无锡市好达电子股份有限公司年产6亿颗TC-SAW及4亿颗TF-SAW滤波器生产线扩建项目环评资料环境影响

无锡市好达电子股份有限公司年产6亿颗TC-SAW及4亿颗TF-SAW滤波器生产线扩建项目周庆华建设地点江苏无锡经济开发区高运路115号(120度20分24.868秒，31度30分47.206秒)行业类别建设项目行业类别他电子设备制造业--80、电子器件制造397建设性质口新建(迁建)□改建□技术改造建设项目√首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目备案)部门(选填)江苏无锡经济开发区数据局锡经数投备[2024]12号总投资(万元)环保投资占比(%)2个月□是用地(用海)面积(m²)本项目利用现有车间，不新增占地面积，现有占地面积23932.4(扩建项目设备占地面积约2000m²)根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》要求，专项评价设置情况判定详见表1-1。价类别设置原则大气有环境空气保护目标的建设项目无地表水中处理厂不外排。无环境风险临界量的建设项目新增河道取水的污染类建设项目不涉及无不涉及无综上所述，本项目需设置风险专项评价。态更新》(锡政复〔2024)75号〕规划环评文件名称：《江苏无锡经济开发区开发建响报告书》规划(2021-2030)环境影响报告书的审查意见》(苏环审[2022]31号)规划及规划环境影响评价符合性分析江苏无锡经济开发区规划用地面积4km²,四至范围为东至运河西路-华谊路，南至高浪路-观山路，西至华清大道，北至薛海桥河-华家桥河。主要产业为高端装备制造业、新一代信息技术产业、现代服务业。相符性分析：本项目产品主要为TC-SAW滤波器、TF-SAW滤波器，行业类别为C3973集成电路制造，属于上述新一代信息技术产业，符合园区产业定位。本项目位于江苏无锡经济开发区高运路115号，根据企业提供国有土地使用证(锡湖国用(2004)第291号),项目所在地为工业用地。根据《江苏无锡经济开土地利用规划图，项目所在地规划为二类工业用地，符合土地规划要求。2025年1月12日，国务院发布关于《无锡市国土空间总体规划(2021-2035年)》的批复(国函〔2025〕7号),根据无锡市国土空间总体规划，科学统筹划定永久基本农田、生态保护红线、城镇开发边界三条控制线，作为调整经济结构、规划产业发展、推进城镇化不可逾越的红线。本项目位于城镇开发边界范围内，不涉及基本农田和国家级生态保护红线，项目与无锡市三区本项目位于江苏无锡经济开发区高运路115号，与《关区开发建设规划(2021-2030)环境影响报告书的审查意见》(苏环审[2022]31号)表1-2本项目与规划环评审查意见相符性分析要点1严格空间管控，优化空间布局。根据《规划》有序推进部分工业企业关停退出或转型发展，强化工业企业退出和产业升级过程中污染防治。落实好生产空间、生活空间和生态空间管控措施要求，减轻产业发展对生态环境保护、上、冯湾里、薛甲里、旺安社区等4个居民点的拆迁工作。定位和新的环境管理要求。不属于上述关停退出或转型发展企业；本项目符合生产空间、生活空间和生态空间管控措施要求；不会对生态环境保护、人居环境符合安全等造成不良影响。2管理。完善主要污染物排放总量控制措施，实区域环境质量持续改善。严格落实《江苏省太湖水污染防治条例》,强化企业特征污染物排求，执行最严格的污染物排放控制标准。行总量申请，执行污染物排放浓度和总量“双管控”。本项目严格落实《江苏省太湖水污染防治条例》,生产废水经处理后全部回用，不外排。3加强源头治理，协同推进减污降碳。引进项目的生产工艺、设备，以及资源能源利用、污染到同行业先进水平。全面开展清洁生产审核，行业自觉自愿开展审核。根据国家和地方碳减排和碳达峰行动方案和路径要求，推进开发区绿色低碳转型发展，实现减污降碳协同增效目标，开发区碳达峰时间按国家及江苏省规定时间完成。企业于2023年开展强制性清洁生产审核，根据清洁生产审核结论，公司的生产工艺、设备，以及资源能源利用、污染物排放、废物回收利用、环境管4完善环境基础设施。推进区内企业生产废水深度治理和回用工程，确保2025年前企业生产设，确保区内生活污水全部接管处理。加强开实时全程监控”。严格执行《太湖流域管理条(TW008,设计处理能力80t/d,采用“混凝/重金属捕捉+沉淀”工艺)预处理后，接入污水处理站(TW004+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污水处理站(TW003)处理后回用，不外排；生产废水(研磨清洗废水、去胶后清洗废水、去离子水制备废水和反冲洗水、水处理站(TW004+TW005)处理后回用，不外排；湿处理液和碱液中和后，依托现有低温蒸发器(TW007,2台一冷凝水接入污水处理站(TW004+TW005),全厂生产废水全污水排放，现有生活污水经化粪池+一项目建成后，企业会规范危废的贮存监控”。本项目涉及的各类危险化学品严格按照《太湖流域管理条例》规定5健全开发区环境风险防控体系，建立环境应急管理制度，提升环境应急能力。制定环境应急预案，做到与各级政府、部门及企业应急预案施，建立应急响应联动机制，完善环境应急响应流程。建立隐患排查整改制度，推动开发区级环境防控体系建设，建立完善环境风险防控和隐患排查治理，督促开发区内企业对污染防项目建成后将按相关要求组织修编环境应急预案，定期开展演练，配备充足的环境应急物资，落实应急准备措施。企业已建立隐患排查制度并定期开展隐患排查。6建立健全环境监测监控体系。严格落实《全省省级及以上工业区(集中区)监测监控能力建设方案》(苏环办〔2021〕144号)要求，在上、下风向至少各布设1个空气质量自动监测设水质自动监测站点。指导区内企业按《全省作方案》(苏环办[2021]146号)要求完成在线监测监控体系建设。区内企业须按要求在清下水排口安装在线监控设施，明确在线监测因子，并与当地生态环境部门联网。企业按照《全省排污单位自动监测监成在线监测监控体系。企业不涉及清下水排放。综上，本项目符合《关于对江苏无锡经济开发区开发建设规境影响报告书的审查意见》(苏环审[2022]31其他符合性分析本项目位于江苏无锡经济开发区高运路115号，不在《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》(苏政发〔2018〕74号)中规划的生态红线范围之内，不在《省政府关于印发江苏省生态空间管控区域规划的通知》(苏政发[2020]1号)中规划范围之内。与本项目直线距离最近区，位于本项目西北侧4900m,无锡蠡湖国家湿地公园位于本项目西北侧5100m,间保护区域名范围面积(平方公里)与本项目位置关系线范围国家级方位蠡湖风景名胜区区自然与人文景护/为界)/无锡蠡湖国家湿地公园区生态保护系统无锡蠡湖国家湿地公园总体规划中确定的范围(包括湿地保育区和恢复重建区)f/大气环境：项目所在地大气环境为环境空气质量功能二类地区，根据《生态环境状况公报》(2024年度),无锡市空气质量不达标，超标污染物为臭为改善无锡市环境空气质量情况，无锡市市政府印发《无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025)》,根据《无锡市大气环境质量限过采取调整产业结构、推进工业领域全行业、全要素达标排放、调整能源结构，控制煤炭消费总量、加强交通行业大气污染防治、严格控制扬尘污染、加强服务业和生活污染防治等措施后，无锡市环境空气质量预计2025年可实现全面达标。