CN120292832A 一种程控式内循环洁净烘箱 （华羿微电子股份有限公司）

(19)国家知识产权局F26B25/12(2006.01)(71)申请人华羿微电子股份有限公司地址710000陕西省西安市经济技术开发区草滩生态产业园尚稷路8928号(72)发明人张超马有有金浩怡马耀祖张新元李乐成辛海军孙杰(74)专利代理机构北京中济纬天专利代理有限公司11429专利代理师石淑珍F26B21/00(2006.01)(54)发明名称一种程控式内循环洁净烘箱本发明提供一种程控式内循环洁净烘箱。该程控式内循环洁净烘箱，包括外壳体、塔灯与扫描枪，外壳体内部设有控制装置，门模块包含门、拉手、合页与标识牌，内胆模块有PC板卡、加热风口构成。通过控制装置协同PC板卡控制加热器产生热量，循环风机带动叶轮使热风在内胆固化仓与风道间循环，经调风装置调节，确保内部气体均匀分布，配合温度传感器实时监测及反馈调121.一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于，包括：外胆模块(1),所述外胆模块(1)包括外壳体(5)与塔灯(6),所述外壳体(5)的前端设置有扫描枪(7),所述外壳体(5)的上端与塔灯(6)固定连接，所述外壳体(5)的内部设置有控制装置(29),所述外壳体(5)的前端设置有门模块(3),所述外壳体(5)的内部设置有内胆模块(2),所述外壳体(5)的底部设置有风道模块(4);所述门模块(3)包括门(19)、拉手(20)、合页(21)与标识牌(22);所述内胆模块(2)包括PC板卡(28)、加热仓(26)、加热器(18)、固化仓(10)、第一层板感器(25);所述风道模块(4)包括循环风机(8)、叶轮(17)、出风口(23)、调风装置(27)与回风口2.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述外壳体(5)的底部固定连接有地脚(9),所述地脚(9)的数量为四个且均匀分布在所述外壳体(5)的底部。3.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述门(19)位于所述外壳体(5)的前端并通过合页(21)铰链连接，所述门(19)的前端与拉手(20)固定连接，所述门(19)的前端与标识牌(22)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述加热仓(26)位于所述外壳体(5)的底部，所述加热器(18)安装在所述加热仓(26)的内部。5.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述第一层板(11)、第二层板(12)、第三层板(13)、第四层板(14)、第五层板(15)与第六层板(16)分别安装在所述固化仓(10)的内部，所述固化仓(10)位于所述外壳体(5)的内部。6.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述温度传感器(25)安装在所述第一层板(11)的上方且均匀分布在左后、右后、左前与右前，所述温度传感器(25)安装在所述第三层板(13)的中间位置，所述温度传感器(25)安装在所述第六层板7.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述循环风机(8)位于外壳体(5)的后端，所述叶轮(17)位于外壳体(5)的一侧，所述出风口(23)位于外壳体(5)的右后侧，所述回风口(24)位于外壳体(5)的左后侧，所述调风装置(27)位于外壳体(5)的内部。8.根据权利要求1所述的一种程控式内循环洁净烘箱，其特征在于：所述PC板卡(28)位于外壳体(5)的内部，所述PC板卡(28)与所述温度传感器(25)电性连接。3技术领域[0001]本发明涉及集成电路封装的塑封后固化技术领域，具体为一种程控式内循环洁净烘箱。