JJF(蒙) 真空测量系统在线校准规范

内蒙古自治区地方计量技术规范VacuumMeasurementSyst内蒙古自治区市场监督管理局发布JJF（蒙）050-2023真空测量系统在线校准规范VacuumMeasurementSystJJF（蒙）050-2023本规范主要起草人：何宇（包头市检验检测中心）王石塄（包头市检验检测中心）郝大昭（包头市检验检测中心）冯向辉（包头市检验检测中心）参加起草人：魏星（包头市检验检测中心）马建国（包头市检验检测中心）董义（包头天和磁材科技股份有限公司） 2 2 2 4 6 7 8JJF（蒙）050-2023JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》为基础JJF（蒙）050-20231真空测量系统在线校准规范GB/T34873-2017/ISO3567：2011真空计与标准真注：通常使用的某些真空计实际上不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力来表达的）而是测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。2图1真空测量系统组成示意图序号测量范围最大允许误差1环境大气压～1×10-1Pa2注：以上指标不做合格性判定，仅供参考。温度：15℃~35℃JJF（蒙）050-20233表2测量标准及其他设备序号装置名称技术要求1标准真空计标准真空计推荐为：磁悬浮转子真空计、电离真空计、电容薄膜真空计；测量范围应覆盖被校真空测量系统的测量范围，扩展不确定度应不大于被校真空测量系统最大允许误差的1/3。压力范围和不确定度能够满足客户校准要求的其他真空计也适用。2可拆卸的真空封接配件用于临时替换真空测量系统的规管安装位置，将标准真空计与被校真空测量系统连接，须保证接口的密封性良好，不泄漏。图2标准真空计与真空设备及测量系统直接连接示意图JJF（蒙）050-20234图3标准真空计与真空设备及测量系统通过可拆卸的真空封接配件连接示意图pind——被校真空测量系统压力值的平均值，Pa；pstd——标准真空计的压力值，Pa。JJF（蒙）050-20235JJF（蒙）050-20236客户名称委托日期客户地址校准日期校准地点记录编号环境温度环境湿度证书编号校准依据类别名称型号规格出厂编号生产厂家真空计指示单元规管1规管2主要标准器标准器名称型号/编号测量范围准确度等级/不确定度溯源机构及证书号有效期至校准点被校真空测量系统示值（Pa）示值误差（%）测量结果不确定度(k=2)123平均值校准员：核验员：JJF（蒙）050-20237类别名称型号规格出厂编号生产厂家真空计指示单元规管1规管21.外观检查：2.示值误差：校准点被校真空测量系统示值（Pa）示值误差测量结果不确定度(k=2)8pind——被校真空测量系统压力值的平均值，Pa；pstd——标准真空计的压力值，Pa。JJF（蒙）050-20239则标准真空计在2.2×10-3Pa处（C.5）表C.1标准不确定度一览表标准不确定度分量u（xi）不确定度来源标准不确定度灵敏系i|u（xi）u（pind)被校真空测量系统的重复测量1.71×10-4Pa11.71×10-4Pau（pstd）标准器引入1.28×10-4Pa1.28×10-4Pa