根据引用监测结果显示，项目所在区域氟化物(以F标准》(GB3095-2012)及其修改单中的二级标准；氯气、TVOC满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D中的标准，因此项目所在区域空气面中，年均水质达到或优于《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准的断面比例为92.0%,较2023年改善4.0个百分点，无劣V类断面。71个省考断面中，年均水质达到或优于Ⅲ类标准的断面比例为97.2%,较2023年改善1.4个百分点，无劣V类断面。间区域环境噪声平均等效声级为55.5dB(A),较2023年改善1.6dB(A)。本项目位于声环境3类功能区，项目所在地声环境质量符合《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准要求。破项目所在地环境质量底线。因此项目的建设符本项目用水来源为市政自来水，项目用电由市政电网供电。本项目物耗及能耗水平均较低，选用了高效、先进的设备，提高了生产效率，减少了产品的损耗率，减少了原料的用量和废料的产生量。综上所述，本项目的建设符合资源利用上线的要求。本项目属于C3973集成电路制造，经对照，不属于《关于对江苏无锡经济开发区开发建设规划(2021-2030)环境影响报告书的审查意见》(苏环审[2022]31号)中的附件2江苏无锡经济开发区生态环境准入清单中禁止引入类项目，不属于《长江经济带发展负面清单指南(试行),江苏省实施细则》中禁止建设项目，不属于《市场准入负面清单(2025年版)》中禁止准入项目。表1-4与江苏无锡经济开发区生态环境准入清单相符性分析引入1、使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目；(铅、汞、镉、铬和砷)的项目；液、丙酮、乙醇进行清洗，根据《清(GB38508-2020)“1范围：本标准不导体(含集成电路)制造用清洗剂”,本项目行业类别为C3973集成电路制项目。清洗剂、去胶液、丙酮、乙醇主要用于去除工件表面残留的胶状杂质等，胶状杂质含有机物，只有溶剂此外，由于集成电路产品生产过程中产生的杂质会严重影响电路板的质量，因此集成电路产品生产过程对于剂无法满足工艺的质量要求。集成电洗剂进行替代，以支持国家环境保护(GB33372-2020)的溶剂型胶粘剂相关限值要求，同时根据中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会《关于无锡市好达电子股份有限公司使用胶兴产业的情况说明》,目前企业使用市好达电子股份有限公司声表面波器升，尽早在满足工艺要求的前提下使国家环境保护相关政策；2、本项目不向水体排放污染物；空间布局约束1、新一代信息技术产业A、B片区禁止布局工业项目；置不少于10m隔离带；路115号，不在A、B片区范围内。100m卫生防护距离，卫生防护距离内无环境敏感目标，符合防护距离的要1、环境质量：大气环境质量达到《环境(HJ2.2-2018)附录D其他污染物空气质(GB36600-2018)筛选值中的第一类、第吨/年、VOCs14.53吨/年。水污染磷0.16吨/年。发区范围内平衡，本项目不新增水污防控区内可能发生突发环境事件的企业应制案要求储备应急物资，开展应急演练。本项目建成后，企业将按要求修编突发环境事件应急预案并进行备案，并资源利用1、禁止新(扩)建燃用高污染燃料的锅料为“Ⅱ类”(较严),(2)石油焦、油页岩、原油、重油、渣0.01吨标煤/万元<0.5吨标煤/万元，根据《无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》经济开发区，属于重点管控区；经对照，本项目符合江苏无锡经济开发区“三线一单”空间布局管控约束本项目为C3973集成电路制造，属于电子信息产业，符合无锡经济开少主要污染物排放总量，确保区域环境质量持续改善。(2)园区污染物排放总量不得突破环评报告及批复的总量。物的排放量；生产废水全部回用，防控距离内无敏感目标；本项目建成后资源开发效率要求(2)单位工业增加值新鲜水耗不高于9m³万元。(3)单位工业增加值综合能耗不高于0.5不高于8t/万元。具体包括：1、除单台出力大于等于20蒸焦油。管控类别二、太湖流域空间布局约束目不涉及防控1.运输剧毒物质、危险化学品的船舶2.禁止向太湖流域水体排放或者倾倒3.加强太湖流域生态环境风险应急管本项目不涉及资源利用效率要求2.推进新孟河、新沟河、望虞河、走理废水经车间预处理设施(TW008,污水处理站(TW004+TW005);初期理，冷凝水接入污水处理站(TW004+TW005),全厂生产废水全本项目的产品属于《国民经济行业分类标准(2017年本)》中的C3973集成电1本项目属于鼓励类中的“二十八、信息产业，5.新型电子元器件中频率控制与选择元器件”2禁止目录》(2018年本)3(2012年本)》(锡政办发〔2013)54号)元器件)制造”,属于鼓励类4《无锡市内资禁止投资项目目录(2015年本)》5(试行，2022年版本),江苏省实施不属于负面清单类项目6污染工艺7业产品目录》(2024年本)品第二十八条排污单位排放水污染物，不得超过经核定的水污染物排放总量，并应当按照规定设置便于检查、采样的规范化排污口，悬挂标志牌；不得私设暗管或者采取其他规避监管的方式排放水污染物。禁止在政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、乙醇、淀粉、冶等排放水污染物的生产项目，现有的生产项目不能实现达标排放的，应当依法关闭。在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清洁生产要求，现有的企业尚未达到清洁生产要求的，应当按照清洁生产规划要求进行技术改造，两省一市人民政府应当加第二十九条新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口1万米上溯至5万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范围内，禁止下列行为：(一)新建、扩建化工、医药生产项目；(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污第三十条太湖岸线内和岸线周边5000米范围内，淀2000米范围内，太浦河、新孟河、望虞河岸线内和岸线两侧各1000米范围内，其他主要入太湖河道自河口上溯至1万米河道岸线内及其岸线两侧各1000米范围禁止下列行为：(一)设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设施和废物回收场、垃圾场；(二)设置水上餐饮经营设施；(三)新建、扩建高尔夫球场；(四)新建、扩建畜禽养殖场；(五)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目；(六)本条例第二十九条规定的行为。已经设置前款第一项、第二项规定设施的，当地县级人民政府应当责令拆除或者关闭。相符性分析：本项目不属于第二十八条中禁止设置的行业，项目距离太约5400m,项目距离望虞河岸线约9700m,项目不在主要入太湖河道两侧1000米范围内，且不属于其中禁止行为。本项目湿处理废水经车间预处理设施(TW008)预处理后，和其他生产废水接入厂区污水处理站(TW004+TW005)处理，产生的再生水回用至生产；污水处理站(TW004+TW005)产生的尾水部分进入冷却部分进入DTRO膜+MVR蒸发器(TW006)处理，蒸发浓缩液委托有资质单位处生产废水全部回用，不外排；本项目不新增生活污水排放，现有生活污水经化粪池+一体化污水处理设施(TW001)处理接管到太湖新城污水处理厂集中处理。符合本项目位于太湖流域一级保护区，依据《江苏省太湖水污染防治条例》(2021修订版)的规定。