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文档简介

(污染影响类)项目名称:年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、清洗半导体零部件10万套建设单位(盖章):无锡星润电子科技有限公司建设项目名称年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、项目代码建设单位联系人建设地点江苏省无锡市新吴区新洲路15号(120度23分42.699秒,31度30分52.654秒)国民经济行业类别专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工建设项目行业类别35-70电子和电工机械专用设备制造356其他(仅分割、剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外);三十、金属制品业33金属表面处理及热处理加工其他(年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外)建设性质☑新建(迁建)口改建口扩建口技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目口不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目口重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)新吴区行政审批局备案)文号(选填)锡新行审投备[2024]287号总投资(万元)环保投资(万元)环保投资占比(%)施工工期6个月是否开工建设口是:用地面积(m²)3250(租赁厂房面积)专项设置情况要求,专项评价设置情况判定详见表1-1。价类别设置原则大气内有环境空气保护目标的建设项目不涉及有毒有害物质无中处理厂一起接管新城水处理厂无环境风临界量的建设项目临界量无生态的新增河道取水的污染类建设项目不涉及无海洋不涉及无综上所述,本项目无需设置专项评价。规划情况规划名称:《无锡新区高新区A区控制性详细规划A南一光伏管理单元动态更新》;审批机关:无锡市人民政府;审批文件名称及文号:《市政府关于无锡新区高新区A区控制性详细规划A南一光伏管理单元动态更新的批复》(锡政复[2024]9号规划影响情况规划环境影响评价名称:《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书》;召集审查机关:江苏省生态环境厅;发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书的审查意见》(苏环审〔2024)规划划环境影响评分析(1)产业定位相符性根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)》及规划环评,高新区分为A、B、C三个片区,其中(2)用地规划相符性项目所在地位于无锡市新吴区新洲路15号,根据《市政府关于无锡新区高新区A区控制性详细规划A南一光伏管理单元动态更新的批复》(锡政复[2024]9号),项目所在区域用地性质为“工业用地”;本项目的建设亦符合《无锡市新吴区国土空间规划近期实施方案》、《无锡市年本)》、《江苏省限制用地项目目录(2013年本)》本项目与《省生态环境厅关于无锡国家高新技术划(2022-2035年)环境影响报告书的审查意见》(苏环审〔2024)9号〕相表1-2本项目与规划环评审查意见相符性1约、绿色低碳发展,以生态保护和环境质量持续改善为目标,做好与国土空间总体规划和生态环境分区管结构和发展规模,降低区域环境风险,协同推进生态2片部分区域邻近居民区企业退出进程,诺翔新材料、闭退出,减缓区内工居混杂矛盾。强化工业企业退出企业卫生防护距离要求,企业卫生防护距离内不得规生态环境保护、人居环境安全相协调。本项目距离科技学院980m,距离新洲花园1.8km,项目卫生防护3落实国家和江苏省关于大气、水、土壤、噪声污染防治、区域生态环境分区管控、工业园区(集中区)污染物排放限值限量管理相关要求,建立以环境质量为核心的污染物总量控制管理体系实施主要污染物排放浓度和总量"双管控"。2025年,高新区环境空气细颗粒物(PM₂.5)年均浓度应达到25微克/立方米;纳污水体周泾浜、梅花港应稳定达到IV类水质标准,京杭运河(京杭运河)稳定达到Ⅲ类水质标准。染防治措施,废气经处理后达标排放,纯水制备浓水、生活污理厂,碱洗废水和清系统处理后回用;酸4境准入要求,严格限制与主导产业不相关且排污负荷大的项目入区,执行最严格的废水、废气排放控制要设,落实精细化管控要求,有效防治集成电路、智能装备等产业的酸雾、异味污染。引进项目的生产工艺设备,以及单位产品水耗、能耗、污染物排放和资源1#污水处理系统处理后回用;酸洗废水、理系统处理后回用,后达标排放,对周围环境影响较小5企业继续推广危废“智能桶”,提升园区危废监管智处理厂,一般固废外卖给废品回收单位,危险废物委托有资质由环卫部门定期清运6化物自动监控系统并联网。洗废水、喷淋废水)“1#污水处理系统”处理后回用于生产,不外排,企业将按照要求定期委托有资质单位进行自行监测7"小事故不出厂区、大事故不出园区"。加强环境应本项目建成后,将按照要求编制环境风险高新区应设立专门的环保管理机构并配备足够的专本项目建成后,将按照要求定期委托有资质单位进行自行监测江苏省自然资源厅的复函(苏自然资函〔2021〕52方案。按照无锡市政府统一部署,《无锡市新吴区国土空间总体规划(2021-2035年)》正在开展成果编制工作,其中“三区三线”划定成果已获批正式启用,经与“三区三线”划定成果叠图分析,本项目位于城镇开发边界内,不涉及永久基本农田、生态保护红线。综上所述,本项目与《无锡市新吴区国土空间规划近期实施方案》、《无锡市新吴区国土空间总体规划(2021-2035年)》中“三区三线”相协调,本项目与新吴区“三区三线”划定成果叠图详见附图7。本项目与《无锡市新吴区国土空间规划近期实施方案》相符性分析见下表。1建设管制区新吴区近期实施方案允许建设区面积15574.0973公顷,有条件建设区面积652.0953公顷,限制建设区面积为5774.4174公顷。土地利用总体规划图进行2划定成果的衔接(1)与生态保护红线规划衔接新吴区调整后生态保护红线总面积321.2572公110.0757公顷。鸿湿地自然公园范围内3(2)与永久基本农田衔接本次近期实施条控制线”本农田及永久基本农田试划方案。经与永久基本农田范围图基本农田范围内4(3)与城镇开发边界试划方案相衔接界内新增城镇建设用地208个地块,面积为127.8215公顷。经与城镇开发边界范围图城镇开发边界内其他符合(1)生态保护红线本项目位于无锡市新吴区新洲路15号,不在《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》(苏政发〔2018)74号〕中规划的生态红线范围之内,不在《省政府关于印发江苏省生态空间管控区域规划的通知》(苏政发[2020]1号)中规划范围之内。与本项目最近的生态红线为西南侧6.0km的贡湖锡东饮用水水源保护区,与本项目最近的生态空间管控区为西南侧5.6km的太湖(无锡市区)重要保护区,详细位置关系见下表和附图空间范围面积(平方公里)与本项目位置关系国家级贡湖锡东饮用水水护区水源水质保护一级保护区外、外延2500米范围的水域和南的陆域//太湖 (无锡市区)重要保护区生态系统保护/半山和燕山山体及东山山体,雪浪山山体/根据《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新于新吴区新洲路15号,属于太湖流域;经对照,本项目符合江苏省重点区域(流域)生态环境分区管控要求。