CN114952898B 设备制造装置、设备制造方法、教学位置调整方法及计算机可读取记录介质（佳能特机株式会社）

(12)发明专利地址日本新泻县有限公司11038JP2015032617A,2015.02.16机器人的动作，在上述机器人手部设置有标记上述机器人的动作的控制的多个教学位置相关定位置的状态下，基于使用上述标记部测定出21.一种设备制造装置，其中，包括：多个腔室；以及机器人系统，用于在上述多个腔室之间搬送被搬送体，所述机器人系统包括：机器人，包括机器人手臂部和能够旋转地连结于上述机器人手臂部的机器人手部；以及控制部，控制上述机器人的动作，上述控制部包括存储部，上述存储部存储与用于上述机器人的动作的控制的多个教学位置相关的信息，上述控制部基于在上述机器人手部设置在规定位置的状态下测定出的与上述机器人手部的位置相关的信息，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的、与不同于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进行补正，上述多个腔室包括进行对第1被搬送体的处理的处理室、收纳第2被搬送体的第2被搬送体收纳腔室、第1被搬送体的流动方向上的上游侧的通道室、以及上述流动方向上的下游侧的缓冲室，在上述通道室设置有测定机构，上述测定机构用于测定上述规定位置的上述机器人手部的位置。2.一种设备制造方法，使用权利要求1所述的设备制造装置，基于上述存储部中存储的与多个教学位置相关的信息来搬送基板，并对上述基板进行处理而制造设备，其中，上述设备制造方法包括：位置信息取得阶段，将上述机器人手部设置于规定位置，取得与上述机器人手部的位置相关的信息；以及教学位置补正阶段，基于在上述位置信息取得阶段取得的与上述机器人手部的位置相关的上述信息，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的、与不同于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进行补正。3.根据权利要求2所述的设备制造方法，其中，上述位置信息取得阶段是将上述机器人手部设置于上述规定位置并取得与上述机器人手部的旋转角方向、第1方向以及第2方向的任意方向上的位置相关的信息的阶段，上述第1方向与上述旋转角的旋转轴交叉，上述第2方向与上述旋转轴和上述第1方向交叉。4.根据权利要求2所述的设备制造方法，其中，还包括初始位置存储阶段，在上述位置信息取得阶段之前，将第1信息预先存储于上述存储部，上述第1信息与在上述机器人手部设置于上述规定位置的状态下测定出的上述机器人手部的位置相关。5.根据权利要求4所述的设备制造方法，其中，还包括位置偏移量取得阶段，在上述位置偏移量取得阶段，基于在上述初始位置存储阶段存储于上述存储部的上述第1信息和在上述位置信息取得阶段取得的与上述机器人手部的位置相关的信息，取得上述机器人手部的位置偏移量。6.根据权利要求2所述的设备制造方法，其中，上述规定位置是上述多个教学位置中的一个，3上述设备制造方法还包括位置偏移量取得阶段，在上述位置偏移量取得阶段，基于上述存储部中存储的与该教学位置相关的信息以及在上述机器人手部设定于该规定位置的状态下测定出的与上述机器人手部的位置相关的信息，取得上述机器人手部的位置偏移7.根据权利要求5或6所述的设备制造方法，其中，在上述教学位置补正阶段，在上述位置偏移量取得阶段中所取得的上述位置偏移量超过规定的阈值的情况下，基于上述位置偏移量，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的、与不同于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进行补正。8.一种教学位置调整方法，是权利要求1所述的设备制造装置中的教学位置调整方法，位置信息取得阶段，将上述机器人手部设置于规定位置，取得与上述机器人手部的位教学位置补正阶段，基于在上述位置信息取得阶段中取得的与上述机器人手部的位置相关的上述信息，分别对上述存储部中存储的与上述机器人手部的多个教学位置相关的信息中的、与不同于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进行补正。