第四十三条：太湖流域一、二、三级保护区禁止下列行为：(一)新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除外；(二)销售、使用含磷洗涤用品；(三)向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃物；(四)在水体清洗装贮过油类或者有毒有害污染物的车辆、船舶和容器等；(五)使用农药等有毒物毒杀水生生物；(六)向水体直接排放人畜粪便、倾倒垃圾；(七)围湖造地；(八)违法开山采石，或者进行破坏林木、植被、水生生物的活动；第四十四条除二级保护区规定的禁止行为以外，太湖流域一级保护区还禁止下列行为：(一)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目；机械吸螺、底拖网进行捕捞作业；(三)新建、扩建畜禽养殖场；(四)新建、扩建高尔夫球场、水上游乐等开发项目；(五)设置水上餐饮经营设施；口应当限期关闭。(一)新建、扩建化工、医药生产项目；(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；(三)扩大水产养殖规模；造，不属于《江苏省太湖水污染防治条例》(2021修订版)在太湖流域一级保护区内的禁止类项目。本项目湿处理废水经车间预处理设施(TW008,设计处理能力80t/d,采用“混凝/重金属捕捉+沉淀”工艺)(TW004+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污水处理站(TW003)废水和反冲洗水、预处理后湿处理废水等)依托现有污水处理站(TW004+TW005)处理后回用，不外排；湿处理液和碱液中和后，依托现有低温蒸发器(TW007,2台，一用一备)处理后浓缩液作为危废处理，冷凝水接入污水处理站(TW004+TW005),全厂生产废水全部回用，不外排；本项目不新增生活污水排根据《无锡市水环境保护条例》(2021年修订版)第十四条：实行化学需氧量、氨氮、总磷、总氮等重点水污染物排放总量控制制度。排污单位排放水污染物，不得超过国家或者地方规定的水污染物排放标准和重点水污染物排放总量控制指标。第二十四条：工业废水、生活污水应当实行集中处理。按照规定需要对产生的污水进行预处理的，排污单位应当进行预处理，达到规定标准后方可相符性分析：本项目湿处理废水经车间预处理设施(TW008,设计80t/d,采用“混凝/重金属捕捉+沉淀”工艺)预处理后，接入污水处理站(TW004+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污水处理站(TW003)处理后回用，不外排；生产废水(研磨清洗废水废水和反冲洗水、预处理后湿处理废水等)依托现有污水处理站(TW004+TW005)处理后回用，不外排；湿处理液和碱液中和后，依托现有低温蒸发器(TW007,2(TW004+TW005),全厂生产废水全部回用，不外排；本项目不新增生活污水排放，现有生活污水经化粪池+一体化污水处理设施(TW001污水处理厂集中处理；项目自身不设置直接排污口，水污染物最终的排放总量纳入太湖新城污水处理厂的指标范围内。因此本项目的建设满足《无锡市水环境保护条1技术措施。膜+MVR蒸发器(TW006)处理2水、锅炉冷凝水未回收利用的，由县级以站处理，处理后全部回收利用本项目与挥发性有机物污染防治相关文件相符性分析如下：表1-9与挥发性有机物污染防治相关文件相符性分析《江苏省重点行(苏环办〔2014)128号)一、总体要求(一)所有产生有机废气污染的企业，应优先采用环保型原辅料、生行密闭，从源头控制VOCs的产生，减少溶剂型涂料表面涂装、包装印刷业的VOCs总收集、净化处理率均不低于90%,其他行业原则上不低于75%。限值》(GB38508-2020)“1范围：本标准不适用制造用清洗剂”,本项目属于C3973集成电路制是集成电路行业内通用除工件表面残留的胶状生产过程中产生的杂质会严重影响电路板的质产过程对于产品清洁度要求极高，低VOC的清洗剂无法满足工艺的质保护的相关政策。现有项目使用的371G胶有机化合物限量》《江苏省挥发性有机物污染防治管理办法》(江苏省人民政府第119号令)第二十一条产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中运行挥发性有机物回收或者净化设施；固体废物、废水、废气处理系统产生的废气料应当密闭储存、运输、装卸，禁止敞口无法在密闭空间进行的生产经营活动应当《江苏省政府关于印发江苏省大气污染防治行动计划实施方案的〔2014〕1号)实行现役源2倍削减量替代。苏南5个省性油性涂料、有机溶剂的生产、销售和使用《重点行业挥发性有机物综合治理方案》(环大气〔2019〕53号)全面加强无组织排放控制。重点对含VOCs等)储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收集等措施，削减VOCs无组织排放。加强设备与场所密闭管理。含VOCs物料应储存于密闭容器、仓等。含VOCs物料转移和输送，应采用(GB33372-2020)的溶剂同时根据中国电子元件行业协会电子陶瓷及器电子股份有限公司使用及江苏无锡经济开发区无锡市好达电子股份有限公司战略性新兴产业的情况说明》,目前企业电子股份有限公司声表断地对胶粘剂工艺进行工艺要求的前提下使用相关政策。本项目剥铝、去胶2#、废气经集气设备收集后淋+除雾+活性炭吸附/脱附+燃烧装置(收集效率90%、处理效率90%),省2020年挥发性有机物专项治理(苏大气办〔2020〕2号)(四)深化改造治污设施鼓励企业合理选择治理技术，提高VOCs治理效率。组织专家对重点企业VOCs治理设施效果开展评估，对设施工程设计不规范、设施选型不合理、治污设施简易低效(无效)导致排放浓度与去除效率不达标的企业，提出升级改造要求，6月底前完成改造并通过属地生态环境部门备案，逾期予以关停。VOCs排放量大于等于2千克/去除效率不低于80%年挥发性有机物治理攻坚方案>的通知》(环大气〔2020〕33号)一、大力推进源头替代，有效减少VOCs强化无组织排放控制洁原料替代工作方案》的通知(苏大气办〔2021〕2根据《关于印发<江苏省挥发性有机物清洁原料替代工作方案>的通知》相关要求，(一)明确替代要求。以工业涂装、包装印刷、木材加工、纺织(附件1)等行业为重点，分阶段推进3130家企业清洁原料替代工作。实施替代的企业要使用符合《低墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值》(GB38507-2020)规定的水性油墨性有机化合物含量限值》(GB38508-2020)粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020)规定的水基型、本体型清洗剂、胶粘剂等产品应符合相关标准中件。禁止建设生产和使用高VOCs含量的全省工业涂装、包装印刷、纺织、木材加(改、扩)建项目需满足低(无)VOCs含量限值要求。挥发性有机物专 〔2020〕3号)(二)大力推进源头替代1、推进工业企业源头替代。禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、点行业低VOCs含量源头替代进度，5月底(三)有效控制无组织排放准》,进一步明确无组织排放控制要求。(四)深化改造治污设施各市(县)、区要加大对企业治污设施的工程设计不规范、设施选型不合理、治污设施简易低效(无效)导致排放浓度与去6月底前完成改造并在属地生态环境部门备案，逾期未改造或改造后排放仍不达标于2千克/小时的企业，除确保排放浓度稳无组织排放控制)式投加、卸放，无法密闭投加的，应在密的产品使用过程应用密闭设备或在密闭空间操作，废气应排至收集处理系统；VOCs合GB16297或相关行业排放标准的要求；综上、本项目的建设符合挥发性有机物污染防治相关10、与《省生态环境厅关于深入开展涉VOCs治理重点工作核查的通知》(苏环办〔2022〕218号)相符性分析(苏环办〔2022〕218号)相符性分析见下表。