表1-5江苏省重点区域生态环境分区管控要求空间布局约束三级保护区,本项目产生的纯水制备浓洗废水和清洗废水(含氮生产废水)经1#污水处理系统处理后回用;酸洗废水、喷淋废水(含氮、氟处理系统处理后回控本项目产生的纯水制备浓水、生活污水一废水经1#污水处理系统处理后回用;酸洗污水处理系统处理后回用,不外排防控系统处理后回用;酸后回用,不外排;危险废物均委托有资质资源利用效率1397.29吨/年,不突本项目不涉及(2)环境质量底线大气环境:项目所在地大气环境为环境空气质锡市生态环境状况公报》(2023年度),无锡市空气质量不达标,超标污染物为臭氧。为改善无锡市环境空气质量情况,无锡市市政府印发《无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025)》,根据《无锡市大气环境质量限期达标规划》分析内容,通过采取调整产业结构、推进工业领域放、调整能源结构,控制煤炭消费总量、加强交通行业大气污染防治、严格控制扬尘污染、加强服务业和生活污染防治等措施后,无锡市环境空气质量预计2025年可实现全面达标;根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书》中无锡市新吴区环境监测中心2022年6月出具的监测报告(GS2206001038P1),氟化物能满足《环境空气质量标准》地表水环境:根据《无锡市生态环境状况公报》(2023年度),2023年,全市地表水环境质量持续改善,国省考断面优Ⅲ比例达到100%,太湖湖心区首次达到Ⅲ类;国省考核断面、通江支流和出入湖河流全面消除劣V类;连续16年实现安全度夏。全市6个“十四五”地下水环境率83.3%。本项目废水经新城水处理厂处理后尾水排入京杭运河,根据《江苏省地表水(环境)功能区划(2021-2030年)》,京杭运河2类。根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(202响报告书》中无锡市新吴区环境监测中心2022年6月出具的监测报告(GS2201001019P1),纳污水体京杭运河各污染物因子均能达到相应水环境质声环境:根据《无锡市生态环境状况公报》(2023年度),2023年无锡市区环境噪声昼间平均等效声级为57.1dB(A)。全市昼间区域环境噪声声源主要为社会生活噪声(占比53.9%)、交通噪声(32.8%)、工业噪声(9.6%)、建筑施工噪声(3.7%)。本项目位于声环境3类功能区,项目所在地声环境质量符合《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准要求。突破项目所在地环境质量底线。因此项目的建设符合环境(3)资源利用上线本项目用水来源为市政自来水,项目用电由市政电网供电。项目主要从事半导体设备零部件加工以及半导体设备零部件和半导体零部件清洗的生产,物耗及能耗水平均较低,选用了高效、先进的设备,提高了生产效率,减少了产品的损耗率,减少了原料的用量和废料的产生量。综上所述,本项目的建设符(4)环境准入负面清单项目位于新吴区新洲路15号,根据《省生态环境厅关于无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书的审查意见》(苏环审[2024]9号)附件2,本项目与无锡国家高新技术产业开发区生态环境准入清单相符性分析见下表:表1-6项目与无锡国家高新技术产业开发区生态环境准入清单相符性分析例》等国家、地方法律法规、产业政策相冲《江苏省太湖水污染防治条例》禁止和淘汰类项目点企业、为高新区内集成电路产业等配套建设的工业气体生产项目除外)。本项目属于C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属于禁止引进项目禁止建设生产和使用高VOCs含量的涂料、本项目原辅料使用不涉及涂料、油墨、胶粘剂本项目不属于电镀加工项目园区铅、汞、铬、砷、镉重金属排放总量原型、主导型等产业确需增加的,需在只考虑放强度和排放浓度)。本项目含氟废水(酸洗废水、喷淋废水)经2#污水处理系高新A区严格涉酸雾排放项目准入。遏制建材、钢铁等"两高"项目盲目发展。空间布局约束年本)》禁止、限值用地项目高新区内建设项目需严格落实卫生、环境防感点的企业或项目,并加强绿化离带建设,结合500m范围以及卫生防护距离内无敏感点污染物控高新区外京杭运河望亭上游断面、伯渎港承类。//对于国家排放标准中已规定大气污染物特别放限值。1/项目废气排放总量在新吴区大气污染物:近期:废气污染物:颗粒物359.477吨/年、二氧化235.651吨/年、氮氧硫235.616吨/年、氮氧化物1009.96吨/年、VOCs1134.287吨/年。水污染物:水量5276.086万吨/年、COD1173.13吨/年、COD1087.301吨/年、氨氨55.9氮270.297吨/年、总磷8.182吨/年。1/险防控源动态数据库,加强对潜在风险源的管理,对易引发突发性环境污染事故的场所安装相应的监测和预警装置,实现快速应急响应。1/建立突发水污染事件应急防范体系,完善园//生产、使用、储存危险化学品或其他存在环境风险的企业事业单位,应当采取风险防范措施,并按要求编制环境风险应急预案。实环境风险防范措施资源开发利用园区单位工业增加值新鲜水耗≤6立方米/万元。能耗0.015吨标煤/万元括:(1)除单台出力大于等于20蒸吨/小时锅本项目不涉及引进项目的生产工艺、设备,以及单位产品水耗、能耗、污染物排放和资源利用效率等应达到同行业国际先进水平。进本项目不涉及综上,本项目与无锡国家高新技术产业开发区生态环境准入负根据无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案,新技术产业开发区,属于重点管控区;经对照,本项表1-7生态环境准入清单相符性分析类型无锡国家高新区园区空间布局约束(1)高新区A区禁止新建排放硫酸雾、盐(4)禁止引进纯电镀加工类项目;禁止建(5)禁止新增化工项目。(6)限制高毒农药项目。(7)禁止引进不符合所在工业园区产业定(8)禁止建设环境污染严重、污染物排放本项目属于C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工,酸洗使用原料为硝酸以及氢氟酸,不涉及硫酸雾、盐酸雾止引进的产业及项目控续改善水排放总量在新城(2)园区污染物排放总量不得突破环评报告及批复的总量防控公司建立环境安全管理机构,配置专职管理人员,制定并落实环境风险防范措施资源(1)用水总量不高于5144万吨/年。工业1397.29吨/年,不突效率用地总量不高于26.57平方公里。本项目不新增用地,租赁出租方现有厂房(3)单位工业增加值综合能耗0.376吨标煤/万元。本项目单位工业增加值综合能耗0.015吨标煤/万元本项目产品属于《国民经济行业分类标准(2017年本)》中的C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工对照情况见下表。1本项目不属于其中的鼓励类、淘汰类和限制类项目2本项目不属于禁止准入和许可准入项目3录》(2018年本)本项目不属于限制、淘汰和禁止类项目4本项目不涉及5本项目不涉及6本)》(锡政办发〔2013〕54号)7本项目不属于限制、淘汰和禁止类项目8录(2024年本)》(苏发改规发[2024]3号)本项目不属于限制、淘汰和禁止类项目根据《太湖流域管理条例》第二十八条:排污单位过经核定的水污染物排放总量,并应当按照规定设置便于检查、采样的规范化排污口,悬挂标志牌;不得私设暗管或者采取其他规避监管的方式排放水污染禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放有的生产项目不能实现达标排放的,应当依法关在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清洁生产要求,现有的企业尚未达到清洁生产要求的,应当按照清洁生产规划要求进行民政府应当加强监督检查。