9.根据权利要求8所述的教学位置调整方法，其中，上述位置信息取得阶段是将上述机器人手部设置于上述规定位置并取得与上述机器人手部的旋转角方向、第1方向以及第2方向中的任意方向上的位置相关的信息的阶段，上述第1方向与上述旋转角的旋转轴交叉，上述第2方向与上述旋转轴和上述第1方向交叉。10.根据权利要求8所述的教学位置调整方法，其中，还包括初始位置存储阶段，在上述位置信息取得阶段之前，将第1信息预先存储于上述存储部，上述第1信息与在上述机器人手部设置于上述规定位置的状态下测定出的上述机器人手部的位置相关。11.根据权利要求10所述的教学位置调整方法，其中，还包括位置偏移量取得阶段，在上述位置偏移量取得阶段，基于在上述初始位置存储阶段存储于上述存储部的上述第1信息以及在上述位置信息取得阶段取得的与上述机器人手部的位置相关的信息，取得上述机器人手部的位置偏移量。12.根据权利要求11所述的教学位置调整方法，其中，在上述教学位置补正阶段，在上述位置偏移量取得阶段中所取得的上述位置偏移量超过规定的阈值的情况下，基于上述位置偏移量，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的、与不同于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进行补正。13.根据权利要求8所述的教学位置调整方法，其中，上述规定位置是上述多个教学位置中的一个，上述教学位置调整方法还包括位置偏移量取得阶段，在上述位置偏移量取得阶段，基于上述存储部中存储的与该教学位置相关的信息以及在上述机器人手部设定于该规定位置的状态下测定出的与上述机器人手部的位置相关的信息，取得上述机器人手部的位置偏移量。14.根据权利要求13所述的教学位置调整方法，其中，在上述教学位置补正阶段，在上述位置偏移量取得阶段所取得的上述位置偏移量超过规定的阈值的情况下，基于上述位置3/3页3/3页4偏移量，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的至少两个进行补15.一种计算机可读取的记录介质，记录有用于使计算机执行设备制造装置中的教学上述教学位置调整方法是权利要求8至14中任一项所述的教学位置调整方法。5读取记录介质[0001]本申请是申请日为2018年12月20日、申请号为201811560350.8、发明名称为“机器人、机器人系统、设备制造装置、设备的制造方法以及教学位置调整方法”的发明专利申请的分案。技术领域[0002]本发明涉及机器人。背景技术[0003]近来，在作为平板显示装置而受到关注的有机EL显示装置的生产线中，使用在连杆机构的多关节手臂上连结有手部的机器人，将基板和/或掩模搬送至处理室(例如，成膜[0004]在将机器人最初设置于生产线时，或者为了维护机器人手臂或机器人而更换了机器人手臂或机器人手时，为了这样的机器人能够将基板或掩模搬送到正确的目标位置，在搬送动作开始前进行用于示教机器人的搬送动作的起点和步骤(搬送轨道)的教学(teaching)作业。[0005]作为机器人的教学方法，一般公知有作业者抓住机器人手直接示教待机位置或基板、掩模的搬送位置等的方法、作业者通过操作面板操作机器人来依次指定成为搬送动作的起点的位置的方法等。[0006]与通过教学作业而被示教的机器人手的待机位置以及搬送位置相关的信息被存储在机器人的控制机构中，在实际的搬送动作时，机器人按照所存储的待机位置和搬送位[0007]通常，由作业者手动进行关于进行机器人的待机位置、基板/掩模的交接的搬送位置的示教。即，作业者在视觉上确认机器人的动作的同时手动地进行教学作业，因此对作业者要求较高的熟练度，教学作业耗费时间。发明内容[0008]本发明要解决的课题[0009]在专利文献1(日本特开2008-251968号)所记载的技术中，测算机器人的机器人手[0010]本发明用于解决这样的问题，其目的在于提供一种能够高精度地进行控制的机器人、机器人系统、设备制造装置、使用该设备制造装置的设备的制造方法以及教学位置的调整方法。