表1-10本项目与苏环办[2022]218号相符性分析表内容1性炭名称、装填量、装填方式、活性炭碘值、比本项目活性炭吸附装置已牌2处置记录等)及能源消耗(电耗)等企业已做好相应的台账记录3(企业“环保脸谱”)录入活性炭吸附设施相关信息、定期上传设施运行维护记录、签收活性炭状态预警及超期信息企业已录入江苏省污染源“一企一档”系统4产，限期整改；除恶臭异味治理外，新建企业一律不得采用单一低温等离子、光催化、光氧化、据实际情况确定各企业改造时间，最长不超过3个月本项目采用的废气治理措施为水喷淋+除雾+活性炭吸附/脱附+燃烧装置51mg/m³和40℃,若颗粒物含量超过1mg/m³时，6颗粒活性炭碘吸附值≥800mg/g,比表面积≥850m²/g;蜂窝活性炭横向抗压强度应不低于≥650mg/g,比表面积≥750m²/g活性炭碘值为800mg/g,比表面积≥850m²/g7性炭使用量不应低于VOCs产生量的5倍，即1吨VOCs产生量，需5吨活性炭用于吸附。活性炭更换周期一般不应超过累计运行500小时或3个月本项目活性炭采用吸附/脱附装置，不适用本项目/本项目建设与《关于在环境审批阶段开展“源头管控行办〔2021〕142号)相符性分析见下表。生产四替代用国际国内先进工艺、装备、低挥发水性溶剂等环境友好型原材料、先进高效的污染治理设施替代传统工艺、普通装备、高挥发性原料、落后的污染治理措施。从场址选取、厂区布局、厂房设计、设备选型等方面充分考虑环境保护的需求，从源头控制无组织排放、初期雨水收集、环境风生产工艺选用的各种涂料、厂房建筑用涂料、工艺设备防护涂料等，除有特殊要求外，必须选用符合《低挥发性有机化合物含量(GBT38597-2020)标准的产品。化、化工、钢铁、有色、建材界定)要严格环境准入，满足总量控制、碳化峰碳中和目标、生态环境准入清单、规划环评及行业本项目属于C3973集成电路制造，清洗值》(GB38508-2020)“1范围：本标准不适用于航空航天、核工业、军工、半导体(含集成电路)制造用清洗剂”,本项用的清洁溶剂，主要用于去除工件表面残留的胶状杂质等，胶状杂质含有机物，只有溶剂才能更好的溶解，达到去除的目的。此外，由于集成电路产品生产过程中产生的杂质会严重影响电路板的质量，因度要求极高，低VOC的清洗剂无法满足的对清洗工艺进行研发和提升，尽早使用低VOC含量的清洗剂进行替代，以支持(GB33372-2020)的溶剂型胶粘剂相关限值要求，同时根据中国电子元件行业协电子股份有限公司使用胶粘剂的不可替局提供的《关于无锡市好达电子股份有限公司战略性新兴产业的情况说明》,目前波器件的生产中暂无替代方案。本行业也尽早在满足工艺要求的前提下使用低VOC的胶粘剂进行替代，以支持国家环本项目用地为工业用地，与用地性质相项目为C3973集成电路制造，不涉及涂装等工序，不属于煤电、石化、化工、钢铁、有色、建材等“两高”项目生产中水回收强化项目的节水设计，提高项目中水回用率，新建、改建项目的中水回用水平必须高于行业平均水平，达到国内先进水平以上。根据《江苏省太湖水污染防治条例》规定，非战略性新兴产业，不得新增含磷、氮的生产废水。用水量较大的印染、电子等行业水等“清净下水”必须按照生产废强化生产过程中的物料回收利用，鼓励有条件的挥发性有机物排放企业(如印刷、包装类企业)通过冷凝、吸附、吸收等技术实强化固体废物源头减量和综合利用，配套的回收利用设施必须达到主生产装置同样的设计水平和环保要求，提升回收效率，需外送利用处置固体废物和危险废物的，在本市应具有稳定可靠的承(TW008,设计处理能力80t/d,采用“混凝/重金属捕捉+沉淀”工艺)预处理后，接入污水处理站(TW004+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污项目不属于印刷、包装等企业；治污设施效率项目审批阶段必须征求水、气、固体等要素部门意见，审核项目污染防治措施是否已达到目前上级要求的最先进水平，未达最严要按照所属行业的《排污许可证申请与核发技术规范》要求，选择采用可行性技术，提高治污设施的标准和要求，对于未采用污染防治可行技术的项目不予受理；鼓励采用具备应用案例或中试数据等条件的新型污染防治技涉挥发性有机物排放的项目，必须严格落实国家《重点行业挥发对挥发性有机物要有效收集、提高效率、鼓励采用吸附、吸收、生物净化、催化燃烧、蓄热燃烧等多种治理技术联合应用的工艺路线；确保稳定达标并符合《挥发性有机物无组织排放控制标点多、难以有效收集的情况，要整体建设负压车间，对含挥发性有机物的废气进行全收集和治理。对涉水、涉气重点项目，必(TW008,设计处理能力80t/d,采用“混凝/重金属捕捉+沉淀”工艺)预处理后，接入污水处理站(TWO04+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污须要求安装用电工况和自动在线监控设备设施并联网。新建天然气锅炉必须采用低氮燃耗技术，工业炉窑达到深度治理要求组织形式在车间内排放。本项目不涉及天然气锅炉。12、与《长江经济带发展负面清单指南(试行)》(试行，2022年版本，江苏表1-12《长江经济带发展负面清单指南(试行)》利用与岸发1不涉及2区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资保护区和风景名胜区3本项目不在饮用水水源保护区4严格执行《水产种质资源保护区管理暂行办法》,不符合主体功能定位的投资建设项目。水产种质本项目不在水产种质资源保护区、和河段范围5区内6污口区域活动7不涉及8(即水利部门河道管理范围边界)向陆域纵深一公里执行。不涉及9不涉及类项目不涉及长江经济带发展负面清单指南(试行，2022年版)>江苏省目禁止在取消化工定位的园区(集中区)内新不涉及不涉及发展本项目位于无锡经济技术开发区设类项目药原药(化学合成类)项目，禁止新建、扩建不符合国家和知》(苏政发[2021]20号)、《大运河生态环境保护修复专项规划》(2020年8月知》(苏政发[2021]20号)根据《省政府关于印发大运河江苏段核心监控区国知》(苏政发[2021]20号)相关要本办法所称核心监控区，是指大运河江苏段主河道两岸各2千米的范围。滨河生态空间，是指核心监控区内，原则上除建成区(城市、建制镇)外，大运河江苏段主河道两岸各1千米的范围。第六条：核心监控区国土空间管控应遵循保护优先、绿色发展，文化引领、永续传承，因地制宜、合理利用的原则，按照滨河生态空间、建成区(城市、建制镇)和核心监控区其他区域(“三区”)予以分类管控。第十条严格准入管理。核心监控区内，实行国土空间准入正(负)面清单管理制度，控制开发规模和强度，严禁不符合主体功能定位的各类开发活第十四条：建成区(城市、建制镇)内，严禁实施不符合产业政策、规划和管制要求的建设项目。城市建成区老城改造应加强建筑高度管控，开展建筑高度影响分析，按照高层禁建区管理，落实限高、限密度的具体要求限制各类用地调整为大型的工商业、商务办公、住宅商品房、仓储物流设施等项目用地。根据《大运河生态环境保护修复专项规划》(2020年8月3日)相关要求：“第三章中的第三节，核心区内应严格控制岸线开发，严格保护大运河文化遗产河段及遗产点的空间形态，将大运河文物保护范围和建设控制地带纳入国土空间规划，优化国土空间格局和产业布局，加强水放；在京杭大运河和浙东运河主河道及隋唐大运河等具备条件的有水河道两岸各永久基本农田，要按照有关规定有序调整退出。大运河岸线2000米核心监控区范间占用，严禁风电、光伏等建设项目占用河湖水域岸线。”