第二十九条:新孟河、望虞河以外的其他主要入上溯至5万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范围内,禁止下列行为:第三十条:太湖岸线内和岸线周边5000米范围内,淀山湖岸线内和岸线周边2000米范围内,太浦河、新孟河、望虞河岸线内和岸线两侧各1000米范围内,其他主要入太湖河道自河口上溯至1万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范围内,禁止下列行为:(一)设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设高尔夫球场;(四)新建、扩建畜禽养殖场;(五)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目。对照分析结果:本项目位于新吴区新洲路15号,距太湖岸线5.6km。项目为C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工,不属目类型;项目与纯水制备浓水、生活污水一起接管新城水处理厂,碱洗废水、清洗废水经1#污水处理系统处理后回用于生产,酸洗废水、喷淋废水(含氮、氟生产废水)经2#污水处理系统处理后回用于生产,不外排。厂区内设置便于检查、采样的规范化排污口,悬挂标志牌,不私设排污口。因此,本项目符合根据《江苏省太湖水污染防治条例》(2021年修湖流域一、二、三级保护区内禁止下列行为:(一)新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目,城镇污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除外;(二)销售、使用含磷洗涤用品;(三)向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、有毒有害污染物的车辆、船舶和容器等;(五)使用农药等有毒物毒杀水生生物;(六)向水体直接排放人畜粪便、倾倒垃圾;(法开山采石,或者进行破坏林木、植被、水生生物的活动;(九)法律、法规禁止的其他行为。碱洗废水、清洗废水(含氮生产废水)经1#污水处理系统处理后回用于生产,酸洗废水、喷淋废水(含氮、氟生产废水)经2#污水处理系统处理后回用于生产,不外排。因此,项目建设符合《江苏省太湖水污染防订)的要求。根据《无锡市水环境保护条例》(2021年修订版)中的相关要求,第十四条:实行化学需氧量、氨氮、总磷、总氮等重点水污染物排放总量控制制度。点水污染物排放总量控制指标。第二十四条:工业废水、生活污水应当实行集达到规定标准后方可排入污水管网。碱洗废水、清洗废水(含氮生产废水)经1#污水处理系统处理后回用于生产,酸洗废水、喷淋废水(含氮、氟生产废水)经2#污水处理系统处理后回用于生产,不外排。项目自身不设置直接排污口,水污染物最终的排放总量纳入无锡市高新水务有限公司新城水处理厂的指标范围内。因此本项目的建设满足《无锡市水环境保护条例》(2021修订版)的要1过江通道规划》的过长江通道项目。2源保护无关的项目。3范围内、不在饮用水水源一级保护区的岸线产种质资源保护区的45和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的江流域河湖岸线6口7禁止在“一江一口两湖七河”和332个水生生物保护本项目不涉及8建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库,以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。本项目不涉及9本项目位于园区内,不属于高污染项目本项目不涉及禁止新建扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后排放项目(5)与《<长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)>江苏省实施河段利用与岸线开发1不涉及2区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜本项目不在自景名胜区3用水水源保护对水体污染严重的投资建设项目,改建项目应当消减排污区4严格执行《水产种质资源保护区管理暂行办法》家级和省级水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建不符合主体功能定位的投资建设项目。水产种质资源保护的岸线和河段范围5保留区内6不涉及区域活动7它禁渔水域开展生产性捕捞。不涉及8(即水利部门河道管理范围边界)向陆域纵深一公里执行。不涉及9不涉及本项目属于制造、C3360金属表面处理及止类项目不涉及不涉及长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)>江苏省禁止在取消化工定位的园区(集中区)内新不涉及不涉及产业发展吴区新洲路15号,属于C3562半导体器件专禁止建设类项目药原药(化学合成类)项目,禁止新建、扩建不符合国家和本项目与挥发性有机物污染防治相关文件相符性分析如下:本项目相符性《江苏省重点行业控制指南》(苏环办〔2014〕128号)生产单元或设施进行密闭,从源头控制VOCs的产生,减少废气污染物排放;(二)有机化工、医药化工、面涂装、包装印刷业的VOCs总收集、净化处理率均用密闭桶装GM-0110B碱性不锈钢环保型清洗剂18g/L,满足发性有机化合物含量限值》(GB擦拭过程以及碱洗工序办法》(江苏省人民政府第119号令)第二十一条产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中进行。生产场相符印发江苏省大气污染防治行动计划实施方案的通知》(苏政发(2014)1号)限值标准。新建排放二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、相符《重点行业挥发性53号)(包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs加强设备与场所密闭管理。含VOCs物料应储存于密等。含VOCs物料转移和输送,应采用密闭管道或密闭容器、罐车等性炭吸附装21米高排气效率90%,处理效率90%;废气治理设施产生的危险废物废活棉委托有资本项目不涉及涂料、油使用。相符案的通知》(苏大气办〔2020〕2号)(四)深化改造治污设施业合理选择治理技术,提高VOCs治理效率。组织专家对重点企业VOCs治理设施效果开展评估,对设施相符年挥发性有机物治理攻坚方案>的通33号)一、大力推进源头替代,有效减少VOCs产生。严格落实国家和地方产品VOCs含量限值标准。大力实标准要求,强化无组织排放控制相符挥发性有机物清洁 案》的通知(苏大气办〔2021〕2号〕替代工作方案>的通知》相关要求,(一)明确替代件1)等行业为重点,分阶段推进3130家企业清洁原有机化合物含量涂料产品技术要求》(GB/T涂料产品;符合《油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值》(GB38507-2020)规定的水性油墨和能相符相符《无锡市2020年挥发性有机物专项治理工作方案》(锡大气办〔2020〕3(二)大力推进源头替代各市(县)、区要结合实际,加快化工、工业涂装、(三)有效控制无组织排放各市(县)、区要组织管理、执法及企业人员宣备与管线组件以及敞开液面等无组织排放环(四)深化改造治污设施各市(县)、区要加大对企业治污设施的分类指导,鼓励企业合理选择治理技术,提高VOCs治理效仍不达标准的,依法予以关停。VOCs排放量大于等《挥发性有机物无液态VOCs物料应储存于密闭容器中,采用密闭管道输送或高位槽(罐)等给料方式投加、卸放,无法密闭投加的,应在密闭空间内操作;VOCs质量占比大于10%的产品使用过程应用密闭设备或在密闭空间操作,废气应排至收集处理系统;VOCs前进行监测并执行相应的排放控制要求相符(7)与《省生态环境厅关于深入开展涉VOCs治理重点工作核查的通知》本项目建设与《省生态环境厅关于深入开展涉VOCs治理重点工作核查的通知》(苏环办[2022]218号)相符性分析见下表。