[0011]课题的解决方法[0012]本发明的机器人系统包括：机器人，包括机器人手臂部、和能够旋转地连结于上述机器人手臂部的机器人手部；以及控制部，控制上述机器人的动作，在上述机器人手部设置6有标记部，上述标记部以贯穿上述机器人手部的假想轴线为中心，用于测定上述机器人手部的旋转角，上述控制部包括存储部，上述存储部存储与用于上述机器人的动作的控制的多个教学位置相关的信息，上述控制部在上述机器人手部设置在规定位置的状态下，基于使用上述标记部测定出的、包含与上述机器人手部的旋转角相关的信息的信息，对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中的至少两个，分别对与上述机器人手部的位置相关的信息进行补正。附图说明[0015]图1是有机EL显示装置的生产线的一部分的示意图。[0016]图2是本发明的机器人系统的示意图。[0017]图3是用于本发明的教学位置调整的机器人系统的示意图。具体实施方式[0018]以下，参照附图对本发明的优选的实施方式以及实施例进行说明。但是，以下的实施方式以及实施例例示性地表示本发明的优选的结构，本发明的范围并不限定于这些结质、形状等只要没有特定的记载，就不意味着将本发明的范围限定于此。[0019]<电子设备生产线>[0020]图1是示意性地图示电子设备的生产线的结构的一部分的俯视图。[0021]图1的生产线例如用于智能手机用的有机EL显示装置的显示面板的制造。在智能手机用的显示面板的情况下，例如在全尺寸(约1500mm×约1850mm)或半切割尺寸(约1500mm×约925mm)的基板上进行有机EL的成膜后，将该基板切割来制作成多个小尺寸的面板。[0022]通常如图1所示，有机EL显示装置的生产线的成膜机组1具备进行对基板10的处理(例如成膜)的多个成膜室11、收纳使用前后的掩模的多个掩模贮存腔室12、以及配置在其中央的搬送室13。[0023]在搬送室13内，在多个成膜室11之间搬送基板10,在成膜室11与掩模贮存腔室12之间设置搬送掩模的机器人14。机器人14例如是具有在多关节手臂上安装有保持基板10的机器人手的构造的机器人。参照图2对本发明的机器人14的结构进行详细说明。在本实施例中，列举机器人14是用于搬送基板、掩模的搬送机器人的例子进行说明，但本发明不限于[0024]在各成膜室11中设置有成膜装置(也称为蒸镀装置)。在成膜装置中，收纳于蒸发源的蒸镀材料被加热器加热及蒸发，经由掩模蒸镀到基板上。通过成膜装置自动地进行与机器人14的基板10的交接、基板10与掩模的相对位置的调整(对准)、基板10向掩模上的固定、成膜(蒸镀)等一系列成膜工艺。成膜装置也可以是具有两个载置台的双载置台(DualStage)类型。在双载置台型的成膜装置中，在对搬入一个载置台的基板10进行成膜的期间，对搬入到其他载置台的其他基板10进行对准。7[0025]在掩模贮存腔室12中，将成膜室11中的成膜工序中使用的掩模和使用完的掩模分两个盒收纳。机器人14将使用完的掩模从成膜室11搬送到掩模贮存腔室12的盒，将收纳在掩模贮存腔室12的其他的盒中的新的掩模搬送到成膜室11。[0026]在有机EL显示装置的生产线的成膜机组1上，连结有通道室15和缓冲室16,该通道室15在基板10的流动方向上将来自上游侧的基板10向成膜机组1传递，该缓冲室16用于将在该成膜机组1中完成了成膜处理的基板10向下游侧的其他成膜机组传递。搬送室13的机器人14从上游侧的通道室15接收基板10,并搬送到该成膜机组1内的成膜室11中的一个。另外，机器人14从多个成膜室11之一接收在该成膜机组1中的成膜处理完成的基板10,并将其搬送到与下游侧连结的缓冲室16。[0027]这样，机器人14在配置于搬送室13的周围的各种腔室之间搬送基板以及掩模那样的被搬送体。[0028]参照图1对本发明的成膜机组1进行了说明，但本发明的成膜机组1并不限定于此，也可以具有其他种类的腔室，腔室之间的配置也可以改变。[0029]以下，对包括机器人14的机器人系统的结构进行说明。[0031]图2例示地图示包括机器人14的机器人系统的构造。[0032]在以下的说明中，使用以与机器人14的机器人手臂部和机器人手部的连接部的旋转轴平行的方向为Z轴的XYZ坐标系。在将Z轴的方向设为第3方向时，将与其垂直的X轴的方向以及Y轴的方向中的任一个方向设为第1方向，将另一方向设为第2方向。另外Z轴方向为中心的旋转角，将以Z轴方向为中心的旋转方向作为旋转角方向。