CESA-2023096磁光克尔显微镜团体标准编制说明

中国电子工业标准化技术协会

团体标准《磁光克尔显微镜》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、项目背景

当今高度智能化社会中，以磁性随机存储器（MRAM）、巨磁阻传感器（GMR

Sensor）等为代表的新型电子自旋器件，将在大数据信息存储、硬盘信息读取、

定位及导航、汽车自动驾驶等领域扮演重要角色。磁性薄膜是制造MRAM芯片、GMR

传感器芯片的基础。磁光克尔成像技术是精确、直观、快速检测磁性薄膜性质和

质量，检测自旋电子器件作用过程的重要手段。磁光克尔显微镜是此领域研究的

重要工具。

磁光克尔显微镜设备可应用于高等院校、科研院所的科学研究，用于探测材

料和自旋电子芯片的性能，包括磁性动力学研究、磁性材料性质测试，自旋电子

芯片测试等；可用于产业界的磁性材料研发和自旋电子芯片研发制造等。

磁光克尔显微镜是磁性芯片等领域的重要研发工具，当前商用的磁光克尔显

微镜市场几乎被德国的Evico公司和英国的DurhamMagnetoOpticsLtd公司占

领。国内磁光克尔显微镜设备打破了这种垄断局面，但是目前尚未有高性能磁光

克尔显微镜实现商业化量产。当前我国针对磁光克尔显微镜的相关标准处于空白

状态，这使得磁光克尔显微镜设备的研发应用受到限制。该标准的制定有利于规

范磁光克尔显微镜的设计、制造流程以及产品质量，为磁光克尔显微镜的产品验

收提供技术依据，有效促进磁光克尔显微镜的推广应用，有利于推动国内基于磁

性薄膜的相关芯片和传感器的研发，助力国家科学和信息产业的发展。

2、任务来源

本文件的编制任务来源于中国电子工业标准化技术协会（以下简称“中电标

协”）2023年11月27日发布的《关于公布2023年第十批团体标准制修订项目的通

知》（中电标通[2023]030号），项目号为CESA-2023-096，项目标准名称为：磁

光克尔显微镜。本文件为新制定标准，项目周期为12个月。技术归口单位是中国

电子工业标准化技术协会，项目牵头单位为致真精密仪器有限公司。

3、标准起草单位

中国电子工业标准化技术协会

本标准起草单位：致真精密仪器有限公司、北京航空航天大学、中国电子技

术标准化研究院、中国电子科技集团公司第九研究所、中国计量大学、中国科学

院物理研究所、致真存储（北京）科技有限公司、中国计量科学研究院……

4、主要工作过程

1）标准预研

2023年3月-2023年7月，针对磁光克尔显微镜设备，致真精密仪器有限公司

进行了广泛的前期研究，并查阅了大量的相关标准、规范，并与标准起草单位进

行讨论，初步确认了该标准草案的框架和主要内容，开始撰写标准草案。

2023年9月，致真精密仪器有限公司完成了标准草案的初步撰写。

2023年9月28日，各标准起草单位对标准草案进行了讨论，旨在进一步修订

标准的内容。修改完善后形成齐套立项材料申报立项。

2)标准立项

2023年10月13日，由中国电子工业标准化技术协会组织团体标准立项论证

会，对《磁光克尔显微镜》团体标准项目建议进行了论证，并同意立项。

3）标准编制

2023年11月27日，根据中电标协发布的《关于公布2023年第十批团体标准制

修订项目的通知》（中电标通[2023]030号）要求，致真精密仪器有限公司联合

中国电子技术标准化研究院等单位成立标准起草组，开展标准编制工作。

2023年12月4日，标准起草组主要负责人召开会议，对后续标准制定工作进

行规划安排，推进标准草案编写进度。会议中对标准草案进行了研讨，初步形成

了《磁光克尔显微镜》（草案）。

2024年12月5日-2024年6月10日，标准起草组对草案进行研讨和完善。

2024年6月11日，标准起草组成员召开研讨会，会议集中对草案的内容再次

进行了详细讨论。最终，会后形成该标准的《磁光克尔显微镜》（征求意见稿），

提交中电标协公开征求意见。

二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题

1、标准编制原则

在标准编制过程中，遵循了以下原则：

中国电子工业标准化技术协会

a)科学性。本标准依托现有产业应用要点，充分结合生产企业以及用户企

业产学研用的优势，充分利用科研成果、产业需求调研结果，保障标准指标的科

学合理。

b)先进性。本标准制定过程中充分考虑了磁光克尔显微镜最新的技术趋势

和发展方向，具有前瞻性。

c)全面性。本标准在编制过程中充分考虑到标准的全面性，保证能够覆盖

到磁光克尔显微镜设备中的各项指标，确保标准的完备性。

d)中立性。在本标准制定过程中，编制工作组对标准文本进行了充分讨论，

确保了中立性和客观性。

e)规范性。本标准的编写遵守国家标准GB/T1.1-2020《标准化工作指导

第一部分：标准化文件的结构和起草规则》。

2、标准主要内容

本文件规定了磁光克尔显微镜设备的术语和定义、结构、分类、基本参数、

