T-GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备

TGVSContinuousopticalmagnetronsputteringcoatinI 2 2 3 4 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有1连续式光学磁控溅射镀膜设备GB/T2680—2021建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通GB/T11164—2011真空镀膜设备通用技术GB/T13384机电产品包装通用技术GB/T18209.1机械电气安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求GB/T33051光学功能薄膜表面硬化薄膜硬化层厚度测定方法GB/T35076—2018机械安全生产设备安全GB/T38518柔性薄膜基体上涂层厚度的测量3.1连续式光学磁控溅射镀膜设备continuousopticalmagnetronsputteringcoatingequ将材料溅射到工件表面进而沉积形成具有一定光学性能薄膜的连续生产设备，常见有采用立式镀3.23.3包括了输送辊道动作、进出口真空室充放气和翻板阀3.424.2抽气系统4.3真空测量系统4,4镀膜系统4.5传动系统4,6控制系统a)进水温度：20℃~25℃;d)水质：不低于自来水标准，宜使用纯5.2压缩空气a)气体为洁净干燥空气；5.3温湿度a)设备主要分为上下料操作车间及主机区域，其中上下料操作车间温度应保持维持在体感舒适a)设备所需要用到的工作气体包括但不限于如氩气、氮气、氧气、乙炔等，气体纯度一般大于35.5供电电源5.6接地要求5.7设备运行环境a)设备主要分为上下料操作车间及主机区域，其中上下料操作车间应符6.2技术参数12），3），45），67最小生产节拍，s注：镀膜尺寸分档（mm）：320、370、550、680、730、1100、1500、1950、2200、2880、3000。所列镀膜6.3光学性能应能根据设计需求自动关闭或自动打开。遇突然停电时，阀门应能自动46.4.4控制柜应加装有报警灯，可实时反映设备状6.4.5设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地要求应符合GB/T3797—2016中6.9规定。6.4.7操作中突然断电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。7.2技术参数试验条件按GB/T11164—2011中5.2之后，打开真空室15min，再关闭真空室，对其再度抽气至5.0×10-3Pa压力值所需的达到系统可设定的最大速度前出现故障，则最大机械传动速度为应不小于100mm，保证同一直线上取点数量不少于5点（若样品尺寸过小，则根据样品实际尺寸等距取层厚度d1和最小膜层厚度d2，镀膜厚度均匀性由式（1）5Ad——膜层厚度均匀性；d1——所有测试点位所测范围内最大膜层厚度，单位为nm。Ad——膜层厚度均匀性；d2——所有测试点位所测范围内最小膜层厚度，单位为nm。a）大气状态下的输送辊道及门阀的传动速度已经调试到系统内Av——传动速度稳定性；v1——线速度计测量值，单位为m/s。a）大气状态下的输送辊道及门阀的机械节拍已经调试到最7.3安全防护机械安全生产设备安全按GB/T35076—2018规定进行，电气安全按GB/T522668.2每台设备应经制造厂检验部门检验合格后方9标志、包装、运输和贮存9.1.1每台设备及其附属装置应在明显位置装上产品标牌，标牌应符合GB/T13306的规定，产品标牌b)设备型号及名称；a)产品质量合格证；9.2.1设备包装前应对未做防锈处理的金属表面涂以防锈油脂。对整机包装的设备包装前镀膜室应抽成真空状态并关闭所有阀门。装箱前应将设备中的残余积水或废屑清9.3运输设备的运输方式和运输中所采取的措施应保证设备及其包装不发生损伤；设备在运输中有可能松散的零部件应有防松、垫、托等措施；运