真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵 编制说明_第1页
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《真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵》编制说明（征求意见稿）项目名称“真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空草案的编写和进度控制。该项目等同转化ISO21360-6：2023，工作组广泛调研了低温真空泵的相关标讨论与研究，提出了修改意见，对草案初稿作了进一步的补充完善，形成标准征求意见稿，于2025年草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为经济、社会效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的本标准等同采用ISO21360-6：2023《Vacuumtech标准的内容包含：本标准规定了低温真空泵性能参数测试方法实施的适用范围、术语定义、准备、测试方法（含抽气速率的测量、抽气容量的测量、渡越容量的大抽气能力的测量、降温时间的测试等）及测试程序、测试报告等相了我国《十四五发展纲要》中微纳电子、集成电路、生命科学、空天科技等重点领域的发本标准的制定进一步推进了真空泵产业结构的优化升级，推动了我国低温真空泵先进装备制造技代与性能突破，有利于支撑相关重大科学工程、基础前沿科学的研究和发本标准

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