[0033]本发明的机器人系统包括机器人14和用于控制机器人14的动作的控制部25。[0034]机器人14包括设置在搬送室13的底面的基座部21、从基座部21向铅垂方向或Z轴方向(第3方向)延长并能够在Z轴方向上移动的轴部22、和以能够旋转的方式与轴部22连结的机器人手臂部23。在图2(a)中，图示了机器人14具有一个机器人手臂部23的机器人，但机器人14也能够具有两个或两个以上的机器人手臂部23。由此，能够提高基板10、掩模的搬送[0035]机器人手臂部23能够具有多个手臂经由关节部以能够相互转动的方式连结的构造。例如，机器人手臂部23能够包括一端能够旋转地连结于轴部22的第1手臂231、一端与第1手臂231的另一端能够旋转地连结的第2手臂232。在图2(a)中，图示了两个手臂通过关节部能够相互转动地连结的结构，但本发明并不限定于此，也能够具有两个手臂在手臂的长度方向上相对滑动位移而能够伸缩的结构。虽然说明了第1手臂231以能够旋转的方式与轴部22连结的情况，但本发明并不限定于此，第1手臂231也能够与轴部22固定连结，取而代之轴部22自身也能够旋转。[0036]在第2手臂232的另一端以能够旋转的方式设置有机器人手部24。机器人手部24具有能够将基板以及掩模载置在其上的构造。虽然在图2中未图示，但机器人手部24为了稳定地支承基板，能够具有在与机器人手部24的长度方向(从与机器人手臂的连接部朝向机器人手部的自由前端的方向)交叉的方向上延伸的多个支承部。在机器人手部24的基板/掩模载置面，为了防止基板10的损伤，能够进行氟涂敷等。另外，为了防止在搬送途中基板10在机器人手部24上移动或落下，也可以包括把持单元那样的保持机构。8[0037]具有这样的构造的本发明的机器人14通过调节以轴部22为中心的第1手臂231的旋转角度、第1手臂231与第2手臂232之间的角度、第2手臂232与机器人手部24之间的角度、轴部22的高度，能够进行载置在机器人手部24上的基板或掩模的直线移动、旋转移动以及它们的复合移动，能够使基板或掩模移动到XYZ坐标系上的任意期望的位置。[0038]在本发明的机器人14的机器人手部24形成有用于测定在规定位置(例如后述的原点位置)的机器人手部24的旋转角或旋转角方向上的位置偏移量的标记部241。关于标记部241的具体的结构以及功能，参照图3在后面叙述。[0039]本发明的机器人系统包括控制机器人14的动作的控制部25.控制部25可以通过具有处理器、存储器、储存器、I/0等的计算器人14的搬送动作的程序的存储部251、和执行存储于该存储部251的程序来控制机器人14的处理器252。作为计算机，可以使用通用的个人计算机，也可以使用嵌入式计算机或PLC(可编程逻辑控制器)。或者，控制部25的功能的一部分或全部也可以由ASIC或FPGA这样的电路构成。在本实施例中，对控制部25与机器人14分开设置的情况进行说明，但本发明并不限定于此，机器人14也能够具有控制部25。[0040]在存储部251中，能够存储用于控制机器人14的搬送动作的与多个教学位置(待机位置以及搬送位置)相关的信息。控制部25基于存储部251所存储的与教学位置相关的信[0041]如图2(b)所示，机器人14具备用于使第1手臂231的轴旋转的第1手臂驱动部2311、用于使第2手臂24的轴旋转的第2手臂驱动部2321、用于使机器人手部24的轴旋转的机器人手驱动部242、以及用于铅直地驱动轴部22的升降驱动部221。[0042]这样的驱动部分别包括伺服电机(未图示)及动力传递机构(未图示)。从伺服电机经由动力传递机构向第1手臂231的轴、第2手臂232的轴、机器人手部24的轴传递旋转动力，[0043]升降驱动部221设置于机器人14的基座部21,通过包含旋转电机的滚珠丝杠机构来实现。例如，升降驱动部221包括丝杠轴、以与该丝杠轴螺合的方构成为使丝杠轴旋转的旋转电机。在该情况下，轴部22固定于滚珠螺母，随着丝杠轴的旋转而与滚珠螺母一起升降。[0044]控制部25通过从这些驱动部取得与第1手臂231的角度位置、第2手臂232的角度位置、机器人手部24的角度位置以及轴部22的高度相关的信息，能够对各驱动部进行反馈控[0046]如参照图1所说明的那样，机器人14在成膜机组1内的多个成膜室11与通道室15或缓冲室16之间搬送基板10。