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1JJF3CalibrationSpecification归口单位:北京市市场监督管理局起草单位:北京市计量检测科学研究院4I III 1 1 1 1 13.3轮廓台阶高度示值重复性 1 1 2 2 2 2 25.5轮廓台阶高度示值重复性 2 3 3 3 3 3 3 4 47.5轮廓台阶高度示值重复性 5 5 5 6 9本规范参照GB/T19600-200家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF13.3轮廓台阶高度示值重复性repeatabilityofcontourstepheightindication2(1)底座;(2)工作台;(3)测针;(4)基准导轨; 3序号校准用主要计12-6L345轮廓台阶高度示值重复性4法。将1mm、3mm和5mm量块按尺寸由小到大研合在平面平晶上,5(1)测量1mm、3mm和5mm量块研合在平面平晶上的倾斜放置;(3)测量20mm量块台阶高度的量块与量6仪示值重复性;在多个倾斜角度下进行测量,获得Li——轮廓台阶高度示值,mmLs——量块实际值,mm(1)轮廓仪在量块固定倾斜角度下测量重复性引起7(2)轮廓仪在量块倾斜位置不同而造成测量结果不同引入的位置标准不确定度分将量块倾斜放置多个倾斜角度进行测量,测量结果和量123校准方法里注明尽量在45±15°范围内进行测量,所以在位置标准不确定度计算8表A2考虑量块不同倾斜角度下的轮廓仪测量台阶高度的测量结果不标准不确定度(μm)u1(Li)u2(Li)u1(Ls)u2(Ls)u3(Ls)uc=√(A4)c
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