本项目1置醒目位置,内容应包含环保产品名称、方式、活性炭碘值、比表面积等内容本项目活性炭吸附装置后牌2数、耗材消耗(采购量、使用量、装填量、企业做好相应的台账记录更换量和更换时间、处置记录等)及能源消耗(电耗)等3组织企业登录江苏省污染源“一企一档”项目建成后录入江苏省污染源“一企一档”系统4新建企业一律不得采用单一低温等离子、高效治理工艺进行改造,各地根据实际情况确定各企业改造时间,最长不超过3个月“过滤棉+二级活性炭吸附装置”5分别低于1mg/m³和40℃,若颗粒物含量超过1mg/m³时,应先采用过滤或洗涤等过程不产生颗粒物,过滤的水汽,温度低于40℃6颗粒活性炭碘吸附值≥800mg/g,比表面积≥850m²/g;蜂窝活性炭横向抗压强度应不低于0.9MPa,纵向强度应不低于0.4MPa,碘吸附值≥650mg/g,比表面积≥750m²/g炭,活性炭碘值为800mg/g,比表面积7量的5倍,即1吨VOCs产生量,需5吨活性炭用于吸附。活性炭更换周期一般不应超过累计运行500小时或3个月于VOCs产生量的5倍;更换周期为37天(8)与《关于在环境审批阶段开展“源头管控行动”的工作意见》(锡环办〔2021〕142号)相符性分析本项目建设与《关于在环境审批阶段开展“源头管控行动”的工作意见》(锡环办〔2021〕142号〕相符性分析见下表。生产环境四替代用国际国内先进工艺、装备、低挥发水性溶剂等环境友好型原材料、先进高效的污染治理设施替染治理措施。从场址选取、厂区布局、厂房设计、设备选型织排放、初期雨水收集、环境风险防范等问题。生产工艺选用的各种涂料、厂房建筑用涂料、符合《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》(GBT38597-2020)标准的产品。对“两高”项目(当前按煤电、石化、化工、钢铁、有色、建材界定)要严格环境准入,满足总量控制、碳化峰碳项目使用先进设备,工艺先进;不涉及高挥发性原利用规划相符;项目为C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工,不涉及涂装等工序,不属于煤电、石化、化中和目标、生态环境准入清单、规划环评及行业建设环境准入条件工、钢铁、有色、建材等"两高"项目中水回收新建、改建项目的中水回用水平必须高于行业平均水平,达到国内先进水平以上。战略性新兴产业,不得新增含磷、氮的生产废水。回用率。冷却水强排水、反渗透(RO)尾水等“清净下强化生产过程中的物料回收利用,鼓励有条件的挥发性有机物排放企业(如印刷、包装类企业)强化固体废物源头减量和综合利用,配套的回收利用设施必须达到主生产装置同样的设计水平单位理达标后的尾水排入京杭运河;项目不属于印刷、包装等企业;中收集外售,危险废物均委托有资设施提高提高效率项目审批阶段必须征求水、气、固体等要素部门意见,审核项目污染防治措施是否已达到目前上级要求的最先进水平,未达最严标准、最新要求的一律不得审批。要按照所属行业的《排污许可证申请与核发技术规范》要求,选择采用可行性技术,提高治污设施的标准和要求,对于未采用污染防治可行技术的项目不予受理;鼓励采用具备应用案例或中试数据等条件的新型污染防治技术。对挥发性有机物要有效收集、提高效率、鼓励采用吸附、吸收、生物净化、催化燃烧、蓄热燃烧等多要求。对无组织排放点多、难以有效收集的情况,行全收集和治理。对涉水、涉气重点项目,必须要求安装用电工况和自动在线监控设备设施并联网。新建天然气锅炉必须采用低氮燃耗技术,工业炉窑达到深度治理要求浓水、生活污水一位进行处置。项目生产过程产生的滤棉+二级活性炭吸附装置”处理后由21米高排气筒(9)与《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案》(2023—2025年)相符本项目建设与《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案》(2023—2025年)1管理、区域环境质量联动的“三挂钩”机制,新建涉氟企业原则上不得设置入河入海排污口,应进入具备产业定位的后回用于生产,不外排。2门应将氟化物削减和控制作为清洁生产的重要内容,完善清洁生产标准体系,全面推行清洁生产审核,鼓励氢氟酸清洗原料替代及含氟废酸资源化利用等有利于氟化物削减和控制的工艺技术和防控措施。属地生态环境部门应综合考虑区域环境质量、涉氟重点行业发展规划及现状,提出涉氟重点企业强制性清洁生产审核名单并报省生态环境厅核定。各级生态环境部门要加强监督检查,对不实施强制性清洁生产审核、在清洁生产审核中弄虚作假、不报告或者不如实报告清洁生产审核结果的企业,责令限期改正,理后回用于生产,不外排,处理工艺为除氟-蒸发浓缩-3严格规范整治。在排查过程中,要重点关注企业是否存在无证排污、偷排直排、稀释排放、超标排放、设施不正常运行,雨污(清污)不分、雨水(清下水)超标及违规接管、私设排污口等问题,必要时采取“氟平衡核算”等方式,验证企业治理设施去除效率,核实企业氟化物流向。对排查发展分类整治,对能够连续稳定达标但环境管督促规范管理:对不能稳定达标但基础条件较好且经整治能够实现稳定达标排放的,责令提升改造;对超标严重、治理无望的,要依法实施关停取缔或关停涉氟工段。到后回用于生产,不外排。本项目废水处理站处理工艺为除氟-蒸发浓缩结晶。4推进含氟废水与生活污水分类收集、分质处理。含氟废水不得接入城镇污水处理设施,现有企业镇污水集中收集处理设施的须组织排查评估,认入的限期退出,认定可以接入的须经预处理达标水、喷淋塔废水经单独管道行处理后回用于酸洗。5强化排污许可。完善申报及核发要求,将氟化物纳入总量许可范围。结合排污许可管理有关要求,督促企业依法申染控制标准要求及采取的污染控制措施。后回用于生6化物排放浓度和总量“双控”。积极推进涉氟污水处理厂及物自动监控系统,并与省、市生态环境大数据平台联网,实时监控。强化对重点时期、重点区域、重点断面的加密7的思路,鼓励各地依据涉氟企业分布情况,针对电子、光伏、硅产业等涉氟中小微企业,建设含氟工业废水处理的89研究,提升创新能力。有关科技发展计划应将预防、减少和控制氟化物产生的替代工艺、替代技术、资源综合利用技术,以及过程优化、尾水净化技术和设备等列为重点,加大低成本、高效率治理工艺的研发力度,推动科技成果转移转化。建设内容无锡星润电子科技有限公司成立于2013年1月。位于新吴区城南路808C栋五层,主要进行半导体设备零部件的生产,产能为5万套/年,生产工艺为:加工-清洗(委外)-组装,根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版),现有项目无需进行环境影响评价。根据企业发展需要,拟投资3000万元,租赁江苏汇鸿国际集团中天控股有限公司位于无锡市新吴区新洲路15号的空置厂房,进行“年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、清洗半导体零部件10万套”建设,项目建成后形成年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、清洗半导体零部件10万套的生产能力。原位于新吴区城南路808C栋五层的厂房不再生产,厂房内部分设备搬迁至新租赁厂房,本项目租赁厂房面积3250m²,职工10人,1班制(12小时)生产,年工作300天,不设食堂与宿用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外);三十、金属制品业33金属表面处理及热处理加工其他(年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外),需编制环境影响报告表,因此,无锡星润电子科技有限公司委托江苏腾嘉生态环境科技有限公司开展此项工作。