相符性分析：本项目位于无锡经济技术开发区高运路115号，距离大运1300m,位于大运河核心监控区建成区内。本项目在江苏无锡经济开发区内，用地规划为二类用地，不属于未开发用地，不占用生态空间，不属于“高风险、高污染、高耗水”行业，属于《产业结构调整指导目录(2024年本)》中鼓励类；本项目符合“三线一单”的要求及经济开发区生态管控的要求。因此本项目的建设符合《省政府关于印发大运河江苏段核心监控区国土空间管控暂行办[2021]20号)、《大运河生态环境保护修复专项规划》(2020年8月3日)要求。表1-13与《苏环办〔2022〕155号)相符性分析二、工作重点镍钴、锡、锑和汞矿采选),重有色金属冶炼业(铜、防控重点区域32个(附件1)。本项目属于C3973集成电路制设施(TW008,设计处理能力水处理站(TW004+TW005);集后接入污水处理站(TW003)水(研磨清洗废水、去胶后清水等)依托现有污水处理站(TW004+TW005)处理后回(TW007,2台一用一备)处理水接入污水处理站(TW004+TW005),全厂生产染物排放。根据关于印发《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案(2023-2025年)》的通知(苏污防攻坚指办〔2023〕2号)文中要求：严格项严格遵守“增产不增污”原则；严格规范整治。现有涉标但环境管理不完善的，督促规范管理；对不能稳定达标但基础条件较好且经整治能够实现稳定达标排放的，责令提升改造；对超标严重、治理无望的，要依法实施关停取缔或关停涉氟工段。相符性分析：本项目新增氢氟酸使用，新增生产废水属于含污水处理站(TW004+TW005)处理，产生的再生水回用生产，生产废水全部回用，不外排。因此，本项目不涉及含氟废水外排，项目严格遵守“增产不增污”原符合《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案(2023-2025年)》(苏污防攻坚指本项目的行业类别属于C3973集成电路制造，项目清洗工序使用清洗剂、去胶液、丙酮、乙醇。根据《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》(GB38508-2020)“1范围：本标准不适用于航空航天、核工业、军工、半导体(含集成电路)制造用清洗剂”,本项目属于集成电路制造行业，因此GB38508-2020不适用于本项目。清表面残留的胶状杂质等，胶状杂质含有机物，只有溶因此集成电路产品生产过程对于产品清洁度要求极高，低工艺的质量要求。集成电路行业正在不断的对清洗工艺进行研发和提升，尽早使用低VOC含量的清洗剂进行替代，以支持国家环境保护的相关政本项目不涉及胶粘剂的使用，现有项目使用371G胶粘剂进行生产，该产品主要在机密单位使用，其主要成份和检测数据如下表所含量(g/L)1剂乙二酸二甲酯40-60%,N,N-二甲基甲酰胺5-15%,溶剂型胶他类)根据上表的统计结果，现有项目使用的371G胶粘剂满化合物限量》(GB33372-2020)的溶剂型胶粘剂相关限值要求，同时根据中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会《关于无锡市好达电剂的不可替代意见》及江苏无锡经济开发区经济发展局提供的《关于无锡市好达电子股份有限公司战略性新兴产业的情况说明》,目前企业使用低VOC胶粘剂确实存在困难，在无锡市好达电子股份有限公司声表面波器件的生产中暂无替代方案。本行业也在不断地对胶粘剂工艺进行研发和提升，尽早在满足工艺要求的前提下使用低VOC的胶粘剂进行替代，以支持国家环境保护相关政综上所述，本项目符合江苏省、无锡市关于挥发性有机物污染防治相关文件的要求。1管理名录(2021年版)》中电子器件制造397成电路制造，因此适用本原则2总量控制政策要求3影响评价要求。主要产品为TC-SAW滤波器、4用率。5化物、氨等特征污染物的达标排放情况。排放标准》(GB16297)要求；项目工艺过程产14554)要求；涉及使用VOCs物料的，厂区内机物无组织排放控制标准》(GB37822)要求；锅炉烟气应符合《锅炉大气污染物排放标准》本项目剥铝、去胶2#、清洗工序备收集后进入4级水喷淋预处理去胶1#废气合并后经1级水喷淋织形式在车间内排放。湿法蚀刻导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3相关要求；厂区内非甲烷总烃排放执行(DB32/4041-2021)表2标准6金属废水采用化学沉淀法预处理，砷化镓芯片造产生的含砷废水采用过滤+化学沉淀法预处采用吹脱法或厌氧氨氧化法预处理。根据生产分类收集、分质处理的原则。本施(TW008,设计处理能力80t/d,艺)预处理后，接入污水处理站(TW004+TW005);初期雨水经初期雨水收集池收集后接入污不外排；生产废水(研磨清洗废水、去胶后清洗废水、去离子水湿处理废水等)依托现有污水处理站(TW004+TW005)处理后回用，不外排；湿处理液和碱液中和后，依托现有低温蒸发器(TW007,2台一用一备)处理(TW004+TW005),全厂生产7染控制标准》(GB18597)、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599)等相存污染控制标准》(GB18597)、相关要求。89的突发环境事件应制定有效的风险防范和应急跟踪监测和应急响应的防控原施问题或减排潜力，提出有效整改或改进措施明确项目实施后的环境管理要求和环境监测计化合物(PFOA类)等新污染物的土壤污染重点《电子工业水污染物排放标准》(GB39731)开展废水综合毒性监测。要求进行监测。全生产法》有关规定接受监督。安全生产要求综上，本项目的建设符合《集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则(2024年版)》中的相关要求。建设内容无锡市好达电子股份有限公司成立于1999年6月，建厂至今，共进行了7期项目的建设，全厂生产规模如下：1#厂房(声表面滤波器1200万只、双工器1200万只、CSP声表面波滤波器4.8亿只),3#厂房(片式温度补偿声表面波滤波器(TC-SAW)7.2亿颗、研发试制线(5G用BAW滤波器3000万只、射频模块SAW滤波器5000万只)、声表面波(SAW)滤波器30亿只、移动通讯用射频滤波器40亿只、5G用滤波器5亿只、5G用双工器1亿只)。因企业发展需要，拟投资51893.41万元，进行年产6亿颗TC-SAW及4亿颗本项目TC-SAW滤波器及TF-SAW滤波器的建设主体依托现有3#厂房，在现设施依托现有。