工作条件、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。其中基本参

数主要包括成像视野、磁成像分辨率、磁成像灵敏度、磁场强度范围以及磁场监

测精度等。

本文件适用于磁光克尔显微镜设备的设计、生产及测试。产品可以用于观察

磁性材料表面以及磁性薄膜材料的磁化状态并成像。

3、主要解决的问题

目前国内没有与磁光克尔显微镜设备相关的标准，本标准主要解决市场中不

同生产厂商所生产设备的差异化问题。本标准的制定有助于集成电路产业链的建

设，有效避免定制化产品导致的市场垄断局面。

三、主要试验[或验证]情况分析

在本文件编制过程中，多家行业内生产单位以及用户企业、科研院校积极参

与到编制工作当中，充分考虑当下科技发展现状及应用需求。从市场符合性角度

分析，标准中所涉及设备已经投入到实际生产与科研工作当中，所涉及的技术指

标均已经通过测试验证，所涉及的技术内容符合我国产业需求。

四、知识产权情况说明

无。

中国电子工业标准化技术协会

五、产业化情况、推广应用论证和预期达到的经济效果

本文件规定了磁光克尔显微镜设备的构成及技术指标，指导磁光克尔显微镜

设备的设计、制造、采购和评价活动，解决由于标准不统一所导致的同类产品之

间的差异，解决集成电路生态链不完整等问题。本标准的发布有助于打破磁光克

尔显微镜市场的国际垄断局面，推动集成电路产业链的国产化进程。

本文件的发布有助于磁光克尔显微镜设备的推广应用，推动磁光克尔显微镜

设备市场发展，进一步推动磁性芯片和集成电路制造领域的发展。

六、转化国际标准和国外先进标准情况

该项目不涉及国际标准或者国外先进标准的转化问题。

七、与现行相关法律、法规、规章及相关标准的协调性

该项目符合我国有关的现行法律、法规。

八、重大分歧意见的处理经过和依据

无重大分歧意见。

九、贯彻标准的要求和措施建议

通过文件的实施实现产业内的共识性规范，推动磁光克尔显微镜设备在磁性

芯片研发领域和集成电路制造领域的应用。

待文件正式发布后，可以通过各级组织和科研单位进一步贯彻和实施，推动

各级各类高校、科研机构、企事业单位在研发过程中采用本标准。建议发布后立

即实施。

十、替代或废止现行相关标准的建议

无。

十一、其它应予说明的事项

无。

《磁光克尔显微镜》团体标准编制起草组

2024-06-××

中国电子工业标准化技术协会

团体标准《磁光克尔显微镜》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、项目背景

当今高度智能化社会中，以磁性随机存储器（MRAM）、巨磁阻传感器（GMR

Sensor）等为代表的新型电子自旋器件，将在大数据信息存储、硬盘信息读取、

定位及导航、汽车自动驾驶等领域扮演重要角色。磁性薄膜是制造MRAM芯片、GMR

传感器芯片的基础。磁光克尔成像技术是精确、直观、快速检测磁性薄膜性质和

质量，检测自旋电子器件作用过程的重要手段。磁光克尔显微镜是此领域研究的

重要工具。

磁光克尔显微镜设备可应用于高等院校、科研院所的科学研究，用于探测材

料和自旋电子芯片的性能，包括磁性动力学研究、磁性材料性质测试，自旋电子

芯片测试等；可用于产业界的磁性材料研发和自旋电子芯片研发制造等。

磁光克尔显微镜是磁性芯片等领域的重要研发工具，当前商用的磁光克尔显

微镜市场几乎被德国的Evico公司和英国的DurhamMagnetoOpticsLtd公司占

领。国内磁光克尔显微镜设备打破了这种垄断局面，但是目前尚未有高性能磁光

克尔显微镜实现商业化量产。当前我国针对磁光克尔显微镜的相关标准处于空白

状态，这使得磁光克尔显微镜设备的研发应用受到限制。该标准的制定有利于规

范磁光克尔显微镜的设计、制造流程以及产品质量，为磁光克尔显微镜的产品验

收提供技术依据，有效促进磁光克尔显微镜的推广应用，有利于推动国内基于磁

性薄膜的相关芯片和传感器的研发，助力国家科学和信息产业的发展。

2、任务来源

本文件的编制任务来源于中国电子工业标准化技术协会（以下简称“中电标

协”）2023年11月27日发布的《关于公布2023年第十批团体标准制修订项目的通

知》（中电标通[2023]030号），项目号为CESA-2023-096，项目标准名称为：磁

光克尔显微镜。本文件为新制定标准，项目周期为12个月。技术归口单位是中国

电子工业标准化技术协会，项目牵头单位为致真精密仪器有限公司。

3、标准起草单位

中国电子工业标准化技术协会

本标准起草单位：致真精密仪器有限公司、北京航空航天大学、中国电子技

术标准化研究院、中国电子科技集团公司第九研究所、中国计量大学、中国科学

院物理研究所、致真存储（北京）科技有限公司、中国计量科学研究院……

4、主要工作过程

1）标准预研

2023年3月-2023年7月，针对磁光克尔显微镜设备，致真精密仪器有限公司

进行了广泛的前期研究，并查阅了大量的相关标准、规范，并与标准起草单位进

行讨论，初步确认了该标准草案的框架和主要内容，开始撰写标准草案。

2023年9月，致真精密仪器有限公司完