本项目所涉及的(辐射)、安全、消防、卫生、土地等问题不属于本评价的范围,请公司按照国家相关法律、法规和有关标准执行。本项目租赁江苏汇鸿国际集团中天控股有限公司15号6号厂房(东半侧)1~3层,一层主要进行机加工生产,二层主要进行喷砂、酸洗碱洗以及部分产品检验,三层主要进行产品检验,建成后形成年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、清洗半导体零部件10万套表2-1建设项目主要产品及产能情况一览表厂区数(h)1新吴区15号生产工艺线半导体设备零部件10万套/a本项目生产工艺线中有清洗工序,故清洗工艺线10万套/a10万套/a设计能力1半导体设半导体设10万套/a本项目机加工生产不锈钢、铝、陶瓷10万套/a外来客户设备零件生产加工2蚀刻半导体零外来客户半导体零件进行蚀刻、薄膜、离子扩散等使用后需要清洗后再利用(清洗采用酸洗工艺,酸洗废液作为危废处置,酸洗废水经污水处理设施处理后全部回用,不外排)3薄膜不锈钢、铝、陶瓷45离子注入6光刻胶1.2万套/a7陶瓷表2-3建设项目工程组成情况表设计能力生产车间1层设置机加工车间、熔射车间;2层设间、检测室;3层设置检验车间原料仓库位于第一层成品仓库位于第二层公用工程/水制备浓水供电/洁净车间过滤系统1套/油雾废气/主要污染物为油雾(以非甲烷总烃计),高的排气筒DA001排放喷砂废气自带滤筒除尘处理主要污染物为颗粒物,经设备自带的滤筒除尘处理后由21m高的排气筒DA003熔射废气自带滤筒除尘处理焊接废气/主要污染物为颗粒物,产生量较小,不清洗废气1套过滤棉+二级活二级活性炭吸附装置处理后由21m高的擦拭废气酸洗废气1套二级碱喷淋塔主要污染物为氟化物、氮氧化物,经二放经化粪池处理接管新城水处理厂纯水制备浓水纯水制备浓水接管新城水处理厂生产废水(含氮、氟)处理后回用于生产;酸洗废水、喷淋废水经2#污水处理系统(除氟-蒸发浓缩-固废危废仓库一般固废仓库染控制标准》(GB18599-2020)要求噪声处理厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求1固态原料库/2铝固态原料库/3液态化洗间25kg/桶4液态化洗间25kg/桶5/1固态化洗间25kg/袋6钢环保型清洗剂表面活性剂2%、氢氧化钾10%、渗透剂(脂肪醇聚氧乙烯醚)2%、香精(松香脂)1%、水85%液态化洗间/7丙酮液态8/液态91液态化洗间25kg/桶/液态化洗间桶主要成分为铝、固态原料库//固态原料库桶/1固态原料库/氩气/50瓶5瓶原料库/40万固态10万原料库无尘布/200包固态50包原料库/5万副固态5000副原料库润滑油/液态原料库防爆柜25kg/桶除氟剂主要为氢氧化铝除氟剂固态2#污水处理系统消泡剂聚醚型脂肪酸酯消泡剂固态2#污水处理系统导热油/液态2#污水处理系统桶NaOH浓度30%液态1#污水处理系统25kg/桶液态1#污水处理系统25kg/桶固态1#污水处理系统/助凝剂固态1#污水处理系统/剂1液态1#污水处理系统25kg/桶表2-5主要原辅料理化性质表1主要成分为铝、镁、硅、铁,密度不燃3分子量20.01,液态,无色透明有刺激性臭味的液体,沸点:120℃,密度:1.26g/cm³无相关资料LCs0:1044mg/m³(大鼠吸入)。LD₅o:<40mg/kg4分子量63.01,液体,无色透明发烟液体,有酸味,熔点:-42℃,沸点:86℃,密度:2.17g/cm³无相关资料5分子量56.11,液体,白色晶体,熔点:360.4℃,沸点:1320℃,密度:2.04g/cm³无相关资料6丙酮(水=1):0.79g/cm³易燃7异丙醇透明无色,液态,熔点:-90℃,比重(水=1):0.78g/cm³易燃LCso:1044mg/m³(大鼠经口)LD₅o:12800mg/kg(兔子经皮)。8透明无色,液态,熔点:-2℃,沸点158℃,相对密度(水=1):1.46g/cm³,溶于水、醇、醚,不溶于石油醚、苯无相关资料LD₅o:376mg/kg(大鼠吞食)LC₅0:2000mg/m³(大9淡黄色透明液体,相对密度(水=1):0.95g/ml,pH值:9.25润滑油油状液体、淡黄色至褐色,相对密度(水=1):0.89g/ml乳白色液体,相对密度(水=1):GM-0110B碱性不锈钢环保型清洗剂VOC相符性分析本次GM-0110B碱性不锈钢环保型清洗剂采用未配置前进行检测,检测结果表2-6GM-0110B碱性不锈钢环保型清洗剂VOC相符性分析GM-0110B碱型清洗剂《清洗剂挥发性有机化合物含量限甲苯、乙苯和二甲苯。故本项目使用的GM-0110B碱性不锈钢环保型清洗剂满足《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》(GB38508-2020)中低VOC含量半水基清洗剂100g/L的要求,属于低VOC含量清洗剂。本项目主要生产设施及设施参数、主要工艺、主要生产单元情表2-7建设项目主要生产设施名称一览表型号数量(台)1加工中心/2/1/3喷砂喷砂机/9/4自动喷砂机/1/5/洗槽、1个水洗槽;酸洗槽有效容积尺寸为0.6*0.6*0.3m,6/1套含有2个碱洗槽、1个水洗槽;0.6*0.6*0.3m,水洗槽有效容7111个碱洗槽,有效容积为8/39高温烘箱2/无尘烘箱/6吹干吹干台/7/高精密电弧喷涂设备系统1//1//2//3//2//1/空压机/2/(1)本项目氢氟酸物料平衡情况如下表,下图所表2-8本项目氢氟酸物料平衡一览表物料名1废气有组织废气无组织废气固废污泥氢氟酸(49%)0.245酸洗0.020.018 有组织废气1废气有组织废气无组织废气固废污泥硝酸(71%) 丙酮100%挥发) VOCs0.05(按100%挥发) 报告18g/L) 切削液、乳化液中 (1)生活用水本项目劳动定员10人,年工作300天,根据《建筑给水排水设计标计,则本项目员工生活用水量为150t/a,排污系数以0生量为120t/a,其中主要污染物为COD、SS、NH₃-N、TN、TP,浓度分别为COD:400mg/L、SS:300mg/L、NH₃-N:35mg/L、TN:50mg/L、TP:5mg/L,项目生活污水接管无锡市高新水务有限公司新城水处(2)乳化液配置用水本项目精加工使用的乳化液以及切削液溶液配置中原料占比为6%,本项目乳化液以及切削液年总使用量为0.4t,配水量为6.27t/a,损耗率为10%,进入废乳化液5.64t。(3)纯水制备用水本项目纯水制备工艺为过滤(砂滤和碳滤)+RO+E清洗、酸洗、碱洗)提供纯水,制纯率取75%,需要自来水约12水制备浓水约32.5t/a,接管新城水(4)碱洗用水本项目设置3台碱洗槽,其中2台有效容积均为0.108m³的碱洗槽使用的KOH、H₂O₂(32%)进行碱洗,剩余1台有效容积为0.048m³的碱洗槽使用清洗置KOH溶液水量比为1:8,H₂O₂溶液(主要为催化作用,保持碱洗效果)水量比为5:16,清洗剂溶液水量比为1:125,KOH、H₂O₂、清洗剂年用量分别为1t/a、托有资质单位进行处理。(5)碱洗清洗用水本项目碱洗设置1台水洗槽,有效容积为0.036m³,根据企业提供的资料,每月更换4次,碱洗清洗用水量为1.92,损耗率10(6)碱洗冲洗用水工件通过清洗后,经观察表面未清洗完全的工件,需要使用纯水补充清洗,根据企业提供资料,碱洗清洗每天需要清洗水量为0.9t,故碱洗冲洗用水量约为270t/a,损耗率约为10%,清洗废水产生量为243t/a,碱洗废水经1#污水处理系(7)酸洗用水本项目设置3台酸洗槽,有效容积为0.108m³,酸洗需要使用的HF(49%)、HNO₃(71%),根据企业提供资料,酸洗所需溶液配比为HF:HNO₃:水=1:2:14,(8)酸洗清洗用水本项目设置3台水洗槽,有效容积为0.036m³,根据企业提供的资料,每个月更换1次,水洗用水量为1.44t/a,损耗率为10%,水洗废水产生量为1.3t/a,经收集后委托有资质单位进行处理。