《金相分析基础》-课件：扫描电镜的操作

金相分析基础扫描电子显微镜的操作目

录扫描电子显微镜的原理扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的参数扫描电子显微镜的操作01030204显微镜的作用人肉眼的观察能力能分辨的最小距离只能达到0.2mm左右。显微镜：把微观形貌放大几十倍到几十万倍，以适应人眼的分辨能力。扫描电子显微镜⚫

扫描电子显微镜，简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(Scanning

Electron

Microscope)。⚫

它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。⚫

现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。电子束与固体的相互作用入射高压电子束背散射电子俄歇电子二次电子阴极荧光X射线样品吸收电子二次电子⚫

二次电子一般都是在表层5-10nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。⚫

它的产额与原子序数Z没有明显关系，不能进行成分分析背散射电子背散射电子的产额随原子序数Z的增加而增加I

2/

3~3/

4Z⚫

利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，还可以作为原子序数衬度，进行定性成分分析。X射线通过特征波长检测相应元素，进分分析-EDS，这就是我们俗称的EDSSEM的主要结构扫描电子显微镜的参数厂家型号：ThermoFisherScientific

Apreo2C分辨率：15kV时0.9

nm放大倍率：30～1,000,000倍电子束流：1pA

～50nA(400nA可选)，连续可调成像探头：SE，T1(BSE)，T2，DBS建设时间&价值：2022年12月，298万人民币扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：12观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.

1～100nm范围内。进行材料断口的分析。它显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析的判定是一个强有力的手段。直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察大试样，能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子象）。3扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：45观察厚试样。其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。观察试样的各个区域的细节。试样在样品室中可动的范围非常大。不规则形状试样的细节观察带来极大的方便。进行从高倍到低倍的连续观察。扫描电子显微镜的放大倍数范围很宽，这对进行事故分析特别方便。6扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：观察生物试样。扫描电镜以光栅状扫描方式照射试样，对观察一些生物试样特别重要。78进行动态观察。在样品室内装有相应附件时，则可以观察相变、断裂等动态的变化过程。从试样表面形貌获得多方面资料。扫描电子显微镜除了观察表面形貌外，还能进行成分和元素的分析。9应用领域由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。扫描电子显微镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。高分子材料的形貌观察高分子材料的形貌观察高分子材料的形貌观察高分子材料的形貌观察金属合金的形貌观察金属合金的形貌观察金属合金的形貌观察金属合金的形貌观察陶瓷的形貌观察陶瓷的形貌观察陶瓷的形貌观察石墨烯的形貌观察石墨烯的形貌观察石墨烯的形貌观察包裹材料的形貌观察包裹材料的形貌观察包裹材料的形貌观察生物样品的形貌观察生物样品的形貌观察生物样品的形貌观察头发的形