背景技术[0002]半导体芯片通常在塑封后需要固化，而固化是集成电路封装的关键工序，主要目的包括保护芯片，通过环氧树脂等塑封材料，将芯片、金属引线和支架完全包封，形成物理屏障，防止湿气、尘埃和机械应力对芯片的损害；消除翘曲，在固化过程中使塑封体受热均匀，减少因材料收缩导致的翘曲现象；提升可靠性，确保塑封材料充分交联固化，提高封装[0003]目前在进行半导体芯片的固化操作时通常采用洁净烘箱进行，洁净烘箱的无尘烘箱是一种专为高温净化环境设计的烘干设备，通过耐高温高效空气过滤器实现封闭自循环，确保工作室内达到Class100,甚至更高的洁净度，同时提供精密的温度和湿度控制，洁净烘箱通过热空气循环+精确温控实现固化，其核心组件包括加热系统、保温层、温度控制发明内容[0004]针对现有技术的不足，本发明提供了一种程控式内循环洁净烘箱，解决了在长时间的高温工作状态下使得洁净烘箱的能耗较高，长时间高负荷运行成本高，同时大型烘箱边缘与中心温差大，影响固化的一致性，进而影响芯片后期使用性能的问题。[0005]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种程控式内循环洁净烘述外壳体的上端与塔灯固定连接，所述外壳体的内部设置有控制装置，所述外壳体的前端设置有门模块，所述外壳体的内部设置有内胆模块，所述外壳体的底部设置有风道模块；[0009]优选的：所述外壳体的底部固定连接有地脚，所述地脚的数量为四个且均匀分布在所述外壳体的底部。[0010]优选的：所述门位于所述外壳体的前端并通过合页铰链连接，所述门的前端与拉手固定连接，所述门的前端与标识牌固定连接。[0011]优选的：所述加热仓位于所述外壳体的底部，所述加热器安装在所述加热仓的内安装在所述固化仓的内部，所述固化仓位于所述外壳体的内部。4[0013]优选的：所述温度传感器安装在所述第一层板的上方且均匀分布在左后、右后、左前与右前，所述温度传感器安装在所述第三层板的中间位置，所述温度传感器安装在所述[0014]优选的：所述循环风机位于外壳体的后端，所述叶轮位于外壳体的一侧，所述出风口位于外壳体的右后侧，所述回风口位于外壳体的左后侧，所述调风装置位于外壳体的内[0015]优选的：所述PC板卡位于外壳体的内部，所述PC板卡与所述温度传感器电性连接。[0016]本发明提供了一种程控式内循环洁净烘箱。具备以下有益效果：[0017]通过采用PMC程控，以及固化仓体内均布的探头，使得烘箱边缘与中心温差实时监测并控制减小，提高半导体芯片固化的一致性。[0018]采用热风循环送风来干燥物料，将热风由风道送入烘箱的工作室，且将使用后的热风再次吸入风道成为风源再度循环加热，并配合调风装置，使内部的气体均匀分布，进而使产品均匀受热，有效降低烘箱长时间高温工作的能耗。附图说明[0019]图1为本发明内部结构示意图；[0020]图2为本发明外胆模块结构示意图；[0021]图3为本发明内胆模块结构示意图；[0022]图4为本发明的门模块结构示意图；[0023]图5为本发明温度传感器分布示意图；[0024]图6为本发明的循环系统结构示意图。具体实施方式[0026]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他[0028]如图1-6所示，本发明实施例提供一种程控式内循环洁净烘箱，包括，外胆模块1,外胆模块1包括外壳体5与塔灯6,外壳体5的前端设置有扫描枪7,外壳体5的上端与塔灯6固定连接，外壳体5的内部设置有控制装置29,外壳体5的底部固定连接有地脚9,地脚9的数量为四个且均匀分布在外壳体5的底部，确保设备放置平稳，外壳体5的前端设置有门模块3,外壳体5的内部设置有内胆模块2,外壳体5的底部设置有风道模块4。[0029]门模块3包括门19、拉手20、合页21与标识牌22,门19位于外壳体5的前端并通过合5页21铰链连接，门19的前端与拉手20固定连接，门19的前端与标识牌22固定连接，各部件连接方式及作用，方便物料进出与设备管理。[0032]实施例二[0033]如图1-6所示，本发明实施例提供一种程控式内循环洁净烘箱，包括，外胆模块1,外胆模块1包括外壳体5与塔灯6,外壳体5的前端设置有扫描枪7,外壳体5的上端与塔灯6固定连接，外壳体5的内部设置有控制装置29,外壳体5的底部固定连接有地脚9,地脚9的数量为四个且均匀分布在外壳体5的底部，确保设备放置平稳，外壳体5的前端设置有门模块3,外壳体5的内部设置有内胆模块2,外壳体5的底部设置有风道模块4。