[0047]以通过机器人14从通过室15向第1成膜室11a搬送基板10的情况为例进行说明，从机器人14的机器人手臂部23收缩(即，机器人手臂部23的关节弯曲，以使第1手臂和第2手臂之间的角度变小)且机器人手部24的自由前端指向通道室15的状态的第1待机位置，使机器人手臂部23向通道室15内的基板载置台上的搬出位置(该位置成为相对于通过室的教学位置)伸出，接收通道室15的基板载置台上的基板10,再次缩回机器人手臂部23,返回第1待机9[0048]接着，机器人手臂部23以轴部22为中心旋转，向机器人手部24的自由前端指向第1成膜室11a的第2待机位置(成为其他教学位置)移动。在该状态下，再次使机器人手臂部23伸出，移动到向第1成膜室11a搬入基板的位置(相对于第1成膜室的教学位置),由此将基板搬入第1成膜室11a内。之后，机器人手部24返回到第2待机位置。[0049]这样的基板的搬入/搬出的搬送动作反复进行，直到在该成膜机组1中全部的成膜处理结束，该基板被传递到基板的流动的下游侧的缓冲室16为止。为了能够顺利地完成这样的由机器人14进行的搬送动作，将与该成膜机组1内的待机位置以及基板10的搬入/搬出位置相关的信息作为教学位置的信息存储在控制部25的存储部251中。[0050]将与教学位置相关的位置信息(例如，该位置的X、Y、Z、0坐标值)示教给机器人14的作业(测定该位置，将其存储在控制部25的存储部251中的作业)称为教学作业，这在将机器人14设置在成膜机组1时或者为了维护而将机器人手臂部23或机器人手部24除去或更换[0051]教学作业通过如下方式进行，即，作业者通过操作面板使机器人14一点一点地移动，同时，使机器人手部24移动到各教学位置，基于与该教学位置上的、以轴部22为中心的第1手臂23的旋转角度、第1手臂231和第2手臂232之间的旋转角度、第2手臂232与机器人手部24之间的旋转角度、轴部22的Z轴方向的位置相关的信息，计算该教学位置的坐标值，将其存储在控制部25中。此时，各旋转角度值等从第1手臂231的轴的驱动部2311、第2手臂232的轴的驱动部2321、机器人手部24的轴的驱动部242、轴部22的升降驱动部221得到。[0052]这样的教学作业通常通过如下方式进行，即，作业者手动操作操作面板，使机器人14的机器人手臂部23和/或机器人手部24旋转或伸缩，但也可以通过使用设置于各教学位置的引导部将机器人手部24引导至目标位置并得到该位置信息。另外，也可以以通过传感器识别设置在移动到目标位置的机器人手部24上的标志，得到该教学位置的坐标值的方[0053]另外，在各腔室之间的相对关系固定的情况下，例如，在各腔室内的教学位置(基板的搬入/搬出位置)从机器人14的轴部22实质上位于同一距离的情况下(即，在以机器人14为中心的圆弧上配置的情况)下，也能够利用这些腔室间的相对的位置关系，迅速地进行针对其他腔室(教学位置)的教学作业。[0054]另外，教学作业一般在未将基板10载置于机器人手部24的状态下进行，但也能够在将基板10载置于机器人手部24的状态下进行。由此，能够进行符合实际的搬送状况的正确的教学。[0055]<用于调整教学位置的机器人系统>[0056]以下，参照图3对用于通过本发明来调整教学位置(待机位置以及搬送位置)的机器人系统进行说明。[0057]在进行机器人14的最初的设置或者机器人手臂部23/机器人手部24的维护之后，在实际使用机器人14搬送基板或者掩模时，存在机器人手臂部23、机器人手部24与构成生产线的其他部分碰撞的情况。例如，在成膜机组1内通过机器人14将基板10或掩模搬送到各腔室内的过程中，有时机器人手部24等与成膜室11、通道室15、缓冲室16等基板保持架、基板载置台或基板支承部发生碰撞，可能会与掩模贮存腔室12内的掩模收纳盒或该盒内的掩模支承部发生碰撞。[0058]若对机器人手部24及机器人手臂部23等施加机械性的冲击，则机器人手部24及机器人手臂部23自身有可能变形，它们之间的关节部也能够变形。[0059]例如，即使不发生碰撞，由于基板的大型化，机器人手部24自身由于基板10的重量而变形，或者关节部由于持续施加于机器人14的关节部的负载而变形，机器人手部24的移动位置有时会与最初的教学时不同。