(9)酸洗冲洗用水工件通过水洗后,经观察表面未清洗完全的工件,需要使用纯水补充清洗,根据企业提供资料,酸洗清洗每天需要清洗水量为0.8t,故酸洗冲洗用水量为240t/a,损耗率约为10%,酸洗废水产生量为216t/a,经厂内2#污水处理系统处(10)超声波清洗本项目新增3套超声波清洗设备,单个超声波清洗设备有效容积为0.6m³,超声波清洗需要不定时补水,为了保证产品清洗完全,每行更换,故本项目超声波清洗设备用水量为540t/a,损耗率为10%,损耗量约为54t/a,清洗废水产生量为486t/a,经1#污水处理系统处理后回用于生(11)废气喷淋塔根据企业提供的资料,废气喷淋塔水箱容积为1.34m³,每10天定期更换1次,循环水量为30t/h,损耗率为1%,废气喷淋塔用水量为1120.2t/a,废水产生量为40.2t/a,经厂内设置的2#污水处理系统处理后回用于酸洗线。(12)污水处理系统本项目2#污水处理系统主要处理酸洗废水以及废废水、废气处理设施喷淋废水经蒸发浓缩、结晶处理后,计方案,酸洗废水经蒸发浓缩的浓缩液(浓缩率为98%)再次进行结晶(结晶浓缩率为90%),进入结晶泥含水率约为50%,故结晶泥中含水有资质单位进行处理。 270碱洗冲洗用水2431#污水处理系统729 理厂劳动定员:本项目劳动定员10人;工作制度:1班制(12小时)生产,年工作300天,全年工作时间3600h;不提本项目位于无锡市新吴区新洲路15号,项目地理位置见附图1。厂界周围环境现状:本项目位于无锡市新吴区新洲路15号汇鸿中天无厂区平面布置:本项目位于新吴区新洲路15号汇鸿中天无锡工业园内6号厂房(东半侧)1~3层,一层主要进行年产10万套半导体设备零部件的机加工生二层主要进行年产半导体设备零部件10万套、清洗半导体设备零部件10万套、清洗半导体零部件10万套的清洗工序以及部分产品检验,三层主要进行产品检验,具体布置见附图6。工艺流程和产排污环节本项目主要进行半导体设备零部件生产、清洗半导体设备零部件、清洗半导体零部件,生产工艺及产排污节点如下:①半导体设备零部件清洗主要清洗部位为设备外壳,不涉及核心部位,对产品清洗精密度要求相对于核心部位较低,故可进行喷砂以及碱洗用于增加表面光洁度后进行酸洗。②半导体零部件清洗主要清洗部位为内部精密区域,涉及芯片部位,对产品清洗精密度有相应的严格要求,同时相应清洗过程单独乳化液、切削液丙酮、无尘布、手套精加工擦拭超声波清洗吹干含油铝屑S1-1、噪声N1-1、油雾焊接废气G1-2、焊渣S1-2碱洗废液S1-3碱洗废液S1-3碱洗废水W1-1噪声N1-2擦拭废气G1-4、废清洗废水W1-2、噪声N1-4N-噪声N-噪声烘干冷却S-固废△-电加热图2-5半导体设备零部件生产工艺流程及产污环节图精加工:将外购铝合金通过加工中心进行精加工,期间产生含油铝屑S1-1、噪声N1-1、油雾废气G1-1。焊接:根据企业提供的资料,铝件焊接消耗焊丝量占比为0.1%,利用氩弧焊机对加工完成后的铝件进行焊接,期间产生焊接废气G1-2、焊渣S1-2。碱洗:根据工件实际情况选择清洗剂清洗或者配置碱溶液进行清洗用以去除工件表面沾有的少量污渍,碱液主要由KOH和纯水或者清洗剂和纯水配置而成,碱洗槽有效容积为0.108m³,采用常温浸洗方式,定期进行补充配置好的H₂O₂水溶液(催化作用,原料与水配比5:16)和KOH水溶液用以保持清洗效果,每月4次定期更换碱洗槽内碱洗废液,碱洗工序产生碱洗废液S1-3、清洗废气G1-清洗:将碱洗完成后的工件放入水洗槽内用以清洗去除工件表面的残液,水洗槽有效容积为0.036m³,采用浸洗方式,定期补充,每月定期进行更换水洗槽内清洗废水,期间产生碱洗废液S1-3。冲洗:清洗完成后的工件通过目检方式(未清洗完全的工件表面会有明显白斑)检查工件表面是否残留碱液,未清洗干净的工件表面使用纯水在清洗台内进行补充冲洗,期间产生碱洗废水W1-1。吹干:将清洗完成后的工件在吹干台处进行吹干,期间会产生噪声N1-2。废抹布手套S1-4。超声波清洗:将检查合格后的工件,放入超声波清洗机震动原理将工件表面沾染的污染物进一步去除,提高工件表面洁净度,期间产生清洗废水W1-2、噪声N1-4。检测:吹干后的工件使用检测设备针对工件厚度、表面光滑度、形状等进行物理检测,期间会产生不合格品S1-5。烘干冷却:检测合格后,放入烘箱进行电加热烘干,加热温度为200℃左右。客户零件纯水纯水纯水铝丝异丙醇、无尘布、手套图2-6碱洗废液S2-1超声波清洗检测烘干冷却擦拭包装酸洗废水W2-2熔射废气G2-4、废铝N-噪声S-固废△-电加热擦拭废气G2-5、废抹布手套S2-4清洗半导体设备零部件生产工艺流程及产污环节图喷砂:客户提供零部件主要材质为不锈钢、铝和陶瓷件,根据材料特性,不锈钢和陶瓷件进行喷砂处理,提高工件表面光洁度,喷砂完成后需要通过目检检查工件表面光洁度是否合格,喷砂合格后的铝件直接进入碱洗工段,喷砂工艺主要产生喷砂废气G2-1、噪声N2-1。碱洗:喷砂完成后,放入碱洗设备内进行碱洗,其中碱零部件生产工艺中碱洗相同,此处不再赘述,期间产生碱洗废液S2-1、清洗废气清洗、冲洗:清洗、冲洗过程与半导体设备零部件生产工艺中清洗、冲洗相同,此处不再赘述,期间产生碱洗废液S2-1、碱洗废水W2-1。清洗,本项目酸洗过程采用常温浸洗方式,酸洗槽有效容积为0.108m³,酸洗槽内为氢氟酸和硝酸水溶液,溶液配比为HF(49%):HNO₃(71%):水=1:2:7,定期补充酸洗溶液用以保持清洗效果,每月定期将酸洗槽内的酸洗废液S2-2进行更换,期间产生酸洗废气G2-3。清洗:酸洗后工件,放入水洗槽内用以清洗去除工件表面的酸液,水洗槽有效容积为0.036m³,采用浸洗方式,定期补充,每月定期进行更换水洗槽内清洗废水,期间产生酸洗废液S2-2。冲洗:清洗完成后的工件通过目检方式(未清洗完全的工件表面会有明显白斑)检查工件表面是否残留酸液,未清洗干净的工件表面使用纯水在清洗台进行补充冲洗,期间产生酸洗废水W2-2。吹干:将清洗完成后的工件在吹干台处进行吹干,期间会产生噪声N2-2。噪声N2-3。超声波清洗:将熔射后的工件,放入超声波清洗机内,利用超声波清洗机震动原理将工件表面沾染的污染物进一步去除,提高工件表面洁净度,期间产生清洗废水W2-3、噪声N2-4。吹干:超声波清洗完成后的工件在吹干台处进行吹干,期间会产生噪声N2-2。检测:吹干后的工件使用检测设备针对工件厚度、表面光滑度、形状等进行烘干冷却:检测合格后,放入烘箱进行电加热烘干,加热温度为200℃左擦拭包装:检测完成后,使用异丙醇在工件成品表面进行擦拭,使用无尘袋进行包装。期间产生擦拭废气G2-5、废抹布手套S2-4。纯水纯水纯水铝丝纯水异丙醇、无尘布、手套客户零件吹干吹干检测烘干冷却洗废气G3-1酸洗废液S3-1酸洗废水W3-1噪声N3-1熔射废气G3-2、废铝丝S3-2、噪声清洗废水W3-2、噪声N3-3噪声N3-4G-废气S-固废△-电加热抹布手套S3-3该生产工艺主要针对国内光电半导体生产厂家半导体零件进行蚀刻、薄膜、酸洗:将客户半导体零部件放入酸洗槽进行清洗,酸洗过程采用浸洗方式,酸洗槽有效容积为0.108m³,酸洗槽内为氢氟酸和硝酸水溶液,溶液配比为HF(49%):HNO₃(71%):水=1:2:7,定期补充酸洗溶液用以保持清洗效果,每月定期将酸洗槽内的酸洗废液S3-1进行更换,期间产生酸洗废气G3-1。清洗、冲洗:清洗、冲洗过程与半导体设备零部件清洗工艺中酸洗后清洗、冲洗相同,此处不再赘述,期间产生酸洗废液S3-1、酸洗废水W3-吹干:将清洗完成后的工件在吹干台处进行吹干,期间会产生噪声N3-1。超声波清洗:将吹干后的工件,放入超声波清洗机内使用纯水进一步清洗,期间产生清洗废水W3-2、噪声N3-3。