其化学成分含量，并保持在3.3.2焊接件真空密封部分应采用密封焊，不允许有裂纹、漏焊、未焊透、气孔3.3.3真空部件加工后粗糙度不大于R3.3.5不锈钢真空部件在表面处理操作过程中，不应与不锈钢以外的材料接触。23.4.1不锈钢真空部件的真空度应满足10-5Pa~10-10Pa。3.5.4生产过程中产生的废水、废气以及不能再使用的化学清洗溶液应按环境保4.3.2对于体积、形状未超过清洗槽的不锈钢真空部件采用槽内浸泡方式，注意不锈钢真空部4.3.3对于体积、形状超过清洗槽的不锈钢真空部件采用槽内冲洗方式，注意不锈钢真空部件4.3.4浸泡与冲洗过程中应多次翻动不锈钢真空部件或搅拌汽油，使与真空部件表面接触溶液4.4.2对于不同体积与形状的不锈钢真空部件采用槽内浸泡方式，注意不锈钢真空部件放置的4.4.3浸泡过程中可以完全浸泡的不锈钢真空部件应多次翻动或搅拌酸洗液，加快酸洗过程。4.4.4当不锈钢真空部件表面氧化物、氧化皮成粉末（疏松）状，或用不锈钢丝刷等工具轻擦34.5.2电解抛光时，不锈钢真空部件内表面完全浸泡电解溶液内，避免内表面存在接触或未电4.5.3机械抛光后，不锈钢真空部件不应有沙纹和麻纹路，不应有毛坯面残留，不应残留过热4.6.1采用超声清洗槽碱性溶液槽内超声振动15min~20min。4.6.2对于不同体积与形状的不锈钢真空部件采用槽内浸泡超声振动方式，注意不锈钢真空部4.6.3不锈钢真空部件清洗温度为常温，超声功率10kW~32kW，超声频率20kHz~40kHz。4.8常温去离子水冲洗在水温80℃~100℃的去离子热水槽中进行烫洗，热水烫洗的时间为5min~10min。4.11.2对于形状简单，无隙缝的不锈钢真空部件采用无4.12验收44.14.2无法在槽内进行酸洗钝化的不锈钢真空部件，可采用符合CB/T在天然散射光线或无反射光的白色透射光下进行目视检验。光的照度应不低于300Lx（即相5硫酸H2SO4（98%)20%20℃~30℃盐酸HCl（38%)48%水32%50%水50%3％～5%水97％～95%50％～60%50℃~

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