项目建设完成后，新增年产TF-SAW滤波器4亿颗，扩建片式温度补偿声表面波滤波器(TC-SAW)6亿颗；扩建波器(TC-SAW)13.2亿颗、TF-SAW滤波器4亿颗、研发器3000万只、射频模块SAW滤波器5000万只)、声表面亿只、移动通讯用射频滤波器40亿只、5G用滤波器5亿只、5G用双工器1亿只建设内容设计能力主体工程1#厂房3层，占地面积4500m²3层，占地面积4500m²0滤波器生产车间2#厂房4层，占地面积1200m²4层，占地面积1200m²0层分别为员工办公室、文化活动室、餐厅3#厂房5层，占地面积4000m²5层，占地面积4000m²0依托现有，1-3层用于生产，4层为测试中心，5层新增喷砂工艺贮运工程原料仓库1#厂房占地面积50m²占地面积50m²03#厂房占地面积100m²占地面积100m²0依托现有，通过增加周转，满足全厂需求，位于3#厂房1层危化品仓库占地面积36m²占地面积36m²0依托现有，通过增加周转，满足全厂需求，位于3#厂房1层0占地面积20m²内，危险品库的温度控制为25±5℃,负压状态，采用全新风空调系统，新特气仓库占地面积20m²占地面积20m²0依托现有，通过增加周转，满足全厂需求，位于厂区西北角成品仓库1#厂房占地面积30m²占地面积30m²03#厂房占地面积60m²占地面积60m²0公用工程自来水给；因现有项目未考虑初期雨水的核收集进入污水处理站(TW003)处理后全部回用去离子水1#厂房0依托现有，全厂共计4套10t/h的去3#厂房0供电1000万度/年1200万度/年由市政电网供给1个容积150m³1个容积150m³+4个100m³集污袋100m³集污袋新增4个100m³集污袋1个容积12m³1个容积12m³0/1个容积2m³1个容积2m³0/空气净化系统1#厂房百级、千级、万级百级、千级、万级0十级、百级十级、百级3#厂房千级、准百级、万级、十万级千级、准百级、万级、十万级0依托现有，不新增厂房和车间1#厂房7台，单台循环量90m³/h7台，单台循环量0依托现有3#厂房6台，单台循环量507m³/h6台，单台循环量0依托现有环保工程理剥铝、去胶2#、清洗废气1#厂房除雾1级水喷淋+除雾+活性炭吸附/脱附+燃烧装置(TA003)+30m高排气筒DA0011级水喷活性炭吸附/脱附+排气筒0本项目不涉及3#厂房除雾(TA002)0依托现有乙醇、丙酮蒸馏废气、光刻、固化、显影、湿处理、匀1#废气3#厂房和1#厂房共用//0依托现有废气、蚀刻1#、3#厂房碱喷淋(TA004)+30m高排气筒DA002碱喷淋(TA004)+30m高排气筒DA0020依托现有废气喷砂废气3#厂房/布袋除尘器(TA005)+30m高DA002新增1套布站废气/3套活性炭吸附装置处理后通3套活性炭吸附装置通过3根DA003~DA0050不变理生活污水1个，20m³化粪池+1套一体化污水处理装置(TW001)1个20m³化粪池+1套0不变1#厂房生产废水(TW002污水处理1套，100m³/d污水处理站(工艺：MBR+RO+NF)1套，100m³/d污水处理0依托现有。本次扩建后，1#厂房生产废水量不变，污水处理站(TW002)和污水处理站(TW003)经共用的入现有“MVR蒸发器”处理。水处理站(TW003)处理后回用，不外排1#厂房生产废水(TW003污水处理1套，100m³/d污水处理站(工艺：RO+NF)1套，100m³/d污水处理站(工艺：RO+NF)01套，处理能力：30m³/d0效蒸发器3#厂房生产废水(TW004+TW005污水处理站)(工艺：斜管沉淀+水解酸化+MBR+过滤+RO+NF+DTRO2套并联，处理能力合300t/d+1套400t/d)(工艺：斜管沉淀+水解酸化+MBR+过滤+RO+NF+DTRO膜)0依托现有。本项目湿处理废水经车间预处理设施(TW008)预处理后，和其他生产废水接入厂区污水处理站(TW004+TW005)处理，产生的再生水回用至生产；污水处理站(TW004+TW005)产生的尾水一部分进入冷却塔，一部分进入DTRO膜+MVR蒸发器(TW006)处理。MVR蒸发器1套，处理能力：2t/h1套，处理能力：2t/h0低温蒸发器(TW007)1套，处理能力：3t/d2套(一用一备),单的低温蒸发器新增1套3t/d的低温蒸发器(备用)。处理废碱液和湿处理液车间预处理设施/1套，处理能力：80t/d属捕捉+沉淀)新增1套新增，湿处理车间湿处理废水经车间预处理设施(TW008)处理达标后，接入污水处理站(TW004+TW005)噪声处理厂房隔声、距离衰减，降噪量≥25dB(A)厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪固废危废暂存间0依托现有0依托现有一般固废仓库0依托现有3、主要产品及产能情况根据江苏无锡经济开发区经济发展局提供的《关于无锡市好达电子股份有限公司战略性新兴产业的情况说明》,无锡市好达电子股份有限公司作为无锡经济开发区规上重点集成电路企业，主要从事声表面波射频波器芯片的研发、设计、生产和销售，主要产品包括滤波器、双工器和谐振器，符合《战略性新兴产业分类(2018)》要求，为战略性新兴企业。扩建项目新增的片式温度补偿声表面波滤波器(TC-SAW和薄膜声表面波滤波器(TF-SAW),属于上述声表面波射频波器芯片，主要应用于无线通讯、消费电子、汽车和工业控制等领域，其芯片研发、设计、生产为集成电路制造过程，因此确定行业类别为C3973集成电路制造。表2-2本项目主要产品及产能情况产装置或生产线)设计能力时数(h)3#厂房片式温度补偿声表面波滤波器(TC-SAW)7.2亿颗/年13.2亿颗/年发区数据局《江苏省投资备案证》(锡经数投备[2024]12号),本项目产品为集成电路，因此行业类别为C3973集成电路制造薄膜声表面波滤波器(TF-SAW)0研发试制线5G用BAW滤波器3000万只/年3000万只/年05000万只/年5000万只/年00声表面波(SAW)滤波器30亿只/年30亿只/年05G用滤波器5亿只/年5亿只/年05G用双工器1亿只/年1亿只/年01#厂房声表面波滤波器1200万只/年1200万只/年01200万只/年1200万只/年00数量(台)1晶片清洗设备330203光刻机+匀胶显影设备NSR1755i7A/JKG-2A/5004匀胶机kW系列/直线双腔/Tell8805匀胶显影机MARK8/2C2D/TELACT12/TELA0607显影机66089打胶机等离子/JET/邑文0热电干燥烘箱0220北方华创/ICP58自动曝光机550佳宸0/0自动打码机/110半导体封装全自动打码机/330印标机/550蒸发台0电镜/110台阶仪440激光(光刻机光源)440/110/110/220/110/110/5探针台058/69/440/24/1100/0贴膜机/9芯片式全自动检查机/110去胶机00自动解胶机/220/110回流炉0671/440/220/110/220/110下料机/110/110/110/792/220/330/110/110/110/440/快速温变试验箱(线性10℃)110快速温变试验箱(线性20℃)110高低温试验箱/330冷热冲击箱440高低温交变湿热箱/550正置金相显微镜/0/110网络分析仪220离子研磨仪/110/110/110/110双束FIB/110110高速寿命试验装置220功率反射计设备/110110充氮充氦氟油检漏平台110功率测试系统110制氮机(分子筛吸附)/67/0102喷砂机/01新增设备与共用设备产能匹配性分析：表2-4新增设备与共用设备产能匹配性分析序号新增(台)产能力小时)生产能力小时)(台)/小时)行小产能力年)产能力年)产能力占比/年)产能力占比是否1晶片清洗设备003是200是3光刻机+匀胶显00是4匀胶机008是5匀胶显影机00是600是7显影机006是81是900是热电干燥烘箱00是002是38是自动曝光机005是00是00是半导体封装全自动打码机003是印标机005是蒸发台00是CMP抛光机39是机004是005是2是004是全自动基板剥002是29是002是003是001是004是表2-5本次扩建主要消耗原辅材料一览表序号扩建项目1晶片二氧化硅或钽酸锂或铌酸锂本次新增原料仓库2陶瓷、金本次新增3本次新增室外危化品5清洗剂本次新增6高纯铝99.99%铝工艺参数优化后在现有项目平衡原料仓库7环氧树脂85%、固化剂10%(乙烯三胺)、稀释剂5%(丁1本次新增室外危化品基缩水甘油醚)8本次新增9光刻胶工艺参数优化后在现有项目平衡1%-10%二乙二醇丁醚、1%-10%二甘醇胺、1%-10%二丙9本次新增丙酮丙酮(电子级)本次新增液2本次新增室外危化品正胶显影液4.8%四甲基氢氧化铵、1%-10%乙二醇、1%表面活性剂、1%抑制剂、83.2%-94.2%水本次新增原料仓库2#负胶显影液工艺参数优化后在现有项目平衡/8本次新增本次新增室