[0060]在该情况下，即使控制部25基于存储部251所存储的与教学位置相关的信息，使用于使机器人手部24移动到该教学位置的命令向各关节部的驱动部以及升降驱动部221下达，机器人手部24也不移动到该教学位置，而向从现在起偏移的位置移动。即，即使要使由机器人手24保持的基板10向存储在控制部25中的教学位置(待机位置和搬送位置)移动，基的位置偏移，在基板或掩模的搬送过程中与生产线的其他装置等碰撞的可能性进一步变[0061]特别是，与基板的形状为圆型的半导体基板不同，在有机EL显示器所使用的矩形的基板的情况下，在以Z轴为中心的旋转角方向(θ方向)上的基板的位置偏移对成膜机组1内的成膜工艺产生较大的影响，因此在因机器人14的碰撞等而产生机器人手部24等向旋转角方向的位置偏移的情况下，需要对其进行调整。[0062]在现有技术中，若判断为由于这样因机器人14的碰撞等而在机器人手部24等产生位置偏移，机器人14的搬送动作在与教学时示教的位置不同的位置、或者不同的轨道进行，则对成膜机组1内的所有教学位置(待机位置及搬入/搬出位置等搬送位置)再次执行教学[0063]但是，在有机EL显示装置的生产线中，机器人14的教学位置包括：在配置于设置有机器人14的搬送室周边的处理室(成膜室)中载置基板以及掩模的位置、在掩模贮存腔室12中收纳使用前后的掩模的位置、在通道室15以及缓冲室16中交接基板的位置等多个位置，因此对各位置的教学作业相当耗费时间。[0064]而且，在单位时间的期间，有时机器人14具有两个机器人手臂23,由此能够进行更多的搬送动作，对于各个教学的位置，必须在大气开放状态和真空状态下另外进行教学，因此在大型的生产线中，需要多达数十次的教学作业，教学作业中花费数十小时，存在在此期间制造生产线停止的问题。[0065]在本发明中，在由于机器人14的碰撞等原因，机器人14尤其是机器人手部24的位置偏移的情况下，不是对成膜机组1内的所有的教学位置执行再教学作业，而是测定规定位置(在本实施例中，将其称为原点位置，原点位置例如也可以是特定的腔室内的基板/掩模的搬送位置)处的机器人手部24的位置偏移量，以此为基础，对其他多个教学位置的位置信息进行补正。由此，能够省略针对其他多个教学位置的教学作业，能够缩短再教学作业所花费的时间。[0066]如图3所示，用于此的本发明的机器人系统30包括机器人14、控制部25以及检测机[0067]在机器人14的机器人手部24设置有用于测定机器人手部24的旋转角或机器人手部24的旋转角方向上的位置偏移量的标记部241。这里所说的旋转角是以与Z轴平行地贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角。11[0068]标记部241以能够测定以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角或旋转角方向(θ方向)上的位置偏移量的方式，包括沿着机器人手部24的长度方向(从与机器人手臂部23的连接部朝向机器人手部24的自由前端的方向)配置的多个标记。在图3(a)中，图示了标记部241具有两个标记(第1标记和第2标记)的结构，但本发明不限于此，也可以具有三个以上的标记。另外，本发明并不限定于将多个标记配置在沿着机器人手部24的长度方向的直线上的结构，只要多个标记间的位移具有沿着机器人手部24的长度方向的成分即可。但是，在该情况下，由于后述的检测机构31的图像处理可能变得更复杂，因此优选多个标记配置在沿着机器人手部24的长度方向的直线上。[0069]在本实施例中，标记部241的标记是形成于机器人手部24的+字标识，但本发明不限于此，也可以是其他任意形状的标记。[0070]另外，作为其他实施例，如图3(b)所示，本发明的标记部241也可以是沿着机器人手部24的长度方向延伸的线状标记。[0071]这样，作为标记部241,通过使用沿着机器人手部24的长度方向(即，从与第2手臂232的连结部位朝向机器人手部24的自由前端的方向)配置的多个标记、或者在机器人手部24的长度方向上延伸的线状标记，不仅能够测定机器人手部24的X轴方向以及Y轴方向上的位置偏移量，还能够测定以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角、或者旋转角方向上的位置偏移量。