检测:吹干后的工件使用检测设备针对工件厚度、表面光滑度、形状等进行①废气处理:喷砂、熔射废气经设备自带的滤筒除尘器处理后排放,产生废滤芯S4、废粉尘S5;喷砂设备定期更换的废砂S6;擦拭废气经过滤棉+二级活性炭处理后排放,废气处理产生废活性炭S7、废过滤棉S8;酸洗废气经二级碱喷淋处理后排放,产生喷淋废水W②机加工:加工中心中乳化液、切削液定期更换,产生S9废乳化液、废切削③包装:成品打包、装箱过程产生的废包装S10;④原材料使用:氢氟酸、硝酸、KOH以及其他液态原料装桶S11;⑤洁净车间过滤系统:洁净车间过滤系统对车间无组织废气进行过滤时会产生废滤袋S12;⑥员工生活、办公过程产生生活污水W5和生活垃圾S13;⑦纯水制备产生纯水制备浓水W6,废过滤材料S14;⑧废水处理:含酸废水处理后产生污泥S15、废RO膜S16;⑨空压机、2#污水处理系统压缩机使用过程会产生废油,废油S1本项目主要的产污环节和排污特征见下表:类别产生点去向废气精加工油雾连续经油雾净化器处理后由21m排气筒DA001排放连续非甲烷总烃连续处理后由21m排气筒DA001排放非甲烷总烃连续处理后由21m排气筒DA001排放化物连续喷砂连续经设备自带的滤筒除尘器处理后由21m高排气筒DA003排放连续经设备自带的滤筒除尘器处理后由21m高排气筒DA003排放W1-1、W2-间断水处理系统继续处理,处理后回用于生产间断经2#污水处理系统处理后回用于生产间断水处理系统继续处理,处理后回用于生产间断经2#污水处理系统处理后回用于生产生活污水间断新水务有限公司新城水处理厂纯水制备浓水间断接管无锡市高新水务有限公司新城水处理厂噪声N设备噪声等效连续A声间断/级固废精加工含油铝屑危险废物一般固废资源回收公司回收危险废物危险废物不合格品一般固废资源回收公司回收危险废物一般固废资源回收公司回收一般固废资源回收公司回收一般固废资源回收公司回收喷砂废砂一般固废资源回收公司回收废活性炭危险废物废过滤棉危险废物危险废物一般固废资源回收公司回收原料使用废包装桶危险废物空调系统一般固废资源回收公司回收员工生活纯水制备一般固废资源回收公司回收污泥危险废物危险废物设备保养废油危险废物无锡星润电子科技有限公司原位于新吴区城南路8装5万件半导体设备零部件生产(清洗工序委外)。后因企业发展需要,本项目租赁江苏汇鸿国际集团中天控股有限公司无锡分公司人空置厂房3250m²进行生产及办公,原位于新吴区城南路808C栋五楼厂房不再进行生产,部分设备搬迁至空置厂房。无锡星润电子科技有限公司位于新吴区城南路808C栋五楼进行年加工组装5万件半导体设备零部件生产(清洗工序委外),根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》属于“三十二、专用设备制造业35-70电子和电工机械专用设备制造356/(仅分割、焊接、组装的)",无需编制环境影响报告。设计能力1半导体设备零部件生产线半导体设备零部件5万套/年原项目主要生产工艺为:加工-清洗(委外)-组装。其中加工主要使用加工中心对工件进行机加工,清洗去除工件表面污渍(该工序委外),清洗完成后,原项目主要产生生活污水,员工数量为5人,生活污水产生量为60t/a。根据企业国排登记,污染防治措施及污染物排放情况如原项目固体废物主要金属渣、不合格品、废包装桶、废油,其中金属渣、不合格品送至废品回收单位进行回收,废包装桶、废油由设备方进行更换回无锡星润电子科技有限公司原位于新吴区城南路装5万件半导体设备零部件生产(清洗工序委外),根分类管理名录》(2019版),属于排污登记管理,原项目在全国排污许可证管理信息平台进行排污登记,登记编号:91320211061管网、雨水管网均已建设完成,污水可接管无锡市高新水务有限公司新城水处理厂集中处理。项目营运期间严格落实废水、废气、噪声等污染防治措施,并进行三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状本项目区域现状数据引用《无锡市生态环境状况公报》(2023年度),具体数据如下:全市环境空气中臭氧最大8h第90百分位浓度(O3-90per)167微克/立方米,较2022年改善6.7%;细颗粒物(PM₂.5)和二氧化硫(SO₂)年均浓度分别为28微克/立方米和8微克/立方米,较2022年持平;可吸入颗粒物(PM₁0)、二氧化氮(NO₂)和一氧化碳(CO)年均浓度分别为50微克/立方米、32微克/立方米和1.2毫克/立方米,较2022年分别恶化2.0%、23.1%和9.1%。按照《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准进行年度评价,所辖“二市六区”臭氧浓年平均质量浓度8年平均质量浓度年平均质量浓度一氧化碳24小时平均质量浓度日最大8小时平均质量浓度年平均质量浓度按照《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准进行年度评价,通过上表可见,臭氧指标未达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中二级标准,因此项目所在区域属于不达标区。《无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025年)》已于2019年1月29日通过审批,正式印发。根据《无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025年)》分析内容,通过采取调整产业结构、推进工业放、调整能源结构,控制煤炭消费总量、加强交通行业大气污染防治、严格控制扬尘污染、加强服务业和生活污染防治等措施后,无锡市环境空气质量在2025年可实现全面达标。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》(污染影响类)(试行)文主导风向下风向1个点位补充不少于3天的监测数本项目排放的大气污染物特征因子有:氟化物、非甲烷总烃,其中非甲烷总烃无国家、地方环境空气质量标准,因此无需进行现状监测。为了解项目所在地区氟化物环境质量现状,根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书》中无锡市新吴区环境监测中心2022年6月出具的监测报告(GS2206001038P1),具体检测结果见下平均时间新洲花园氟化物小时均值0科技学院氟化物小时均值0注:①氟化物检出限为5×10⁴mg/m³。由上表可知,本项目评价区域内氟化物满足《环境空气质量标(GB3095-2012)中二级标准,区域大气环境质量状况良根据《无锡市生态环境状况公报》(2023年度),2023年,全市地表水环境质量持续改善,国省考断面优Ⅲ比例达到100%,太湖湖心区首次达到Ⅲ类;国省考核断面、通江支流和出入湖河流全面消除劣V类;连续16年实现安全度夏。全市6个“十四五”地下水环境质量国考区域点位水质达标率83.3%。根据《江苏省地表水(环境)功能区划(2021-2030年)》(江苏省水利厅、江苏省环境保护厅,2022年3月)规定,无锡市高新水务有限公司新城水处理厂纳污河流京杭运河的2030年功能区划为《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中的IV类水体。本次评价引用根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书》中无锡市新吴区环境监测中心2022年6月出具的监测报告(GS2201001019P1)中对无锡市高新水务有限公司新城水处理厂排污口下游1000m(W2新虹大桥)的监测数据。监测时间2022年01月20日~01月22监测数据距今尚在3年有效期内。因此,本次引用的地表水环境质量数据符合引京杭大运河新城污水处理厂排口下虹桥最大值最小值000000IV类由上表可见,无锡市高新水务有限公司新城水处理厂排污口下游1000米断面处水质指标均能满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中IV类要求,区域地表水环境质量良好。[锡政发(2024)157号],本项目位于声环境3类功能区,所在区域环境噪声执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类区标准。