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01第一章第一节扫描电子显微镜第一章

扫描电子显微镜一、照明系统（电子光学系统）二、成像系统三、样品台四、真空系统五、稳压系统第一节扫描电子显微镜结构01第一章第一节扫描电子显微镜一、照明系统（电子光学系统）电子枪：提供稳定的电子照明源聚光镜（二级、有光栏）：束斑2μm物镜及偏转线圈：束斑 几十Å01第一章第一节扫描电子显微镜二、成像系统01第一章第一节扫描电子显微镜成像系统01第一章第一节扫描电子显微镜成像系统01第一章第一节扫描电子显微镜三、样品台01第一章第一节扫描电子显微镜四、真空系统

RP+DPRP：机械泵，10-2--10-3τDP：扩散泵（硅油），10-5τ

1τ=1mmHg01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜五、稳压系统10-401第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电子显微镜01第一章第一节扫描电

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