12、第三层板13、第四层板14、第五层板体5的底部，加热器18安装在加热仓26的内部，保障高效加热，第一层板1三层板13、第四层板14、第五层板15与第六层板16分别安装在固化仓10的内部，利于物料均匀受热，固化仓10位于外壳体5的内部，温度传感器25安装在第一层板11的上方且均匀分布在左后、右后、左前与右前，温度传感器25安装在第三层板13的中间位置，温度传感器25安装在第六层板16的上方且均匀分布在左后、右后、左前与右前，实现精准温度监测，PC板卡28位于外壳体5的内部，PC板卡28与温度传感器25电性连接，实现温度精确控制。[0037]实施例三[0038]如图1-6所示，本发明实施例提供一种程控式内循环洁净烘箱，包括，外胆模块1,外胆模块1包括外壳体5与塔灯6,外壳体5的前端设置有扫描枪7,外壳体5的上端与塔灯6固定连接，外壳体5的内部设置有控制装置29,外壳体5的底部固定连接有地脚9,地脚9的数量为四个且均匀分布在外壳体5的底部，确保设备放置平稳，外壳体5的前端设置有门模块3,外壳体5的内部设置有内胆模块2,外壳体5的底部设置有风道模块4。[0041]风道模块4包括循环风机8、叶轮17、出风口23、调风装置27与回风口24,循环风机8位于外壳体5的后端，叶轮17位于外壳体5的一侧，出风口23位于外壳体5的右后侧，回风口24位于外壳体5的左后侧，调风装置27位于外壳体5的内部，保证热风有效循环与调节。[0042]工作原理：固化仓10采用SUS201不锈钢镜面板制造，这种材质具有良好的耐腐蚀性和光洁度，能够有效防止在烘干过程中因环境因素导致的生锈等问题，保证产品固化环境的清洁，仓内设置的多层层板，为放置待烘干物料提供了充足空间，且层板的合理布局有助于热风在固化仓10内部均匀分布，使物料能够全方位、均匀地接受热量，加热仓26同样采用SUS201不锈钢镜面板制造，为加热器18提供了一个稳定、耐用的工作环境，保障加热器186信息处理系统开始初始化工作，随后，控制装置29依据预设程序向PC板卡28发送启动指令，PC板卡28控制位于加热仓26内的加热器18通电，加热器18迅速将电能转化为热能，对加热仓26内的空气进行加热，使空气温度快速上升，形成初始的热风，循环风机8在控制装置29的驱动下开始运转，电机的高速转动带动叶轮17旋转，叶轮17的转动产生强大的吸力，将加热仓26内已加热的热风通过出风口23吹出，吹出的热风沿着特定的风道，被输送至烘箱的固化仓10,在固化仓10内，热风会依次流经各层板，与放置在层板上的物料充分接触，通过热传递的方式带走物料中的水分，实现干燥物料的目的，由于固化仓采用不锈钢镜面板，能够有效减少热量散失，增强热风循环的效率。第三层板13中间位置，以及第六层板16上方分布在左后、右后、左前、右前均安装有温度传感器25,这些传感器实时采集所在位置的空气温度信息，并将温度信号以电信号的形式传送给与之电性连接的PC板卡28,PC板卡28接收到这些温度信号后，会将其与预设的温度值进行精确比较，若检测到实际温度低于预设温度值，PC板卡28会通过控制装置29增大加热器18的加热功率，使加热仓26内产生更多的热量，从而提升循环热风的温度，若检测到实际温度高于预设温度值，PC板卡28则会降低加热器18的加热功率，甚至暂时停止加热器18工[0045]同时还可能对循环风机8的转速进行调节，以控制热风的循环速度，确保烘箱内温度在满载恒温稳定段能够保持在±5℃的均匀性范围内，使用后的热风并不会直接排出烘箱，而是在循环风机8的吸力作用下，通过回风口24再次被吸入风道，重新回到加热仓26,成为新的热风源，回到加热仓26的热风与加热器18新产生的热量混合，再次被加热升温，随后又被循环风机8驱动进入固化仓10进行新一轮的干燥工作，这种热风源循环加热的方式，极大地提高了能源的利用效率，减少了能源的浪费，降低了整个烘干过程的能量消耗。[0046]三级超温保护机制在设备运行过程中时刻监测温度，当温度传感器25检测到温度超过