本项目厂界外50m范围内无声环境保护目标,《无锡市生态环境状况公报(2023年度)》,2023年无锡市区环境噪声昼间平均等效声级为57.1dB(A)。全市昼间区域环境噪声声源主要为社会生活噪声(占比53.9%)、交通噪声本项目所在地区域声环境能达到《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》(污染影响类)(试行)相关要求,由于本项目厂界外周边50米范围内无声环境保护目标,无需现状监测。本项目位于无锡市新吴区新洲路15号,利用现有厂房且不新增用地,且项目建设用地范围内及周边均无生态环境保护目标。因此无需开展生态环境现状调查。本项目不涉及广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上行站、雷达等电磁辐射类设备,故不开展电磁辐射现状监测和评价。本项目针对危废仓库、生产区域等区域都进行了防渗硬化处理,正常运营状况下可以有效防止地下水及土壤的污染,因此无需进行现状调查及评环境保护目标本项目周边500米范围无环境保护目标,详见附图厂界外500米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特本项目位于无锡国家高新技术产业开发区内,且不涉及新增用地,用地范围污染物排放控制标准本项目废气主要包含精加工、碱洗、工件擦拭时产生的有机废气(以非甲烷总烃计)、喷砂、熔射产生的颗粒物以及酸洗产生的氮氧化物、氟化物(F),执行《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)中表1、表3排放限值。(kg/h)监控点3最高点4氟化物3颗粒物1厂区内非甲烷总烃无组织排放限值执行《大气污染物综合排放标(DB32/4041-2021)表2厂区内VOCs无组织排放限值,详见下表。污染物项目6在厂房外设置监控点项目生活污水、纯水制备浓水一起接管无锡市高新水务有限公司新城水处理厂,尾水排入京杭运河。纯水制备浓水和生活污水C放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准,氨氮、总氮入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中根据《关于无锡市高新水务有限公司新城水处理二厂1环境影响报告表的审批意见》(锡环表新复[2018]157号)公司尾水日均浓度稳定达到类《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准。表3-6污水排放标准表单位:mg/L,pH值无量纲项目生活污水、《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表(GB/T31962-2015)表1中A等级标准8最终排放标准项目境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准5总氮5总磷本项目碱洗废水、超声波清洗废水经厂区1#废水处理设施处理后,回用于生产;酸洗废水、喷淋塔废水经厂区2#废水处理设施处理后,回用于生产。本项目酸洗、碱洗废水分别处理,企业回用清洗水质要求不高,废水回用水质能满足生产中酸洗、碱洗,故本项目回用水标准执行企业回用水标准。生产中酸洗废水、喷淋塔废水中污染物(pH、COD、SS、总氮、氟化物)以及碱洗废水、超声波清洗废水中污染物(pH、COD、SS、总氮、LAS、石油类)执行企业项目洗废水、超声波清洗废水企业回用水标准总氮回用再生石油类氟化物55项目厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类别昼间3类一般固废的贮存处置参照执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)、《省生态环境厅关于进一步完善一般工业固体废物环境管理的通知(苏环办[2023]327号)》,危险固废的贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)、危险废物识别标志设置技术规范(HJ1276-2022)、(苏环办〔2024〕16号文)、《省生态环境厅关于做好江苏省危险废物全生命周期监控系统上线运行工作的通知(苏环办〔2020〕401号)》要总量控制指标种类现有项目环评批复量现有项目实际排放量本项目以新带老削减量管量)削减废气有组织000000物000000无组织00000000物00000000合计000000物000000废水生产废水000000000000生活污水000000000000000000000000合计000000000000000000000000固废般固废00/0///00/0///品00/0///00/0///00/0///废砂0011/0///00/0///00/0///00/0///危险废物含油铝屑0022/0///炭00/0//1棉00/0///0011/0///液00/0///桶00/0///废油00/0///污泥00/0///液00/0///液00/0///膜00/0///生活垃圾圾00/0///项目污染物排放总量控制建议指标如下:接管考核量:废水量152.5t/a,COD0.051t/a、SS0.039t/a、NH₃-N0.0042t/a、总氮0.006t/a、总磷0.0006t/a;进入环境量:废水量152.5t/a,COD0.0031t/a、SS0.0008t/a、NH₃-N0.0001t/a、总氮0.0006t/a、总磷0.00002t/a。(2)废气0.0385t/a(有组织0.0183t/a、无组织0.0202t/a)、氮氧化物0.0097t/a(有组织项目生活污水与纯水制备浓水一起接管无锡市高新水务有限公司新城水处理厂,水污染物在无锡市高新水务有限公司新城水处理厂内平衡;大气污染物、水污染物向新吴生态环境局申请总量,在无锡市内平衡,固体废弃物无需申请总根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017及国家标准第1号修改单),本项目所属行业类别为C3562半导体器件专用设备制造、C3360金属表面处理及热处理加工,根据《固定污染源排污许可分类管理名录(2019年版)》(生态环境部部令第11号),项目属于“三十、专用设备制造业35电子和电工机械专用设备制造356涉及通用工序简化管理的;二十八、金属制品业33金属表面处理根据《固定污染源排污许可分类管理名录(2019年版)》(生态环境部部令第11号):实行简化管理的排污单位,需要申请取得排污许可四、主要环境影响和保护措施施工期环护措施(1)合理安排设施的使用,减少噪声设备的使用时间;(2)合理安排运输车辆的使用,减少运输车辆废气排放;(3)对施工产生的固体废物,应循环利用或及时运走;(4)注意清洁运输,防止在装卸、运输过程中的泄漏及噪声;(5)建设单位应做好施工期间管理工作,以减少对周围环境的影响。由于施工期较短,对当地环境空气、水环境、声环境影响时间较短,并且施工结束时以上影响立即消失,故不会降低当地环境质仅分析营运期环境影响,不再对施工期环境影响进行具体分运营期环境影响和保护措施本项目废气为:喷砂、熔射、焊接产生的颗粒物;工件擦拭、碱洗时产生的有机废气(以非甲烷总烃计);酸洗产生的氮氧化物、氟化物(F);精加工核算(t/a)精加工非甲烷总烃设备负压收集是21m高DA001排气筒非甲烷总烃负压通风柜过滤棉+二级活性炭是非甲烷总烃负压通风间负压通风柜是21m高DA002排气筒氟化物(F)喷砂设备负压收集是21m高DA003排气筒污染物种浓度mg/m³高度m1精加工一般排放口32拭3一般排放口4氟化物235喷砂一般排放口164表4-3建设项目无组织废气产生及排放情况一览表面源面积m

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