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文档简介
2.5电容传感器能将被测量转换成电容量的测量装置我们称其为电容传感器，它与电阻传感器和电感传感器相比，具有如下优点。(1)测量范围大，如：金属应变片低于1%，半导体应变片约20%，而(2)灵敏度高，电容值的灵敏度高，其相对变化量可达10-7。(3)动态响应时间短，电容传感器可动部分质量小，因而固有频率高，适于动态测量。(4)结构简单、适应性强，电容传感器用金属板作电极，用石英、陶瓷等无机材料作绝缘支承，因而可以耐高温和强辐射，在恶劣环境中亦可正常工作。2.5.1电容传感器工作原理
以电容器作为敏感元件的电容传感器，是将被测的非电量转换为电容量。根据平行板电容量的变化原理，当忽略极板间电场的边缘效应时，其电容量的计算式为：式中：2.5.1电容传感器工作原理
即电容量C的变化决定于参数S，d和，因而有3种基本类型的电容传感器。2.5.2变面积(S)型
改变两平行板电极间的有效面积(S)通常有两种方式，如图2.46所示，分别为角位移式和直线位移式，其工作原理及特性分述如下。（1）角位移式图2.46a)所示为一个角位移式变S型电容传感器，当动片1相对于定片2有一角位移时，两极板之间的有效面积发生相应变化，其表达式为2.5.2变面积(S)型——动极相对于定极旋转的角度，即角位移。式中a)角位移b)直线位移图2.46变S型电容传感器a)角位移；b)直线位移此时电容量与角位移成线性比例。其灵敏度2.5.2变面积(S)型显然仅与S/d有关，而与角位移无关
由以上分析可知，加大极板面积S可以提高灵敏度，但通常结构尺寸不允许
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