碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 编制说明

1定填补了国内SiC单晶抛光片堆垛层错测试技术领域的标准空白，有利于规范和统一根据《国家标准化管理委员会关于下达2024年第一批推荐性国家标准计划及相关国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提山东天岳先进科技股份有限公司，成立于2010年，主营业务是宽禁带半导体碳化化项目近40项，开展了4-8英寸碳化硅衬底生长过程中的基础理论研究，解决了缺陷2材料龙头企业，跻身国际碳化硅衬底领域第一梯队。公司获得了2014年山东省技术发峰“领跑者”企业；拥有核心专利500余项，并成为国家知识产权示范企业。32)考虑用户的当前使用要求及以后技术发展的仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度、2.5.1光源功率的稳定性会影响仪器对堆垛层错缺陷的信号采集，在图像分析时易42.5.3碳化硅单晶抛光片表面的抛光状态，如粗糙度过大，会对堆垛层错测试结果2.5.4碳化硅单晶抛光片表面的洁净状态，如严重的颗粒和表面沾污，会对堆垛层2.5.5仪器软件参数的设置，如面积阈值和灵敏度阈值，会影响堆垛层错数量及面在确保仪器稳定的前提下，根据实验室的实际情况，规定的测试条件为：温度：以上要求；仪器安装场地及附近应无强震动源，测试设备包括光源、光学接收器件、滤光器、CCD/PMT、模拟数字转换器、晶片气体放电灯如汞-氙气灯和规定发射波长的二极管激光器可以用作电子激发的典型例如，汞-氙气灯的313nm发射光源或二极管激光器根据PL光谱选择满足测试4H-SiC堆垛层错信号的滤光器。使用可通过波长范围为400nm~550nm或650nm以上的滤光器获得4H-SiC堆垛52)确保装载系统、PL光学系统、数据处理系统处于N2—格子总数；N—堆垛层错面积占比。63个测试单位巡回测试得到。单个测试单位重复性测试的相对标准偏差不大于15%，3个测试单位的再现性相对标准偏差不大于15%。具根据碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法的要求，编制组分别选取了3片单位均采用光致发光法测试堆垛层错，入射激光为紫外激光，接收层错的特征光谱为测试结果相对标准偏差单个测试单位重复测试7次）测试单位片号堆垛层错所占格子数量堆垛层错格子面积占比山东天岳80710910CNG41.76%1.83%广东天域0.98%0.99%安徽长飞0.92%0.94%多测试单位测试再现性5.47%5.46%山东天岳CN6N678107060.43%0.41%广东天域0.46%0.44%安徽长飞0.63%0.64%多测试单位测试再现性4.85%4.83%山东天岳CN6N678101051.11%1.12%7广东天域0.78%0.79%安徽长飞2.23%2.21%多测试单位测试再现性5.07%5.07%山东天岳D6901103CNE10.81%0.83%广东天域1.86%1.84%安徽长飞1.04%1.04%多测试单位测试再现性4.48%4.48%山东天岳17505606CNF53.08%3.00%广东天域2.06%2.03%安徽长飞1.08%0.95%多测试单位测试再现性5.22%5.24%山东天岳19805007CNG41.21%1.31%广东天域1.72%安徽长飞2.47%2.52%多测试单位测试再现性10.48%10.44%采用单个测试单位相对标准偏差的计算方法得到多个测试单位的再现性相对标准偏差，本标准为首次制定，国内外同类标准相比，标准法律、法规及国家