2024年氮化硅陶瓷基板报告

艾邦智造1.艾邦智造,其中α相和β相是Si3N4最常见的形态，均为六方结构，可在常压下制备。研究者根据Si3N4的结构提出β-Si3N4的理论热导率高达200～320W/m·K。SiNα-Si₃N₄β-Si₃N₄a-Si3N4是低温稳定相，β-Si3N4是高温稳定相。在氮化硅陶瓷的烧结过程中，α-Si3N4会发生晶粒的异常生长，相变形成长柱状晶β-Si3N4,此结构对裂纹扩展起到桥连、分叉、偏转作用，能提高材料的韧性，使得陶瓷的强度大大提高。所以，高的α相含量是得到高性能氮化硅陶瓷的重要保证。2.Si3N4具有高导热、高强度、高韧性、低密度、自润滑性、优异的抗热震性，是国内外公认兼具高导热、高可靠性等综合性能最好的陶瓷基板材料。Mpam33使用氮化硅陶瓷基板的设备还能进一步缩小体倍以上的热导率；材料(如SiC)匹配，因而使其器件的可靠性更优异。艾邦智造3.氮化硅基板的工艺流程艾邦智造号.艾邦陶瓷展号.艾邦陶瓷展4.氮化硅基板的覆铜工艺用活性金属元素(Ti、Zr、Ta、Nb、V、Hf等)可以润湿陶瓷表面的特性，将铜层通过活性金属钎料钎焊在Si₃N4陶瓷板焊材(焊片)AMB基板，目前主要分为放置银铜钛焊片和印刷银铜钛焊膏两种。以印刷银铜钛焊膏为例，工艺流程如下图所示：首先将Ag、Cu、Ti元素直接以粉末形式混合制成浆料，采用丝网印刷技术将Ag-Cu-Ti焊料印刷在氮化硅陶瓷基板上，再利用热压技术将铜箔层压在焊料上，最后通过烧结、光刻、蚀刻及镀Ni焊料层艾邦智造5.氮化硅基板的应用艾邦智造充电桩充电桩光伏工业应用风能电动汽车动力智能家电工业应用风能电动汽车动力智能家电图源：中材高新6.氮化硅基板的市场规模根据ValuatesReports报告数据，全球氮化硅陶瓷基板市场预计将从2023年的4800万美元增长到2029年的3.693亿Proterial(原日立金属)、东芝、丸和等，全球前四大厂商占有率超过90%。日本是氮化硅陶瓷基板的最大生产国，份额国内主要氮化硅基板生产企业国内主要氮化硅基板生产企业新疆晶硕……河北高富、河北正雍宁夏(2)艾森达、宁夏北瓷乌鲁木齐红星电子、富乐华江西创科、中科上宇佛山华智……辽宁(2)埃克诺、伊菲科技智造智造★公众要W香怏门口港天津硕科……中材高新氮化物陶瓷威海圆环、山东厚发海古德、国瓷金盛苏州博胜、方达正塬江苏贝色、苏州晶耀金赛隆科技……正天新材、多面体海宁托博、宁波银瓷超、凯乐瓷展福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年，位于福建安溪2025产业园，占地面积近100亩，首期建设研发楼、工业厂房约2万多平方米，是一家全国领先的第三代半导体氮化物材料供应商及热管理方案解决商。8*9m8*9m…0'想为5G通讯、光伏、电子电力、新能源汽车及航天航空等高端领域起到关键散热作用。年产能为氮化铝粉体200吨、氮化铝&氮化硅陶瓷基板500万片。艾邦智造艾邦智造中材高新氮化物陶瓷有限公司隶属于中国建材集团，是一家国家级高新技术企业，国家级“专精特新”小巨人企业，省级瞪羚企业，自1978年开始从事氮化硅陶瓷的研究，是国内较早的氮化硅材料研发单位之一，申请/授权专利78项，拥有包括粉体合成、材料制备以及精密加工的自主核心技术。开发的高导热氮化硅陶瓷基板性能达到日本同类产品，采用特殊的配方和工艺，导热系数>80W/(m·k),产品已通过国际头部企业质量检测，2023年建成年产70万片中试线。官网：http://ww.sinomacer无锡海古德新技术有限公司无锡海古德新技术有限公司一%00000一一比热(25℃)SpecifcHeat一Property一88899一36电学性能2无锡海古德新技术有限公司成立于2008年11月，是一家专注于功率半导体封装基板和关键高性能氮化物精密陶瓷器件的高新技术企业。核心产品氮化铝、氮化硅、陶瓷加热盘等广泛应用于功率模块、射频通讯、微波通讯、光通讯、汽车电封装等诸多领域。2023年10月东台海古德功率半导体(一期)项目竣工投产，海古德东台项目建成后年产氮化铝基板720万片，氮化硅基板300万片。公展公艾邦智造浙江正天新材料科技有限公司艾邦智造浙江正天新材料科技有限公司新材浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年，主要业务是氮化铝(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研发、生产和销售及行业服务。具体业务包括氮化铝陶瓷、氮化铝基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AIN陶瓷基片等，产品主要用于电机动力系统中电子元件上功率模块内的覆铜陶瓷基板。