JJF(京) 156-2024 痕量水分仪校准规范

痕量水分仪校准规范CalibrationSpecificationofTra北京市市场监督管理局发布JJF(京)156-2024痕量水分仪校准规范痕量水分仪校准规范JJF(京)156-2024IJJF(京)156-2024 （I） （II） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （3） （3） （4） （4） （4） （4） （7） （8） （9） （10） （11）JJF(京)156-20241JJF(京)156-2024痕量水分仪校准规范本规范适用于光腔衰荡光谱法(CRDS)和可调谐半导体激光吸收光谱法3.1光腔衰荡光谱法CavityRing光强度随时间呈N次单指数衰减。光腔衰荡光谱法（Cavityring-down3.2可调谐半导体激光吸收光谱法TunableDiodeLaserAbsorption可调谐半导体激光吸收光谱法（TunableDiodeLaserAbsorption2Spectroscopy，TDLAS）主要是利用可调谐半导体激光器的窄线宽和波长随注入3.3低霜点湿度发生器Low-fros探测器待测气体激光器测量信号探测器待测气体激光器测量信号温度压力传感器激光调谐锁相放大模块参考信号激光调谐锁相放大模块参考信号数据建模处理3JJF(京)156-2024表1痕量水分仪计量特性露点温度rd-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃体积比ppmv0.01≤ppmv＜2.62.6≤ppmv＜39.139.1≤ppmv＜1024.61024.6≤ppmv<23701.8露点最大允许误差±1.2℃±0.9℃±0.6℃±0.5℃体积比最大允许误差±0.5±4.6±60.7±761.91.不同的低霜点湿度发生器，样气流量范围可能不同；2.以上指标不用于合格性判别；3.体积比单位ul/L。环境温度：10℃~30℃;当校准露点温度范围在-70℃~20℃之间时，气体管路系统的连接管可选择4如果测量露点范围-100℃≤rd＜-90℃,采用标准湿度发生器作为标准器；如果测量露点范围-90℃≤rd＜20℃采用精密露点仪作为标准器。表2标准湿度发生器技术要求露点温度rd-100℃≤rd＜-90℃最大允许误差±0.4℃表3精密露点仪技术要求露点温度rd-90℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃最大允许误差±0.4℃±0.3℃±0.2℃±0.15℃5JJF(京)156-2024标准湿度发生器痕量水分仪标准湿度发生器痕量水分仪气源系统图2痕量水分仪校准的连接示意图应越长。建议吹扫时间见表4；表4露点温度与吹扫时间对应表露点温度吹扫时间-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃记录痕量水分仪的露点温度值，每隔2min按同样顺序记录一组数据，累计记录6（1）采用精密露点仪作为标准器精密露点仪气源系统低霜点湿度发生器痕量水分仪图3痕量水分仪校准的连接示意图越长。建议吹扫时间见表4；7JJF(京)156-2024（2））；），g）进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用h）如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行说j）本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明；k）校准环境的描述；89JJF(京)156-2024委托单位被校设备校准地点环境条件校准时间校准人员核验人员校准依据校准仪器校准项目□外观和工作正常性检查□湿度示值误差工作正常性检查：□正常□异常样气设定流量：L/min露点温度校准点/℃序号标准器露点温度值/℃痕量水分仪露点温度示值/℃12346平均值示值误差工作正常性检查：□正常□异常流量设定值：L/min露点温度校准点/℃标准器露点温度/℃痕量水分仪露点温度/℃痕量水分仪露点温度示值误差/℃扩展不确定度JJF(京)156-2024温度10℃~30℃,相对湿度≤85%T为均匀分布,-5,则：u1=0.005℃/=0.003℃。C.4.1.2被校准痕量水分仪短期重复性引入的表C.120℃重复性测量数据序号123456数据20.01℃20.03℃20.03℃20.04℃20.03℃20.02℃表C.2短期重复性引入的不确定度露点温度/℃-90-70-50-2020u2/℃0.0070.0060.0050.0040.004C.4.2.1低霜点湿度发生器波动引入的于±0.10℃,每记录一组数据的间隔很短，按均匀分布，则其标准不确定度估计周围环境中的水汽主要通过管路、零件、阀等渗透进入发生器的输出管响较大，当露点温度低于-60℃时，影响更明显。不同露点温度时管路密封和渗JJF(京)156-2024表C.3管路密封和渗透引入的不确定度露点温度/℃200.100.050.020.0030C.4.3.2精密露点仪代入修正值引入的不确定度u6C.4上一级湿度标准给出的精密露点仪修正值的扩展不确定度露点温度/℃20U(k=2)/℃0.300.300.300.150.15C.5精密露点仪代入修正值引入的不确定度露点温度/℃50.080.08表C.6不确定度分量汇总表不确定度分量不确定度来源标准不确定度灵敏系数被校准低霜点湿度发生器u1分辨力0.003℃1u2重复性见表C.21波动度0.06℃1u4管路密封和渗透见表C.31标准器精密露点仪分辨力0.003℃1u6修正值见表C.51备注u1和u2取大一级精密露点仪校准痕量水分仪在不同露点温度的合成标准不确定度按式表C.7合成标准不确定度露点温度-90℃≤Td＜-70℃-70℃≤Td＜-50℃-50℃≤Td＜-20