外危化品35%双氧水1本次新增1本次新增四氟化碳本次新增室外危化品10%氨基磺酸镍、8%氯化镍、0.5%咪唑类化合物、1.5%聚本次新增乙醇纯品8本次新增金丝纯度：99.999%工艺参数优化后在现有项目平衡原料仓库2#原料仓库2#纯锡原料仓库2#氮气万m³/a特气库氩气/本次新增特气库氧气/本次新增特气库氦气本次新增特气库钢砂/本次新增原料仓库氟油/工艺参数优化后在现有项目平衡室外危化品助焊剂原料仓库/本次新增特气库/本次新增特气库/本次新增特气库/外危化品专用柜室外危化品次氯酸钠/6污水处理站//重金属捕捉剂/1//表2-6全厂主要原辅材料一览表序号新增1晶片二氧化硅/钽酸锂/铌酸锂16.38万片滤波器原材料，3#厂房，一2陶瓷、金48.21万只0208.33万只041.67万只34帽盖0208.33万只/铁041.67万只5清洗剂06高纯铝99.99%铝实际运行过程，镀膜工艺变7环氧树脂胶(乙烯三胺)、稀释剂5%(丁基缩水甘油醚)半个月1次81月1次研磨9光刻胶丙二醇甲醚醋酸酯85%、4-乙烯基苯酚15%0半个月1次光刻321去胶剂1%-10%二乙二醇丁醚、1%-10%二甘醇胺、1%-10%二丙二醇甲醚醋酸酯、50%-90%甲基吡咯烷酮半个月1次去胶(1#)丙酮丙酮(电子级)异丙醇15%、单丁醚40%、0半个月1次剥铝、去胶(2#)20%、醇类化合物15%、纯57半个月1次正胶显影液4.8%四甲基氢氧化铵、1%-10%乙二醇、1%表面活性剂、1%抑制剂(硫酸锌)、半个月1次显影负胶显影液0半个月1次末/01个月1次厂房19半个月1次半个月1次01个月1次1#厂房手工蚀刻56半个月1次00/不再使用乙酸0半个月1次1#厂房手工蚀刻四氟化碳半个月1次蚀刻硅酸纳/00/不再使用10%氨基磺酸镍、8%氯化镍、0.5%咪唑类化合物、1.5%聚氧乙烯脂肪醇类化合物、80%水乙醇99.5%纯品丙烯酸树脂85%、感光性单体(碳酸单丙烯酸酯)10%、光引发剂(光照聚合物)5%01年一次打码371G胶粘剂乙二酸二甲酯40-60%,N,N-二甲基甲酰胺5-15%,丙烯01年一次1#厂房装配金丝01年一次01年一次纯锡年054亿只1个月一次氮气万m³/a080m³储罐/蚀刻工序的气体保护氩气/1个月一次氧气11个月一次氦气01个月一次钢砂/01个月一次喷砂01个月一次/机油润滑油01个月一次维修保养氟油/01个月一次检漏助焊剂01个月一次/1个月一次/01个月一次蚀刻/01个月一次蚀刻/01个月一次蚀刻次氯酸钠*06/0/0/01/0/0氢氧化钠*01个月1次盐酸*1乙醇分子式为C₂H₅O,无色澄清液体，有酒香，熔点：-114.1℃,相对密度(水=1):0.79,沸点：78.3℃;爆炸上限%(V/V):19.0,引燃温下限%(V/V):3.3,与水混溶，可混溶于醚、氯仿、甘油等多数有机溶剂。易燃LDs0:7060mg/kg(兔经口)2丙酮分子式是C₃H₆O,无色透明液体，有芳香气味，极易挥发。熔点：-94.9℃,沸点：56.53℃,闪点：-20℃。爆炸上限%(V/V):13.0,引燃温度(℃):465,爆炸下限%(V/V):2.5,与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类易燃3分子式是NaOH,白色不透明固体，易潮解，熔点：318.4℃,相对密度(水=1):2.12,沸点：1390℃,易溶于水、乙醇、甘油，4光刻胶主要成分为丙二醇甲醚醋酸酯，分子式为C₆H₁₂O₃,无色吸湿液体，有特殊气味，是一种具有多官能团的非公害溶剂。主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂，也可用于液晶显示器生产中的清洗剂。易燃，高于42℃时可5液体，双组份硬性胶，无色、透明6四氟化碳无色，无味，无嗅气体。不溶于水，常压下25℃时为0.0015,溶于氯仿和苯。本品无毒、不燃。高浓度时有麻醉作用。其高纯气及其配高纯氧气的混合气，是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体绝缘介质。化学稳定性及热稳定性均好，对许多试剂呈惰解。常温下不与铜、镍和钨反应。由于C-F键的化学稳定性极强，因此以CF₄吸入，15min)7无色油状液体，熔点10.371℃,沸点337℃,有强腐蚀性，有刺激性气味，易溶于水口);LCs0:510mg/m³,2小时(大鼠吸入),8急性毒性：LDso:3800mg/kg(大鼠吞食)9正胶显影液急性毒性LD50:34~50mg/kg(大鼠经口)清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。熔点-83.3℃,沸点19.54,闪点112.2℃,密度1.15g/cm³。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚鼠吸入)急性毒性：LD₅0:4060mg/kg(大鼠经皮)液急性毒性：LD50:3160mg/kg(大鼠经口)无色透明液体，熔点-42℃(无水),沸点86℃(无水)(大鼠吸入4小时)无色或微黄色液体，熔点-114.8℃,沸点108.6℃急性毒性：LDs₀:900(兔经口)次氯酸钠微黄色(溶液)或白色粉末(固体),有似氯气的气味聚丙烯酰胺是一种线状的有机高分子聚合物，同时也是一种高分子水处理絮凝剂产品，专门可以吸附水中的悬浮颗粒，在颗粒之间起无色或黄色固体。其溶液为无色或黄褐色透明液体，无机高分子水处理药剂。重金属捕捉剂重金属捕捉剂是一种与重金属离子强力螯合的化工药剂，因能在常温和很宽的pH值条件范围内，与废水中的Cu²+、Cd²+、Hg²+、Pb²+、Mn²+、Ni²+、Zn²+、容易过滤去除的絮状沉淀，从而达到从污水中去除重金属离子的化学品被称为柠檬酸是一种重要的有机酸，又名枸橼酸，无色晶体，臭，有很强的酸味，易溶于水。其钙盐在冷水中比热水中易溶解，此性质常用来鉴定和分离柠檬酸。结晶时控制适宜的温度可获得无还原剂是在氧化还原反应中，失去电子或有电子偏离的物还原性，被氧化，其产物叫氧化产物。还原与氧化反应是同时进行的，即说，还原剂在与被还原物进行氧化反应的同时，自身也被氧化建设内容厂区内部按功能分区，现有1#厂房位于地块西北侧，3#厂房位于地块东南侧，本次扩建项目主体区域为3#厂房，并依托1#厂房的不合格品浸泡和蚀刻车间；厂区平面布置图见附图6。生产时数：3#厂房实行2班24小时运转，每班12小时，年生产300天，1#厂房实行2班16小时运转，每班8小时，年生产300天。(清洗用水、湿处理液配置用水、去离子水制备用水、目，现有研磨过程清洗用水量约0.0889kg/d-万只滤波器，扩建项目新增10亿只滤波器，则扩建项目研磨过程新增清洗用水量8.89t/d,年工作300天，则研磨清洗用水8.89×300=2667t/a,排污系数以0.9计，则研磨清洗废水2400.30t/a。程用水量约1.296t/d-亿只滤波器，扩建项目新增10亿只滤波器，则本项目去胶后清洗用水量12.96t/d,年工作300天，则去胶后的清洗用水12.96×300=3888t/a,排污系数以0.9计，则去胶后清洗废水3499.20t/a。扩建项目依托现有的湿处理工艺对晶片进行加工，根据槽体核算，全厂需配置新鲜用水量为89.23t量为(89.23+38.49)×(1-10%)=114.95t/a。现有项目实际运行过程，湿处理废液为酸性液体(pH为2-3),直接蒸发浓缩，现有项目湿处理后的实际清洗用水量为19200t/a,清洗废水产生量17280t/a。