东莞千级洁净室施工方案

东莞千级洁净室施工方案一、工程概况本工程位于东莞市电子信息产业园区，为半导体元器件封装测试车间，洁净区面积1200㎡，采用装配式钢结构+彩钢板围护体系，设计洁净度等级为ISO7级（千级），温度控制24±2℃，相对湿度55±5%，室内正压≥10Pa。项目包含空气净化系统、防静电接地系统、工艺管道系统及智能控制系统，总工期90天。1.1核心技术指标项目指标要求洁净度≥0.5μm尘粒≤35,000个/m³换气次数50-60次/h（非单向流）新风量总送风量的20%（≥40m³/h·人）噪声控制≤65dB(A)静电接地电阻接地干线≤10Ω，支线连接点≤4Ω1.2工程范围建筑装饰：洁净区墙面、吊顶、地面及密封处理空调系统：MAU+RAU组合式空调箱+FFU风机过滤单元公用工程：纯水管道（UPVC材质）、压缩空气系统（不锈钢316L）自控系统：温湿度、压差、粒子浓度实时监控与报警二、施工标准依据2.1国家标准GB50591-2025《洁净室施工及验收规范》（强制性条文）GB/T33555-2025《洁净室静电控制技术要求》ISO14644-1:2025《空气洁净度分级》2.2行业规范电子行业：IEST-RP-CC006.3《洁净室检测指南》施工工艺：CEIDI西递《FFU安装技术规程》三、关键施工工艺3.1建筑装饰工程3.1.1墙面施工采用50mm厚彩钢板（镀锌钢板+抗菌涂层），企口式拼接，接缝处用中性硅酮密封胶填充。阴角安装R50mm圆弧铝材，避免积尘。施工前需对基层墙面进行平整度检测（误差≤2mm/m），并涂刷环氧树脂防潮层。3.1.2地面处理基层：425号水泥自流平（平整度≤3mm/2m），含水率≤4%面层：2mm厚PVC防静电卷材（表面电阻10⁶-10⁹Ω），焊接接缝宽度8-10mm，热熔温度180±10℃3.1.3吊顶安装采用铝合金T-grid龙骨系统，间距600×600mm，承载力≥80kg/㎡。吊顶标高3.2m，水平度误差≤2mm/m。灯具、风口气密性处理采用“内密封+外压条”双重措施。3.2空气净化系统3.2.1FFU安装工艺预组装：在洁净区外完成FFU与HEPA过滤器预装，过滤器扫描检漏（泄漏率≤0.01%）吊装固定：使用弹簧卡扣与龙骨连接，水平度偏差≤1mm/m，相邻FFU间距误差≤2mm密封处理：过滤器与箱体间采用液槽密封胶（邵氏硬度60±5），确保无气流短路3.2.2风管制作材料：镀锌钢板（厚度≥0.8mm），咬口连接，接缝处涂密封胶清洁度：风管内壁进行酸洗磷化处理，安装前用白绸布擦拭无可见粉尘3.3防静电系统3.3.1接地网络干线：6mm²铜箔沿墙敷设，每5m设置接地点活动地板：支架间用2.5mm²软铜线连接，形成网格状接地系统3.3.2人员防护防静电服：连体式（表面电阻10⁵-10⁸Ω），袖口、脚踝处设置导电搭扣腕带测试：每日上岗前检测腕带电阻（10⁵-3.5×10⁷Ω）3.4工艺管道纯水系统：管道坡度0.5%，焊接采用自动轨道焊（内壁成型光滑度Ra≤0.8μm）压缩空气：设置3级过滤（精度1μm→0.1μm→0.01μm），露点≤-40℃四、质量控制措施4.1过程管控材料验收：HEPA过滤器需提供出厂扫描报告，彩钢板甲醛释放量≤0.1mg/m³工序检验：风管安装后进行漏光检测（每10m接缝漏光点≤1处）FFU运行噪声检测（距离1m处≤55dB(A)）4.2特殊过程控制工序控制点检验方法高效过滤器安装边框密封完整性PAO气溶胶扫描检漏接地系统连接点电阻值微欧计测量（≤4Ω）气密性测试房间压力衰减率10Pa压力下30min衰减≤5%五、系统调试与验收5.1分阶段调试单机调试：FFU风量平衡（实测值与设计值偏差≤±10%）联动调试：温湿度波动测试（连续48h，波动≤±1℃/±5%RH）压差梯度验证（洁净区→缓冲区→非洁净区：10Pa→5Pa）5.2第三方检测委托东莞市计量检测中心进行以下检测：洁净度：激光粒子计数器（采样量100L/min）微生物：浮游菌采样（≤10cfu/m³）静电电压：人体电压≤100V（行走状态测试）5.3验收文件竣工图（含隐蔽工程记录）设备合格证及运行手册检测报告（需加盖CMA章）六、安全与环保管理6.1施工安全高空作业（≥2m）设置双钩安全带，脚手架搭设间距≤1.8m动火作业办理许可证，配备ABC型灭火器（每50㎡1组）6.2环保措施废弃物分类：废密封胶、过滤器等危险废物交由有资质单位处置噪声控制：夜间施工（22:00-6:00）噪声≤55dB(A)七、施工进度计划阶段工期（天）关键任务前期准备7材料进场检验、BIM模型搭建结构施工15彩钢板围护、吊顶龙骨安装系统安装40FFU、风管、管道施工调试与验收28性能测试、第三方检测注：本方案未尽事宜，需严格遵循GB50591-2025强制性条文及东莞地方消防、环保规定。施工期间