此时，以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的机器人手部24的旋转角通过连结多个标记(第1标记和第2标记)的线段或线状标记相对于假想基准线所成的角度来测定。[0072]在图3中，图示了机器人手部24由一个手指构成的结构，但机器人手部24也可以由两叉的手指构成，在这种情况下，标记部241设置在两个手指的任意一个上。[0073]本发明的机器人系统30的检测机构31通过检测机器人手部24的标记部241,能够测定以X轴方向、Y轴方向以及贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角方向上的机器人手部24的位置偏移量。[0074]检测机构31在原点位置设置在与标记部241相对应的位置，以在将机器人手部24设置在原点位置(例如，通过室15内的基板搬出位置)的状态下，能够检测出标记部241。例如.在原点位置是通道室15的基板搬出位置的情况下.检测机构31设置在能够在通道室15的基板载置台的下方检测标记部241的位置。作为检测机构31,如后所述，在使用拍摄用相机的情况下，可以在通道室15的底面设置透明窗，在其外部设置拍摄用相机，但本发明不限于此，也可以在通道室15内设置拍摄用相机。[0075]检测机构31例如优选为在标记部241包含多个单独的标记的情况下能够拍摄单独标记而检测单独标记的位置的多个拍摄用相机311,但本发明并不限定于此，只要能够检测单独标记的位置，则也可以是其他的机构。[0076]这样，通过由沿着机器人手部24的长度方向配置的多个单独标记构成标记部241,由能够测算这些单独标记的位置的多个相机构成检测机构31,能够测定机器人24的旋转角以及位置偏移量，特别是旋转角方向上的位置偏移量。[0077]即，在由于碰撞等而使机器人14产生位置偏移之前(例如，在最初的教学作业之后),将机器人手部24设置在原点位置，通过检测机构31检测标记部241的各个标记，从而能够得到机器人手部24被设置在原点位置的情况下的与机器人手部24的位置相关的信息(基准位置信息、第1信息)。特别是，在本发明中，由于标记部241包含沿着机器人手部24的长度方向配置的多个标记，因此能够测定以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角方向上的位置(旋转角)。因此，基准位置信息至少包含在X轴方向、Y轴方向以及以贯穿部24的假想轴线为中心的旋转角方向上的与机器人24的位置相关的信息，将基准位置信息存储在控制部25的存储部251中。与机器人手24的Z轴方向的位置相关的信息能够通过在机器人手24的下方与机器人手24分离设置的另外的激光传感器、拍摄用相机进行测定。[0078]之后，在由于机器人14的碰撞等而发生了位置偏移的情况下，进行用于将机器人手部24再次设置到原点位置的控制(即使进行这样的控制，通过由于碰撞等而产生的变形等，机器人手部24也不能移动到碰撞前的原点位置),通过检测机构31再次检测出标记部241的各个标记，由此取得碰撞后的多个标记的位置信息。基于这样再取得的多个标记的位置信息，再次取得机器人手部24的位置信息，将再取得的机器人手部24的位置信息(第2信息)与存储部251中存储的基准位置信息进行比较，从而得到碰撞的前后的、机器人手部24的X轴方向、Y轴方向以及以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角方向的位置偏移量(△X、△Y、△θ)。机器人手24的Z轴方向的位置偏移量(△Z)也同样地通过比较预先存储在存储部251中的Z轴方向的基准位置信息和与碰撞后的Z轴方向的位置有关的信息而得[0079]即，在本发明中，在机器人手部24产生位置偏移之前，通过检测机构31检测机器人手部24的标记部241的位置，计算机器人手部24的基准位置，并将其预先存储在控制部25中。然后，在由于机器人手部24的碰撞等而发生了位置偏移的情况下，在进行用于将机器人手部24再次设置到原点位置的控制之后，通过检测机构31再次检测出标记部241的偏移的位置，由此，计算机器人手部24的偏移的位置，基于计算出的位置与基准位置的差值，计算[0080]另一方面，通过以与多个标记对应的方式设置多个检测机构31,并分别通过检测机构31检测标记，代替指定标记的位置的方法，能够在用一个检测机构31、例如具有能够拍摄多个标记的视野范围的拍摄用相机拍摄多个标记而得到图像数据后，通过图像处理得到与各标记的位置相关的信息。