正天新材拥有多条大型流延生产线，从流延、裁切、冲孔、静压、热切至烧结成型拥有完整加工热膨胀系数为2.7×10-6/℃,并具有优异的机械强度、良好的化学稳定性和抗热冲击性的大尺寸(138mm*190.5mm)、低翘曲度(≤200μm)的氮化硅陶瓷基板产品。i=10%LE:±0.04mm10%L:±0.0宁夏艾森达新材料科技有限公司宁夏艾森达新材料科技有限公司9威海圆环先进陶瓷股份有限公司威海圆环先进陶瓷股份有限公司创建于2015年，专业从事氮化硅陶瓷基复合材料的研发，生产和销售，主要产品有氮化硅陶瓷磨珠，氮化硅陶瓷基板，精磨氮化硅轴承球以及各种异形氮化硅陶瓷结构件等。威海圆环与国内著名科研院所联合进行技术攻关和产学研合作研发，纳米粉体、亚微米粉体、陶瓷成型、冷等静压、热压烧结、精密陶瓷机械加工等工艺手段齐全，率先实现氮化硅磨珠、氮化硅陶瓷基板等前沿产品的2015年9月，威海圆环开启高导热氮化硅陶的高导热氮化硅陶瓷基板已经达到量产的水强度600Mpa。目前年产值是50万片，现有的产线能达100万片。艾邦智造江苏国瓷金盛陶瓷科技有限公司艾邦智造江苏国瓷金盛陶瓷科技有限公司江苏国瓷金盛陶瓷科技有限公司JiangsusinoceraJinshengcerami国瓷材料具备从陶瓷粉体、陶瓷基片到金属化的纵向一体化优势，将围绕氮化铝、氮化硅、高纯氧化铝等核心材料打造综合性的陶瓷基板产业平台。通过自主研发攻克了高端氧化铝粉体-基片、氮化铝粉体-基片的核心技术并实现量产，氮化硅粉体和基片已实现中试量产。氮化铝氮化硅金盛陶瓷创建于2003年10月，次年成功量产氮化硅陶瓷球，2017年成为国瓷材料(300285)全资子公司，目前主要产品有氮化硅、氧化锆、碳化硅、氧化铝、氮化铝等高性能陶瓷及粉体。DPC基板艾邦智造河北高富氮化硅材料有限公司艾邦智造河北高富氮化硅材料有限公司COREFRA河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生产高性能氮化硅产品的高新技术企业，年产高纯氮化硅600余吨，氮化硅10000吨。公司最早成立于2001年，经过了二十余年的发展，公司先后研发并量产了2001年氮化硅结合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉体、>80W/(mK),强度>700MPa。2009年陶瓷级氮化硅粉体、2012年光伏级氮>80W/(mK),强度>700MPa。东芝材料株式会社成立于2003年10月1日，主要产品有氮化硅裸板、氮化铝裸板以及氮化硅AMC基板等。即4D即即公众号·艾邦陶瓷展日本丸和公司MARUWA成立于1973年4月5日，MARUWA不仅致力于从材料开muMARUWA发，板材成型到材料烧制的生产一体化，还可以结合层压、薄膜、金属化，同时烧制和电路设计等技术，针对顾客实际需求，提供定制产品。基于陶瓷材料技术所开发的氮化硅制品具有高强度，高韧性，高导热率，根据这些特性，产品被广泛用于要求拥有高信赖性材料的功率半导体基板领域。8W1113“的o0W模模电化株式会社创立于1915年5月1日，自创立以来的100多年里一直致力于提供独有技术和产品。电化株式会社拥有氮化硅粉体、基板、金属化基板的一体化生产。2011的氮化硅基板，2018年与三菱综合材料合作开发陶瓷电路基板，2019年1月宣布在大牟田工厂投资40亿元将氮化硅基板产能提升至2018年的约3倍，2022年10月宣布在大牟田工厂将氮化硅粉体产能提升约1.5倍。电化SNPLATE是以有氧化铝的约4倍的导热率，具有优良机械特性的高韧性氮化硅(Si3N4)为主要成分的高导热性、高韧性陶瓷基板，可用于产业机械用(工作机械、半导体制造装置、风力发电、FA机器人等)、电气化铁道用功率3935电性O00O程Non-presure-sinteriO0◎0←Proterial(由日立金属更名为Proterial)是一家在高性能材料领域拥有高竞争力核心技术的材料厂商，在产业基础设施、汽车、电子设备相关的市场领域，广泛开展业务。Proterial制造的氮化硅电路板，热传导和机械强度性能优越，适用于IGBT、SiC等对可靠性要求较高的大功率半导体器件的绝缘电路板。还新开发了支持Proterial于2017年开发了氮化硅基板,并于2019年开始量产。2023年2月13日宣布在位于鸟取县鸟取市的子公司内投资增加氮化硅基板的产量，产能将比2021年增加约一倍。项目Al项目Al203基板弯曲强度(Mpa)断裂韧性(MPa·m¹/2) 绝缘耐压(kV/mm)≥181