本次扩建的生产需求，同时增加湿处理工序的溢流量现有项目共设置4台湿处理机，其中2台湿处理机共计24个水洗槽，溢流水量由1.17L/min提升至1.33333L/min,年运行7200h,则湿处理清洗废水产生量1.33333×60×24×7200/1000≈13824t/a,排污系数以0.9计，清洗用水量为13824/0.9=15360t/a;另2台湿处理机共计18个水洗槽，溢流水量由0.92L/min提升至1L/min,年运行7200h,则湿处理清洗废水产生量1×60×18×7200/1000=7776t/a,清洗废水量为21600t/a(72t/d),用水量为24000t/a(80t/d)。根据上文核算，扩建项目新增湿处理清洗废水量4320t/a,湿处理清洗用水量为根据现有运行数据，现有项目碱液配置用水量为220t/a,产生的废碱液量为建设单位提供设计方案，项目碱液主要对显影液进行pH条件，实际运行过程无废水扩建项目研磨、去胶、湿处理等过程需采用去离子水作性炭过滤→保安过滤→一级RO→二级RO→EDI装置→抛光混床→微孔膜过滤→去有项目运行经验数据，纯水制备率为94%,则新鲜水用量12174.71t/a(其中回用水量为10646.53t/a,自来水1528.18t/a),纯水制备废水产生量730.48t/a(浓水429.25t/a,(3)低温蒸发冷凝水项目扩建后，项目废碱液、湿处理液经混合中和后进入低温蒸发器(TW007)项目废碱液产生量为220t/a,扩建项目不新增废碱液。经中和后废液(混合液产生量334.95t/a)进入低温蒸发器，约能蒸发90%的水分(301.45t/a),蒸发水分中约50% (150.72t/a)冷凝进入污水处理站(TW004+TW005),蒸发损耗量约(4)初期雨水q—暴雨量，L/(s·公顷),采用无锡地区的暴雨强度公式计算：式中：t—时间，取15min;T—设计降雨重现期，取2年。本项目厂区主要收集1#厂房、3#厂房、污水处理站等区域初期雨水，汇流面积约为1.2公顷，拟收集15分钟，则初期雨水单次产生量为316.44m³/次，年暴雨次数按10次计算，则本项目初期雨水产生量为3164.4m³/a,现有项目已设置1个12m³初期雨水收集池和TW003污水处理站的污水调节池(容量为300m³)兼顾收集初期雨回用水箱新鲜水去离子水制备碱液制备初期雨水浓水、反冲洗水730.48损耗：266.7研磨用水2400.3损耗：388.8去胶用水3499.210219.5损耗：4804800湿处理用水4320车间预处理设施湿处理液38.49损耗：12.77150.72湿处理液配置损耗：150.73废液114.95废碱液蒸发浓缩液污水处理站(TW003)回用生产DTRO膜处理 蒸发残液冷却塔损耗：3840生活用水太湖新城污水处理厂回用水箱,损耗：30503新鲜水去离子水制备湿处理液38.49损耗：20966.7损耗：500蒸发残液湿处理液配置27601.49(含本湿处理液114.95浓水、反冲洗水10830.48(含本次新增730.48)次新增446.49)湿处理液114.95损耗：13049770水喷淋塔损耗：58905冷却塔冷却塔损耗：150.73碱液制备废碱液碱液制备废碱液损耗：60碱喷淋塔损耗：60碱喷淋塔6喷淋废液回用水箱4000有机废水4000去离子水制备4000有机废水4000去离子水制备,损耗：94951#厂房生产DTRO膜处理初期雨水损耗：10080冷却塔强排水2520图2-2全厂水平衡图单位：t/a本项目湿处理工序新增湿处理液14.49t/a,主要成分包括：10镍、0.5%咪唑类化合物、1.5%聚氧乙烯脂肪醇类化合物、80%水。含量：0.247t/a),氯化镍(镍含量0.494t/a),Ni元素总量为0.741t/a。本项目湿处理工序产生的污染物主要为废湿处理液和有机与现有项目碱液中和后，进入低温蒸发器处理，蒸发浓缩液委托有资质单位处置，湿处理后需要用去离子水对晶片表面进行清洗，所以会有一部废水进入污水处理站处理，不外排。类比现有项目，镍元素主要 建设内容 本项目建设后，全厂湿处理工序湿处理液用量为38.49t/a,废湿处理液经与现有项目碱液中和后，进入低温蒸发器处理后，蒸发浓缩液委托有资质单位用去离子水对晶片表面进行清洗，所以会有一部分镍离子进入废水中，湿处理废水进入污水处理站处理，不外排。类比现有项目，镍元素主要进入产品、危废和废水中，具体产品氯化镍小计进入产品1.312进入废水0.018湿处理液、NF₃。主要涉及工序为制模、覆膜、固化、去胶1#、清洗、去胶2#、显影、扩建项目环氧树脂胶新增年用量为1t,主要成分包括：环氧树(乙烯三胺)、稀释剂5%(丁基缩水甘油醚),其中含氮物质为乙烯三胺(分子式为C₄H₁₃N₃),折合N元素含量为0.041t/a。环氧树脂胶主要用于制作环氧膜后经覆盖、固化工序，类比现有项目，N元素100%(0.041t/a)覆盖在产品上。扩建项目321去胶剂新增年用量为9t,主要成分包括：1%-10%二乙二甘醇胺、1%-10%二丙二醇甲醚醋酸酯、50%-90%甲基吡咯烷酮，其中含氮物质主要为二甘醇胺(分子式为C₄H₁NO₂)和甲基吡咯烷酮(分子式为C₅H₉NO),本项目最不利情况折算，10%的二甘醇胺(分子式为C₄H₁₁NO₂)含N元素9×10%×14/105=0.12t/a;70%的甲基吡咯烷酮(分子式为C₅H₉NO)含N元素9×70%×14/99=0.891t/a,综上，折合N元素含量合计为1.011t/a,经去胶1#工序和清洗工序，80%(0.809t/a)进入废去胶剂，20%(0.202t/a)进入生产废水。扩建项目HSE700去胶液新增年用量为2t,主要成分包括：双铵20%、醇类化合物15%、纯水64.9%,其中含氮物质主要为醋酸铵(分子式为CH₃COONH₄),折合N元素含量为2×0.2×14/77=0.073t/a。类比现有项目，经去胶2#工序，80%(0.058t/a)进入废去胶剂、20%(0.015t/a)进入生产废水；扩建项目正胶显影液新增年用量为20t,主要成分包括：4.8%四甲基氢氧化铵、1%-10%乙二醇、1%表面活性剂、1%抑制剂基氢氧化铵(分子式为C₄H₁₃NO),折合N元素含量为20×0.048×14/91=0.148t/a。类比现有项目，经显影工序，80%(0.118t/a)进入废显影液，20%(0.030t/a)进入废碱液；扩建项目湿处理液新增年用量为14.49t,主要成分包括：10镍、0.5%咪唑类化合物、1.5%聚氧乙烯脂肪醇类化合物、80%水氨基磺酸镍(分子式为Ni(NH₂SO₃)2),折合N元素含量为0.126t/a。类比现有项目，经湿处理工序，80%(0.101t/a)进入废湿处理液，20%(0.025t/a)进入生产废水。其中废湿处理液经与废碱液中和后，经低温蒸发器冷凝后，冷凝废水进交有资质单位处理；扩建项目68%硝酸新增年用量为1t,折合N元素含量为0.151t/a。类比现有项目，使用过程中约0.015t/a的氮进入酸性废气，剩余部分(0.136t/a)进入硝酸废液，酸性废气进入碱喷淋装置处理后，通过DA002排放；扩建项目NF₃新增年用量为0.2t,折合N元素含量为0.023t/a。在干法刻蚀工序中N元素(0.023t/a)全部进入酸性废气，进入碱喷淋装置处理后，通过DA002排放；扩建项目PAM年用量为1.2t,分子式为(C₃H₅NO)n,折合N元素含量为0.236t/a,其主要作用吸附水中的悬浮颗粒，在颗粒之间起链接架桥作用，使细颗粒形成比较大的入方(以N计，t/a)出方(以N计，t/a)环氧树脂胶产品321去胶剂废气酸性废气回用水正胶显影液固废68%硝酸废去胶剂污泥//喷淋废液HSE700去胶液20.162MVR蒸发器68%硝酸1NF₃,0.2喷淋废液蒸发冷凝水喷淋处理污水处理站321去胶剂9湿处理工序显影工序蚀刻工序去胶2#本项目运营过程中全厂含氮物质主要有环氧树脂胶、321去胶剂、正胶显影液、硝酸、湿处理液、氮气、NF₃、PAM。主要涉及工序为制模、覆膜、固化、去胶1#、清洗、去胶2#、显影、湿处理、蚀刻、污水处理等。入方