[0081]这样的标记部241的位置检测方法也能够应用于标记部241为沿着机器人手部24的长度方向延伸的线状标记2412的情况。[0082]例如，如图3(b)所示，在作为原点位置的通道室15的教学位置的下方设置具有相对宽的视场角的相机312作为检测机构31。[0083]在将机器人手部24设置在原点位置之后，利用作为检测机构31的相机312对在机器人手部24上形成的线状标记2412进行拍摄，得到线状标记的拍摄图像。对得到的拍摄图像，进行基于与控制部25的图像处理部(未图示)或控制部25分开设置的图像处理部的图像处理，计算机器人手部24的X轴方向、Y轴方向以及旋转角方向的位置。将计算出的位置信息作为机器人手部24的基准位置的信息存储在控制部25的存储部251中。[0084]在由于碰撞等而使机器人手部24发生了位置偏移的情况下，再次进行用于将机器人手部24设置在原点位置的控制之后，利用相机312对机器人手部24的线状标记2412进行拍摄，进行拍摄图像的图像处理，再次测定机器人手部24的位置。基于机器人手部24的再次测定的与位置相关的信息和预先存储在存储部251中的与基准位置相关的信息，计算机器到碰撞前后的机器人手部24的位置偏移量。[0085]这样，在对由一个相机312得到的标记部241的图像(多个标记的图像、线状标记的图像)进行图像处理而计算位置偏移量的情况下，相机312的视野范围决定后述的教学位置的可调整范围。即，通过使用视野范围宽的相机312,能够扩大搬送位置的可调整范围。[0086]在本实施例中，将成膜机组1内的多个教学位置中的、通过室15的基板搬出位置设为用于测定机器人手部24的位置偏移量的原点位置。这是因为，通常成膜机组1内的多个教学位置中的、通过室15的搬送位置距机器人14的轴部22最远的位置(即，是与机器人手臂部23以及机器人手部24最伸长的状态对应的位置)成为由机器人手部24的碰撞引起的位置偏移量成为最大的位置。另外，在通道室15的情况下，与在腔室的下部设置蒸镀源的成膜室11不同，还具有容易在基板载置台的下方设置检测机构31的优点。[0087]但是，本发明的原点位置并不限定于通过室15的基板搬出位置，也可以是其他的腔室(例如，成膜室、缓冲室、掩模贮存腔室)内的搬送位置，也可以是搬送室内的待机位置)中的任一个。通过将原点位置设为搬送室内的多个待机位置中的任一个，检测机构31的设置变得更容易。进而，本发明的原点位置也可以是不是成膜机组1的教学位置的第3位置。[0088]这样，根据本发明，通过利用相机等检测机构检测沿着机器人手部的长度方向形成于机器人手部的多个标记、或沿着机器人手部的长度方向延伸的线状标记，测算由机器人手部的碰撞等产生的、机器人手部在规定位置处的位置偏移量(特别是，以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角方向上的位置偏移量),基于测算出的位置偏移量，对搬送动作的与其他多个教学位置(待机位置以及搬送位置)相关的信息进行补正。由此，不进行针对其他多个教学位置的再教学作业，仅通过教学位置的确认作业就能够使装备再运转，能够大幅缩短再教学所花费的时间。[0089]<教学位置的调整方法及设备的制造方法>[0090]以下，对基于机器人手部24的原点位置处的位置偏移量来调整成膜机组1内的其他多个教学位置的方法、以及使用该方法来制造有机EL显示装置那样的设备的方法进行说[0091]首先，基板10应该被搬送的多个教学位置(搬送位置及待机位置)被教给机器人14。即，将多个搬送位置和待机位置的位置信息作为教学位置信息存储在控制部25的存储部251中(S1)。[0092]机器人14的机器人手部24被设置在作为多个教学位置中的一个的原点位置(S2)。然后，通过检测机构31检测机器人手部24的标记部241,将基于该检测结果计算出的机器人手部24的位置信息作为机器人手部24的基准位置信息(第1信息)存储在控制部25的存储部[0093]之后，在由于在搬送过程中由于与成膜机组1的其他部分的碰撞等而在机器人14产生的变形等而在机器人手部24产生了位置偏移的情况