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KELELECTRON(XIÁN)SYSTEMENGINEERINGLIMITEDKESL:FILENAME设计MainS-SOPPage:PAGE4ofNUMPAGES4DESIGN(设计)MAINSYSTEMS.O.P.(SPECIALGAS)(主系统特殊气体作业流程)各流程之注意事项业主提出资料:各机台之SpecialGas(特殊气体),建筑图及机台位置图。整合资料:统计各气体之用量,点数及依气体分材料型式(例如:BA,EP….等)规划气体房(GasRoom):一般分成Inert(惰性)、Corrosive(腐蚀性)、Toxic(有毒性)、Flammable(易燃性)四大气体房。规划UtilityGas:GasRoom依Cabinet与Scrubber…等需求来设计。SUBFABArea为VMP与VMP,Cabinet之需求来设计。【注意:PurgeGas与气动阀之气体最好为不同之来源,以防止压降而造成当机。】※以上所有规划须向BulkGasSystem要求预留TakeOffValve。规划MainLine:依业主提出之资料,规划其MainLine之路径。标示各机台之需求点:图上标示出各机台需求之气体(如GasName、TubeSize、Flow…等)。规划SubMainLine位置:依业主提出之资料,规划其SubMainLine之路径。规划VMB/VMP及TakeoffValve的位置:依标示各机台之需求点与SubMainLine位置,VMB/VMP之Stick数量束规划其位置。绘制P&IDDrawing&Materiallist:依需求分气体绘制P&IDDrawing。典型之流程为Cabinet→MainLine→SubMain→TakeOffValve(VMB/VMP)→E/Q,列示材料明细。制作TakeOffBook:依PID图制作TakeOffBook。内容包括:CabinetNo.、TakeoffValveNo.、VMB/VMPNo.、Size、MaterialListType、Flow..等。绘制施工图面(平面图):于建筑图绘制从GasRoom→MainLine→SubMainLine→VMB/VMP(Take0ff)之实际路径之平面(须至现场Check实际建筑物之Layout)。细部图之绘制:于MainLine至SubMainLine处与转折处或须特别注意之复杂处须绘制立体图或等角图。交予监工与下包施工:须告知其整区之Layout与其设计重点处(VMB之架设,Tube之间隔,比DoubleTube之配法,TubeRoute,MaterialType…等)。若施工中遇到施工进行有问题时须协调业主、套图→设计变更及图面变更→审核。设计者随时至现场检查与监工讨论是否施工中有无任何问题并记录。绘制竣工图:管路于施工中或完成时即可陆续续修改施工图使之成为竣工图,并检查其施工正确性。FinalDocument:Fina
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